用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置制造方法及图纸

本公开涉及一种用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置，一种用于固持基底以对基底进行表面处理的夹持模块，以及一种组装用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置的方法。所述用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置包括：夹持支架和驱动单元。从横截面看，所述夹持支架包括：第一臂和第二臂。第一臂可相对于第二臂移动至基底的接收位置且第一臂与第二臂之间保持接收距离。第一臂可相对于第二臂移动至基底的固定位置且第一臂与第二臂之间保持固定距离。所述固定距离小于接收距离。所述驱动单元至少部分地被所述夹持支架包围。所述驱动单元至少有一部分可相对于夹持支架移动，以将第一臂移动至接收位置或固定位置。位置。位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置


[0001]本公开涉及一种用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置，一种用于固持基底以对基底进行表面处理的夹持模块，以及一种组装用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置的方法。

技术介绍

[0002]在许多行业中，为了提高生产率和其他原因，能够以简单且安全的方式在所谓的处理、固持或加工框架中固定及传送易碎的基底，以实现基底的自动装载和卸载，是一个基本要求。这对于必须处理大尺寸基底(即具有大的外径尺寸、直径或周长的基底)的行业来说尤其重要。此外，这种基底往往非常薄，可以由半导体、绝缘体(如玻璃或石英)、聚合物/塑料等制成。
[0003]在设计这种大尺寸基底固持框架时，必须考虑的额外要求是在这种固持框架用于在基底的表面或基底的多个表面上方进行特定程序期间，基于保护基底的个别用途。
[0004]例如，在半导体行业中(包括太阳能电池和印刷电路板的生产过程，以及平板显示器的制造等)，这种框架在工艺结果中起着非常重要的作用，这些都是非常关键的示例。
[0005]在这些行业和类似行业中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于固定基底(20)以对基底(20)进行表面处理的夹持装置(10)，包括：
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夹持支架(11)，以及
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驱动单元(12)，其中，从横截面看，所述夹持支架(11)包括第一臂(13)和第二臂(14)，其中，所述第一臂(13)可相对于所述第二臂(14)移动至基底(20)的接收位置，且所述第一臂(13)和所述第二臂(14)之间保持接收距离，以及移动至基底(20)的固定位置，且所述第一臂(13)与所述第二臂(14)之间保持固定距离，其中，所述固定距离小于所述接收距离，其中，所述驱动单元(12)至少部分地被所述夹持支架(11)包围，以及其中，所述驱动单元(12)至少有一部分可相对于所述夹持支架(11)移动，以将所述第一臂(13)移动至所述接收位置或固定位置。2.根据权利要求1所述的夹持装置(10)，其中所述驱动单元(12)包括驱动主轴(15)，其中，从横截面看，所述驱动主轴(15)至少有一部分包括凸轮(16)，其中所述驱动主轴(15)可相对于所述夹持支架(11)旋转，且其中所述凸轮(16)与所述夹持支架(11)配合，以在所述驱动主轴(15)旋转时将所述第一臂(13)移动至所述接收位置或固定位置。3.根据前述权利要求所述的夹持装置(10)，其中所述驱动主轴(15)包括第二部分，从横截面看，所述第二部分包括第二凸轮(17)，其中所述第二凸轮(17)与所述夹持支架(11)配合，以在所述驱动主轴(15)旋转时将所述第二臂(14)移动至所述接收位置或固定位置。4.根据权利要求2或3所述的夹持装置(10)，还包括传动单元，所述传动单元被配置为相对于所述夹持支架(11)旋转所述驱动主轴(15)。5.根据权利要求1所述的夹持装置(10)，其中所述驱动单元(12)包括可充气主体，所述可充气主体相对于所述夹持支架(11)可充气，以将所述第一臂(13)移动至所述接收位置。6.根据前述权利要求所述的夹持装置(10)，还包括泵单元，所述泵单元被配置为相对于所述夹持支架(11)对所述可充气主体进行充气。7.根据前述权利要求任一项所述的夹持装置(10)，其中所述驱动单元(12)...

【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈亚斯，
申请(专利权)人：塞姆西斯科有限责任公司，
类型：发明
国别省市：