一种掩模版保护膜框卸除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及掩模版技术领域，尤其涉及一种掩模版保护膜框卸除装置，其中，固定平台和升降组件分别设置在滑台和驱动组件上，驱动组件设置在滑台一端，并能驱动升降组件沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直设置；升降组件包括升降台和设置其上的悬臂，分离件设置在悬臂上并能沿其长度方向移动。将产品置于固定平台上，并固定在滑台上移至卸除工位，通过升降组件调节分离件的竖直高度，配合分离件自身沿悬臂长度方向移动，使分离件对准保护膜框架上的工艺孔，再通过驱动组件驱动升降组件并带动其上的分离件朝向产品移动，使分离件与框架上的工艺孔相扣合，撬动保护膜框使其与掩模版脱离，掩模版可以由滑台滑动脱离卸除工位，便于产品取放。便于产品取放。便于产品取放。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模版保护膜框卸除装置


[0001]本技术涉及掩模版
，尤其涉及一种掩模版保护膜框卸除装置。

技术介绍

[0002]掩模版保护膜用于保护掩模版，防止在使用过程中颗粒掉落到掩模版版面上，从而影响曝光图形的精确性，同时减少划伤版面的风险，延长掩模版的使用寿命。
[0003]在实际贴膜工序,由于环境、人员等因素，在贴膜过程中会有颗粒掉落，在出货前颗粒检测时不合格被要求返工;同时，掩模在晶圆厂使用多次以及储存环境的影响，保护膜会破损以及被污染，需要进行需要将保护膜拆除、清洗后再进行贴膜工序。
[0004]目前这样的移除几乎仅通过手工进行。去除保护膜框一般方式是人工用简易撬棒直接撬膜，在操作过程中，由于胶的粘附力极大，利用人工直接去除时，操作不准确性较大，容易对掩膜版造成伤害，形成缺陷导致掩膜版的报废。并且较容易在掩模版上留有残胶。

技术实现思路

[0005]本技术的目的就是针对现有技术中存在的缺陷提供一种掩模版保护膜框卸除装置。
[0006]为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种掩模版保护膜框卸除本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，包括基座(1)和设置其上的滑台(2)、固定平台(3)、驱动组件(4)、升降组件(5)和加热装置(7)，所述固定平台(3)用于承载产品(8)并设置在所述滑台(2)上，所述升降组件(5)设置在所述驱动组件(4)上，在所述升降组件(5)上设置有分离件(6)；所述滑台(2)包括滑轨(21)和设置其上的支撑板(22)，所述支撑板(22)与所述滑轨(21)滑动连接并能带动所述固定平台(3)沿第一方向移动，所述驱动组件(4)设置在所述滑轨(21)的一端并能驱动所述升降组件(5)沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直设置；所述升降组件(5)在第二方向上对称设置有两个，包括升降台(51)和设置其上的悬臂(52)，所述分离件(6)设置在所述悬臂(52)上并与其滑动连接，所述悬臂(52)与所述滑轨(21)平行设置且位于其上方，所述加热装置(7)设置在所述基座(1)上且位于所述悬臂(52)下方。2.根据权利要求1所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述固定平台(3)包括底板(31)和设置其上的承载座(32)和夹具(33)，在所述底板(31)和所述支撑板(22)上均对应所述加热装置(7)设置有开口(311)；所述承载座(32)在所述开口(311)四周设置有多个，所述夹具(33)在多个所述承载座(32)外圈设置有多个。3.根据权利要求2所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，在所述承载座(32)上设置有第一限位槽(321)，所述第一限位槽(321)包括沿水平方向设置的第一弧面(321a)和第二弧面(321b)；所述第一弧面(321a)和所述第二弧面(321b)相连接，且均朝向所述承载座(32)外侧凸起设置。4.根据权利要求2所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述夹具(33)固定在安装座(34)上，并通过设置其上的压头(331)将所述产品(8)掩模版(81)压固在所述承载座(32)上；在所述压头(331)上设置有第二限位槽(332)，所述压头(331)通过所述第二限位槽(332)与所述产品(8)掩模版(81)的边沿棱角相抵接。5.根据权利要求1所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，在所述滑台(2)处还设置有第一定位块(23)和第二定位块(24)，所述加热装置(7)、所述第一定位块(23)和所述第二定位块(24)依次沿第一方向设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘国军，
申请(专利权)人：常州兰利电器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：