存储器的测试方法及测试装置制造方法及图纸

本公开实施例公开了一种存储器的测试方法及测试装置，所述方法包括：激活至少一条字线后，对激活的所述字线连接的待测存储单元进行至少两次读取操作；根据所述至少两次读取操作后得到的输出信号，确定所述待测存储单元是否存在读取异常。本公开实施例通过至少两次读取操作延长了读取的时间，使得存在读取异常的存储单元更容易被检测到，进而提升了检测准确率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
存储器的测试方法及测试装置


[0001]本公开实施例涉及半导体制造技术，涉及但不限于一种存储器的测试方法及测试装置。

技术介绍

[0002]在存储器的研发与制造过程中，往往需要对存储器进行大量的测试以确定是否存在制造过程中产生的异常。例如，由于产品制造过程中产生的线路短路、接触不良等等情况造成的漏电或者读写异常等现象。由于存储器产品的结构精密且复杂，需要通过一系列电性测试来识别出异常。然而，由于有些异常情况在一般的读写条件下不容易显现出来，但会影响使用寿命以及产品的可靠性。因此，需要一些更为可靠的测试方法，以准确识别出不易显现的异常情况。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本公开实施例提供一种存储器的测试方法及测试装置。
[0004]第一方面，本公开实施例提供一种存储器的测试方法，包括：
[0005]激活至少一条字线后，对激活的所述字线连接的待测存储单元进行至少两次读取操作；
[0006]根据所述至少两次读取操作后得到的输出信号，确定所述待测存储单元是否存在读取异常。
[0007]在一些实施例中，所述对激活的所述字线连接的待测存储单元进行至少两次读取操作，包括：
[0008]对激活的所述字线连接的所述待测存储单元进行第一读取操作；
[0009]在所述第一读取操作后的预定时长后，对所述待测存储单元进行第二读取操作；
[0010]获取第二读取操作对应的所述输出信号。
[0011]在一些实施例中，所述进行第一读取操作，包括：
[0012]根据检测到的第一读取指令，产生第一选通信号以对所述待测存储单元进行第一次读取操作；
[0013]所述第二读取操作，包括：
[0014]根据检测到的第二读取指令，产生第二选通信号以对所述待测存储单元进行第二次读取操作。
[0015]在一些实施例中，所述第一读取操作产生第一读取信号；所述第二读取操作产生第二读取信号；所述获取第二读取操作对应的所述输出信号，包括：
[0016]对所述第二读取信号进行感测处理，获得所述输出信号。
[0017]在一些实施例中，对所述第二读取信号进行感测处理包括拉高处理或拉低处理。
[0018]在一些实施例中，所述输出信号包括高电平信号或低电平信号。
[0019]在一些实施例中，所述第二读取信号包括电压信号；所述对所述第二读取信号进
行感测处理，获得所述输出信号，包括：
[0020]对所述第二读取信号进行感测处理，并将感测处理后的所述电压信号与参考信号比较；
[0021]若所述电压信号高于所述参考信号，所述输出信号为高电平信号；
[0022]若所述电压信号低于所述参考信号，所述输出信号为低电平信号。
[0023]在一些实施例中，激活所述字线前，所述方法还包括：
[0024]通过第一信号在所述待测存储单元存入预设数据，所述第一信号包括高电平信号或低电平信号。
[0025]在一些实施例中，所述确定所述待测存储单元是否存在读取异常，包括：
[0026]判断所述输出信号与所述待测存储单元内存储数据对应的第一信号是否一致，若不一致则存在读取异常。
[0027]在一些实施例中，同一条字线上依次排列多个所述待测存储单元，在所述多个待测存储单元中至少存在两个相邻待测存储单元的第一信号不同。
[0028]在一些实施例中，任意两个相邻的所述待测存储单元的第一信号均不同。
[0029]在一些实施例中，激活所述字线之前，所述方法还包括：
[0030]通过所述第一信号在所述同一条字线上连接的多个待测存储单元同步存入预设数据。
[0031]在一些实施例中，所述输出信号通过局部输出总线传送至全局输出总线。
[0032]第二方面，本公开实施例提供一种存储器的测试装置，包括：
[0033]读取模块，被配置为：在激活至少一条字线后，对激活的所述字线连接的待测存储单元进行至少两次读取操作；
[0034]测试模块，被配置为：根据所述至少两次读取操作后得到的输出信号，确定所述待测存储单元是否存在读取异常。
[0035]在一些实施例中，所述读取模块，被配置为：
[0036]对激活的所述字线连接的所述待测存储单元进行第一读取操作；
[0037]在所述第一读取操作后的预定时长后，对所述待测存储单元进行第二读取操作；
[0038]获取第二读取操作对应的所述输出信号。
[0039]在一些实施例中，所述读取模块，包括：
[0040]指令执行模块，被配置为：
[0041]根据检测到的第一读取指令，产生第一选通信号以对所述待测存储单元进行第一次读取操作；以及
[0042]根据检测到的第二读取指令，产生第二选通信号以对所述待测存储单元进行第二次读取操作。
[0043]本公开实施例的技术方案，通过对待测存储单元中执行至少两次读取操作，并基于最后得到的输出信号，确定检测结果。通过至少两次读取，可以延长读取的时长，在存储单元存在异常的情况下，则在多次读取后得到的输出信号能够更容易体现出异常，进而便于检测，提升检测的准确率，降低漏检的情况。
附图说明
[0044]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
[0045]图1为本公开实施例的一种存储器的测试方法的流程图一；
[0046]图2为本公开实施例的一种存储器的测试方法的流程图二；
[0047]图3为本公开实施例的一种存储器的测试方法的流程图三；
[0048]图4为本公开实施例的一种存储器的测试方法中进行数据写入和读取的示意图；
[0049]图5本公开实施例的一种存储器的测试装置的结构框图；
[0050]图6本公开实施例的一种存储器的测试方法中检测出异常的原理示意图一；
[0051]图7本公开实施例的一种存储器的测试方法中检测出异常的原理示意图二。
[0052]通过上述附图，已示出本申请明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本申请构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本申请的概念。
具体实施方式
[0053]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0054]本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的专利技术后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本
中的公知常识或惯用技术手段。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种存储器的测试方法，其特征在于，所述方法包括：激活至少一条字线后，对激活的所述字线连接的待测存储单元进行至少两次读取操作；根据所述至少两次读取操作后得到的输出信号，确定所述待测存储单元是否存在读取异常。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对激活的所述字线连接的待测存储单元进行至少两次读取操作，包括：对激活的所述字线连接的所述待测存储单元进行第一读取操作；在所述第一读取操作后的预定时长后，对所述待测存储单元进行第二读取操作；获取第二读取操作对应的所述输出信号。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述进行第一读取操作，包括：根据检测到的第一读取指令，产生第一选通信号以对所述待测存储单元进行第一次读取操作；所述第二读取操作，包括：根据检测到的第二读取指令，产生第二选通信号以对所述待测存储单元进行第二次读取操作。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一读取操作产生第一读取信号；所述第二读取操作产生第二读取信号；所述获取第二读取操作对应的所述输出信号，包括：对所述第二读取信号进行感测处理，获得所述输出信号。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对所述第二读取信号进行感测处理包括拉高处理或拉低处理。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述输出信号包括高电平信号或低电平信号。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二读取信号包括电压信号；所述对所述第二读取信号进行感测处理，获得所述输出信号，包括：对所述第二读取信号进行感测处理，并将感测处理后的所述电压信号与参考信号比较；若所述电压信号高于所述参考信号，所述输出信号为高电平信号；若所述电压信号低于所述参考信号，所述输出信号为低电平信号。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，激活所述字线前，所述方法还包括：通过第一信...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东，楚西坤，第五天昊，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：