一种多尺寸一体化通用掩模夹制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多尺寸一体化通用掩模夹，包括手柄、开合柄和固定头，所述手柄与固定头之间设有尺寸调节组件，所述尺寸调节组件包括与手柄固定连接的第一主干和与固定头固定连接的第二主干，所述第一主干和第二主干内均开设有调节孔，所述调节孔内插接有调节螺栓，所述调节螺栓外螺纹连接有定位螺母，所述第一主干靠近第二主干的一侧固定连接有数量为两个的挡条，所述第二主干位于两个挡条之间。该多尺寸一体化通用掩模夹，将多个单尺寸的掩模夹集中在同一个掩模夹上面，且操作方便，既省时又省力，又节约成本，相对于目前主流掩模夹来说，无需多备用掩模夹，又可提高工作效率，方便生产人员操作。方便生产人员操作。方便生产人员操作。

【技术实现步骤摘要】
一种多尺寸一体化通用掩模夹


[0001]本技术涉及掩模夹具
，具体为一种多尺寸一体化通用掩模夹。

技术介绍

[0002]MASK(掩模):是半导体行业、I C(集成电路)制作时所需的一种模具，其是利用Mask上的图形，经曝光制成将图形复制于晶圆(Wafer)。
[0003]Mask厂依据客户设计的图形，将图形数据转换后，利用Mask曝光机曝光在一种感光的石英基板上，经过显影制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。
[0004]掩模的制作必须经过清洗、检测、贴膜等工艺，这些工艺操作过程中都会用到掩模夹，当有的机台需要使用5寸掩模夹的时候，5寸掩模夹刚好其它设备在用，从而导致需要耗时等待延误生产影响出货，同时造成掩模夹采购成本增高。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种多尺寸一体化通用掩模夹，具备可以夹取多种不同尺寸的掩模版，且切换方便等优点，解决了现有掩模夹只能适用单一尺寸，导致其余设备使用时需要耗时等待延误生产影响出货，同时不同型号的采购需求造成掩模夹采购成本增高的问题。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多尺寸一体化通用掩模夹，包括手柄(1)、开合柄(2)和固定头(3)，其特征在于：所述手柄(1)与固定头(3)之间设有尺寸调节组件；所述尺寸调节组件包括与手柄(1)固定连接的第一主干(4)和与固定头(3)固定连接的第二主干(5)，所述第一主干(4)和第二主干(5)内均开设有调节孔(6)，所述调节孔(6)内插接有调节螺栓(7)，所述调节螺栓(7)外螺纹连接有定位螺母(8)，所述第一主干(4)靠近第二主干(5)的一侧固定连接有数量为两个的挡条(9)，所述第二主干(5)位于两个挡条(9)之间。2.根据权利要求1所述的一种多尺寸一体化通用掩模夹，其特征在于：所述手柄(1)内开设有与开合柄(2)大小相适配的转动槽，所述手柄(1)内固定安装有位于转动槽内的转动轴，所述开合柄(2)通过转动轴与手柄(1)转动连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：华卫群，尤春，刘维维，朱静荣，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：新型
国别省市：