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本公开涉及一种用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置，一种用于固持基底以对基底进行表面处理的夹持模块，以及一种组装用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置的方法。所述用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置包括：夹持支架和驱动单元。...
该专利属于塞姆西斯科有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞姆西斯科有限责任公司授权不得商用。

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