晶圆加工设备的ALU控制盒、晶圆加工设备及系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种晶圆加工设备的ALU控制盒、晶圆加工设备及系统，其中，晶圆加工设备的ALU控制盒，包括设置在PM上的盒体，在所述盒体中设置有控制所述PM上的ALU动作的控制电路，所述控制电路与所述ALU连接。采用本实用新型专利技术能够减短连接ALU控制盒的电缆线路，线路规整，接线便利，降低了成本，提高了通信效率和稳定性。定性。定性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆加工设备的ALU控制盒、晶圆加工设备及系统


[0001]本技术涉及半导体设备
，更为具体地，涉及一种晶圆加工设备的ALU控制盒、晶圆加工设备及系统。

技术介绍

[0002]EFEM(Equipment Front End Module，设备前端组件)是半导体设备前置模块，主要实现晶圆的自动供给和卸载，主要包括晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆载运盒、自动化控制模块等结构；PM(Process Module，加工组件)是晶圆的加工设备，三台PM形成U形包围圈，接受EFEM运送的晶圆并进行加工处理，处理前需要对每台PM上的ALU(Auto Leveling Unit，自动调平装置)进行调平，ALU包括调平电机、驱动器、电装部件、晶圆载台等。
[0003]但是，ALU的控制箱设置在EFEM的上方，ALU控制箱中包含有驱动每个ALU所需的电源以及电装部件，这些电装部件分别与每台PM上的ALU进行电路连接，用于控制每个ALU的调平。这样，ALU控制箱与每台PM需要较长的连接电线和通信电缆，较长的连线会造成线路杂乱、接线困难、通信减弱。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种晶圆加工设备的ALU控制盒、晶圆加工设备及系统，能够将ALU控制盒设置在PM上，减短了电缆线路，线路规整，接线便利，降低了成本，提高了通信效率和稳定性。
[0005]本技术提供的一种晶圆加工设备的ALU控制盒，包括设置在PM上的盒体，在所述盒体中设置有控制所述PM上的ALU动作的控制电路，所述控制电路与所述ALU连接。
[0006]将控制PM上ALU动作的控制盒设置在各自PM上，相比原有的ALU控制箱设置在EFEM，能够有效减短连接电缆线路，使得线路规整，接线便利，降低了成本，提高了通信效率和稳定性。
[0007]所述盒体设置在所述PM的上部。
[0008]所述盒体设置在所述PM的顶部电装箱的上部。
[0009]所述盒体设置在所述PM的顶部的一个电装箱的上部，并与所述电装箱的横截面相同。
[0010]所述盒体的顶部与所述PM的顶部平齐。
[0011]在所述盒体上设置有通风格栅。
[0012]在所述盒体上设置有排风扇。
[0013]所述控制电路与所述ALU连接的线路沿所述PM上的走线槽设置。
[0014]本技术的另一方面提供的一种晶圆加工设备，包括上述的晶圆加工设备的ALU控制盒。
[0015]本技术的另一方面提供的一种晶圆加工系统，每台PM均包括上述的晶圆加工
设备的ALU控制盒。
附图说明
[0016]通过参考以下结合附图的说明及权利要求书的内容，并且随着对本技术的更全面理解，本技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：
[0017]图1为现有技术中晶圆加工系统的结构示意图；
[0018]图2为现有技术中ALU控制箱的结构示意图；
[0019]图3为根据本技术实施例1的ALU控制盒的结构示意图；
[0020]图4为根据本技术实施例1的盒体的结构示意图；
[0021]图5为根据本技术实施例2的晶圆加工设备的结构示意图；
[0022]图6为根据本技术实施例3的晶圆加工系统的结构示意图；
[0023]其中，1
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PM、2
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EFEM、3
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ALU、4
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ALU控制箱、5
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ALU控制盒、51
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盒体、52
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通风格栅、53
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排风扇、6
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电装箱。
[0024]在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
[0025]本技术可施加各种变更并可具有各种实施例，将特定实施例示例于附图并进行说明。但是，本技术并非限定于该特定实施方式，涵盖落入本技术的思想及技术范围的所有变更、等同物以及替代物，应理解为都包括在内。
[0026]以下将结合附图对本技术的具体实施例进行详细描述。
[0027]实施例1
[0028]图1为现有技术中晶圆加工系统的结构示意图；图2为现有技术中ALU控制箱的结构示意图。
[0029]如图1和图2所示，晶圆加工系统包括三个PM1和一个EFEM2，三个PM1和一个EFEM2形成包围圈，三个PM1接受EFEM2运送的晶圆，并对晶圆进行加工处理，每个PM1的ALU均要进行调平，现有技术中将用于控制每个PM1的ALU调平的ALU控制箱4设置在EFEM2的上方。
[0030]图3为根据本技术实施例的晶圆加工设备的ALU控制盒的结构示意图。
[0031]如图3所示，本实施例中将现有技术中的ALU控制箱4进行改进，将ALU控制箱4分开，分别设置在每个PM1上，每PM1上的ALU由其上的ALU控制盒5控制，ALU控制盒5离其要控制的ALU很近，减短了连接电线和通信电缆，规整了线路，提高了电气连接质量。
[0032]本晶圆加工设备的ALU控制盒5可包括设置在PM1上的盒体51，在盒体51中设置有控制PM1上的ALU动作的控制电路，控制电路与ALU连接。
[0033]盒体51设置在PM1的上部，盒体51相比现有技术中的ALU控制箱4体积减小很多，可为现有技术中的ALU控制箱4的体积的三分之一，便于安装在PM1上。
[0034]将现有技术中的ALU控制箱4中的电路分开，将控制本PM1的控制电路放置在盒体51中，电路相比现有技术中的ALU控制箱4中的电路简单很多，控制电路布置规整明了，便于查看维修。控制电路与ALU中的部件连接时，可采用较短的线路连接，线路可沿PM1的走线槽走线，线路规整，便于查看维修，线路通信效率高。
[0035]具体的，可根据PM1的结构放置ALU控制盒。为了便于在现有的PM1上增加ALU控制
盒5，可将盒体51设置在PM1的上部。
[0036]本实施例中，盒体51设置在PM1顶部的电装箱6的上部。为了外观整齐，盒体51可设置在PM1顶部的一个电装箱6的上部，盒体51的横截面可与此电装箱的横截面相同。由于内部控制电路较少，盒体51的高度不用太大，整个盒体51可为扁方体。也可将此电装箱6的高度适当减小，盒体51放在此电装箱6上后顶部与PM1的顶部平齐，使整个PM1外观整齐。控制电路与ALU连接的线路沿PM1上的走线槽设置，走线美观整齐。
[0037]为了便于内部的控制电路散热通风，在盒体51上设置有通风格栅52，还可在盒体51上设置有排风扇53，便于加快散热，保持控制电路稳定运行。
[0038]实施例2
[0039]图5为根据本技术实施例2的晶圆加工设备的结构示意图；
[0040]如图5所示，本实施例提供的晶圆加工设备，包括实施例1所述的晶圆加工设备的AL本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工设备的ALU控制盒，其特征在于，包括分别设置在各个PM上的盒体，在所述盒体中设置有控制所述PM上的ALU动作的控制电路，所述控制电路与所述ALU连接。2.如权利要求1所述的晶圆加工设备的ALU控制盒，其特征在于，所述盒体设置在所述PM的上部。3.如权利要求1所述的晶圆加工设备的ALU控制盒，其特征在于，所述盒体设置在所述PM的顶部电装箱的上部。4.如权利要求1所述的晶圆加工设备的ALU控制盒，其特征在于，所述盒体设置在所述PM的顶部的一个电装箱的上部，并与所述电装箱的横截面相同。5.如权利要求1所述的晶圆加工设备的ALU控制盒，其特征在于，所述盒体的顶部与所述P...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑盈箕，姜先美，金明石，林池泳，张惠贞，郑美善，李昭渊，崔键洙，罗载文，
申请(专利权)人：盛吉盛韩国半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：