一种气浮导轨制造技术

一种气浮导轨，包括：滑块、导轨和供气系统；滑块呈L型结构，滑块通过L型结构吸附于导轨上，导轨内部开设有与供气系统连接的进气通道，供气系统通过导轨向滑块提供气体，以使滑块相对导轨的两内侧面形成预设刚度的气膜；滑块相对导轨的两内侧面分别开设有进气槽、进气孔、第一出气孔、均压槽和磁体槽；进气槽内均匀设置有进气孔；磁体槽内安装的磁体用于提供滑块与导轨之间的磁预载力；均压槽均匀设置于磁体槽远离进气槽的一侧；各均压槽内分别设置有第一出气孔；导轨相对进气槽的一面开设有第二出气孔，第二出气孔与进气通道之间连通。采用导轨进气，滑块面出气，滑块在运动过程中保证气管不动，气浮导轨系统具有可靠性高、空间布置方便。置方便。置方便。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮导轨


[0001]本专利技术涉及精密仪器
，具体涉及一种气浮导轨。

技术介绍

[0002]气浮导轨基于空气静压轴承的基本原理，实现了低摩擦、高精度以及清洁无污染等优点而被广泛应用于精密仪器中，如光刻机。
[0003]气浮导轨由滑块、导轨、供气系统三部分组成，目前，气浮导轨的供气系统大部分都是增压泵提供高压气体，由气管直接与滑块相连。这种结构往往会产生以下缺点：
[0004]一方面，在高速反复运动过程中，气管易发生老化，破裂等现象，大大降低了气管的使用寿命，从而降低了气浮导轨的可靠性，也全影响滑块的定位精度；
[0005]另一方面，由于气管随滑块一起运动需要一定活动半径，从而影响了其他空间布局，降低了空间利用率。

技术实现思路

[0006]针对现有气浮导轨中气管随滑块一起运动所产生的问题，本申请提供一种气浮导轨，通过将供气部分设置于导轨上，通过导轨向滑块供气，避免滑块运动过程中对供气部分产生扰动影响。
[0007]本专利技术的技术方案如下：
[0008]本专利技术提供一种气浮导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮导轨，其特征在于，包括：滑块、导轨和供气系统；所述滑块呈L型结构，所述滑块通过L型结构吸附于所述导轨上，所述导轨内部开设有与所述供气系统连接的进气通道，所述供气系统通过所述导轨向所述滑块提供气体，以使所述滑块相对所述导轨的两内侧面形成预设刚度的气膜；其中：所述滑块相对所述导轨的两内侧面分别开设有进气槽、进气孔、第一出气孔、均压槽和用于安装磁体的磁体槽；所述进气槽沿所述滑块行程方向设置；所述进气槽内沿长度方向均匀设置有所述进气孔，且所述进气孔的中心位于所述进气槽的中心线上；所述磁体槽沿所述滑块行程方向设置，且所述磁体槽对称设置于所述进气槽的两侧，所述磁体槽内安装的磁体用于提供所述滑块与导轨之间的磁预载力；所述均压槽沿所述滑块行程方向均匀设置于所述磁体槽远离所述进气槽的一侧；各所述均压槽内分别设置有所述第一出气孔，所述第一出气孔与所述进气孔之间连通；所述导轨相对所述进气槽的一面开设有第二出气孔，所述第二出气孔与所述进气通道之间连通，待所述滑块通过磁预载力吸附于所述导轨时，所述第二出气孔的中心垂直映射于所述进气槽的中心线上。2.如权利要求1所述的气浮导轨，其特征在于，根...

【专利技术属性】
技术研发人员：程伟林，任冰强，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：