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本申请涉及一种处理槽、处理设备及供液方法，包括槽体，槽体具有处理腔及至少两个相互独立的储液腔，处理腔及储液腔均能够容纳用于处理工件的处理液；每一储液腔具有可控地打开或闭合的进液口及排液口，每一储液腔可控地与处理腔连通或断开。当处理腔需要换液...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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