处理槽、处理设备及供液方法技术

本申请涉及一种处理槽、处理设备及供液方法，包括槽体，槽体具有处理腔及至少两个相互独立的储液腔，处理腔及储液腔均能够容纳用于处理工件的处理液；每一储液腔具有可控地打开或闭合的进液口及排液口，每一储液腔可控地与处理腔连通或断开。当处理腔需要换液时，通过与其相连通的储液腔的排液口将处理腔内的处理液排空。而在排空处理腔中处理液的过程中，或者在排空处理腔中处理液之前，向处于闲置状态的储液腔通入处理液。当处理腔中处理液排空后，使得处于闲置状态的至少一个储液腔与处理腔连通，向其通入处理液即可。与现有技术相比(现有技术只有处理腔)，不必等到处理腔排空后再向其通入新的处理液，减少了换液时长，提高了产能。了产能。了产能。

【技术实现步骤摘要】
处理槽、处理设备及供液方法


[0001]本申请涉及处理
，特别是涉及一种处理槽、处理设备及供液方法。

技术介绍

[0002]处理设备包括处理槽，处理槽为一种容器，其能够容纳处理液。工件与处理液接触，处理液能够对工件进行相应腐蚀，去除掉工件上不必要的物质，而提高工件性能。其中，刻蚀槽作为一种处理槽，在太阳能电池片制备过程中得到了广泛应用。
[0003]太阳能电池片制备包括以下步骤：硅片检测、制绒、扩散制结、刻蚀、镀减反射膜、印刷电极和快速烧结等。在制备过程中需要使用液体对硅片进行处理，例如，对硅片采用刻蚀液对硅片表面进行制绒，而在扩散制结工序中由于气流的关系，不可避免地在硅片的非扩散面边缘同样形成N区，从而导致硅片短路。因此，需要后续的刻蚀工序，将硅片上下表面阻断。由于湿法刻蚀对设备的要求低且刻蚀表面光滑平整，在刻蚀工序中得到了广泛的应用。
[0004]湿法刻蚀通过储存于刻蚀槽中的处理液对太阳能电池片进行刻蚀，当处理腔中的处理液达到使用寿命时，需要将刻蚀槽中的处理液排出，并更换新的处理液。而由于太阳能电池片生产过程中每个步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种处理槽，其特征在于，包括槽体(10)，所述槽体(10)具有处理腔(20)及至少两个相互独立的储液腔(30)，所述处理腔(20)及所述储液腔(30)均能够容纳用于处理工件的处理液；每一所述储液腔(30)具有可控地打开或闭合的进液口及排液口，每一所述储液腔(30)可控地与所述处理腔(20)连通或断开。2.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，全部所述储液腔(30)在竖直方向上均位于所述处理腔(20)的下方，且全部所述储液腔(30)在水平方向上依次排布。3.根据权利要求2所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)还具有预留腔，所述预留腔在竖直方向上位于所述处理腔(20)的下方，且与全部所述储液腔(30)在水平方向上依次排布；所述预留腔用于放置配液机构，所述配液机构用于配置处理液以供向所述储液腔(30)。4.根据权利要求3所述的处理槽，其特征在于，所述预留腔内还用于放置液体浓度检测机构及液体流量检测机构，所述液体浓度检测机构用于检测经所述预留腔流向每个所述储液腔(30)的处理液的浓度，所述液体流量检测机构用于检测所述预留腔流向每个所述储液腔(30)的处理液的流量。5.根据权利要求1
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4任一项所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)具有两个所述储液腔(30)。6.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)包括本体(11)及隔板(12)，所述隔板(12)设于所述本体(11)内，以将所述本体(11)的内腔分隔为所述处理腔(20)及所述储液腔(30)。7.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)还包括与所述储液腔(30)一一对应的开关件(40)，所述开关件(40)用于控制所述储液腔(30)与所述处理腔(20)的连通与断开。8.根据权利要求7所述的处理槽，其特征在于，所述开关件为开合板，所述开合板与所述槽体(10)铰接，以相对于所述槽体(10)在第一位置与第二位置之间切换；在所述开合板处于所述第一位置时，相对应的所述储液腔(30)与所述处理腔(20)连通；在所述开合板处于所述第二位置时，相对应的所述储液腔(30)与所述处理腔(20)断开。9.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，各所述储液腔(30)的容积可调。10.根据权利要求9所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)包括本体(11)及隔板(12)，所述隔板(12)设于所述本体(11)内，以将所述本体(11)的内腔分隔为所述处理腔(20)及所述储液腔(30)；所述隔板(12)在所述本体(11)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗成，廖宝臣，姚森，杨博，李志云，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：