本实用新型专利技术属于液相外延设备技术领域，具体涉及一种支撑装置。包括基板、套筒、支撑杆和调节结构，所述基板开设有中心孔，所述套筒设置在所述基板的上端面，所述中心孔位于所述套筒内，多个所述支撑杆将所述基板相对水平面支撑固定，调节结构用于调整支撑杆位于基板下侧的长度。本实用新型专利技术加工容易，安装简单。通过调节结构调节支撑杆位于基板下侧的长度，能够调节基板的水平度，使得安装在套筒内的垂直液相外延设备的卡扣受力均匀，起到支撑卡扣，同时达到保护垂直液相外延设备底部密封的目的。达到保护垂直液相外延设备底部密封的目的。达到保护垂直液相外延设备底部密封的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种支撑装置
[0001]本技术属于液相外延设备
，具体涉及一种支撑装置。
技术介绍
[0002]垂直液相外延是一种用以低熔点的金属（如Ga、In等）为溶剂，以待生长材料（如Ga、As、Al等）和掺杂剂（如Zn、Te、Sn等）为溶质，使溶质在溶剂中呈饱和或过饱和状态。通过降温冷却使石墨舟中的溶质从溶剂中析出，在单晶衬底上定向生长一层晶体结构和晶格常数与单晶衬底足够相似的晶体材料，使晶体结构得以延续，实现晶体的外延生长。
[0003]不同于水平外延的是，垂直液相外延的生长系统是垂直的。其中一种应用是用来做碲镉汞材料生长，具有生长设备比较简单、有较高的生长速率、掺杂剂选择范围广、晶体完整性好、外延层位错密度较衬底低、晶体纯度高、生长系统中没有剧毒和强腐蚀性的原料及产物、操作安全、简便等特点。在垂直液相外延设备使用的过程中，设备底部经常出现漏气的现象。设备的具体结构可参考专利号为：203768484U的专利，专利技术人通过观察发现，设备底部的底部石英套管与密封机构是通过卡扣（一种类似纸杯的结构，杯口处通过多个螺丝相对石英套管外壁固定）将密封圈与底部石英管安装固定，密封机构要实现密封就需要保证卡扣与石英套管的同轴度。而一旦漏气现象发生后，底部零件还可能需要更换。更换过程较为繁琐，且需停机维修。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题在于：提供一种支撑装置。
[0005]本技术提出的技术方案为：
[0006]一种支撑装置，包括基板、套筒、支撑杆和调节结构，
[0007]所述基板开设有中心孔，所述套筒设置在所述基板的上端面，所述中心孔位于所述套筒内，多个所述支撑杆将所述基板相对水平面支撑固定，调节结构用于调整支撑杆位于基板下侧的长度。
[0008]优选的，所述调节结构包括螺纹孔，多个所述螺纹孔设置在所述基板上，所述支撑杆与所述螺纹孔螺纹连接。
[0009]优选的，所述调节结构包括限位环，所述限位环通过螺纹连接在所述支撑杆的外壁，至少一个所述限位环位于所述基板的上侧和/或下侧。
[0010]优选的，所述支撑杆的下端设有垫片。
[0011]优选的，所述垫片的上端设有安装管，所述安装管的内壁通过螺纹与所述支撑杆螺纹连接。
[0012]优选的，所述支撑杆固定设置在所述基板的下端面，所述调节结构包括套管，所述套管通过螺纹连接在所述支撑杆的外壁。
[0013]优选的，所述支撑杆的外壁通过螺纹连接有卡环，所述卡环位于所述套管的上侧。
[0014]优选的，所述套管的下端固定设有脚垫。
[0015]优选的，所述套筒的外壁均匀设有多个加强筋，所述加强筋的下端与所述基板的上端面固定连接。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术加工容易，安装简单。通过调节结构调节支撑杆位于基板下侧的长度，能够调节基板的水平度，使得安装在套筒内的垂直液相外延设备的卡扣受力均匀，起到支撑卡扣，同时达到保护垂直液相外延设备底部密封的目的。
附图说明
[0018]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0019]图1为本技术支撑杆与基板螺纹连接的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术的俯视图；
[0021]图3为本技术支撑杆结构示意图；
[0022]图4为本技术的垫片结构示意图；
[0023]图5为本技术支撑杆与基板固定连接的整体结构示意图；
[0024]图6为本技术的套管和脚垫结构示意图。
[0025]图中：1、套筒；11、加强筋；2、基板；21、中心孔；3、支撑杆；31、垫片；4、调节结构；41、螺纹孔；42、限位环；43、安装管；44、套管；45、卡环；441、脚垫。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例都属于本技术保护的范围。
[0027]为了清晰的描述和理解本专利，除本专利设计的工装外，其他的能够用到的工装结构和设备部分结构在图中也已给出。
[0028]实施例1
[0029]请参考图，一种支撑装置，包括基板2、套筒1、支撑杆3和调节结构4，
[0030]所述基板2开设有中心孔21，所述套筒1设置在所述基板2的上端面，所述中心孔21位于所述套筒1内，多个所述支撑杆3将所述基板2相对水平面支撑固定，调节结构4用于调整支撑杆3位于基板2下侧的长度。
[0031]使用时，将垂直液相外延设备的底部石英套筒插入到中心孔21，垂直液相外延设备的卡扣则插入到套筒1内腔。
[0032]作为进一步的方案，所述支撑杆3的数量为三个。
[0033]作为进一步的方案，三个支撑杆3到基板2轴线的距离相等，且三个支撑杆3分别位于三等分点上。
[0034]作为进一步的方案，套筒1的外壁均匀设有多个加强筋11，加强筋11的下端与基板2的上端面固定连接，加强筋11的固定方式可采用焊接，加强筋11一般采用三角形。
[0035]需要说明的是，支撑杆3和加强筋11的数量并不限定，能够将基板2相对水平面支
撑固定即可。
[0036]由于垂直液相外延设备底部的石英套管与卡扣通过多个螺丝连接固定，由于多个螺丝设置在同一水平面且位置相对较高，显然这样的设计在卡扣下端受力后会发生歪斜后，从而造成连接处的密封圈漏气，甚至损伤连接处的密封圈，导致气密性差的问题。在本技术的支持下，通过调节支撑杆3，使得设备底部处于相对水平状态，从而保证卡扣能够保持垂直的状态，降低漏气的可能。在液相外延过程中，使用的工艺气体是易产生爆炸的气体，采用本技术后，垂直液相外延设备的工艺气体外漏的可能性大大降低，提高了安全性。
[0037]实施例2
[0038]对调节结构4作详细说明。
[0039]参考图1
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4，调节结构4的一种方案为，在基板2上开设螺纹孔41，在支撑杆3外壁设置螺纹，支撑杆3通过螺纹与螺纹孔41连接，调节时，通过转动支撑杆3即可实现调整支撑杆3位于基板2下侧的长度。
[0040]作为进一步的方案，在支撑杆3的下端设置垫片31，垫片31能够增加支撑杆3与水平面的接触面积，提高稳定性。
[0041]作为更进一步的方案，垫片31的上端设有安装管43，安装管43的内壁通过螺纹与支撑杆3螺纹连接，此方案中，能够通过转动安装管43微调支撑杆3位于基板2下端的长度，也可作为高度补偿方案。
[0042]参考图1
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4，调节结构4的一种方案为，在基板2上开设螺纹本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种支撑装置，其特征在于，包括基板（2）、套筒（1）、支撑杆（3）和调节结构（4），所述基板（2）开设有中心孔（21），所述套筒（1）设置在所述基板（2）的上端面，所述中心孔（21）位于所述套筒（1）内，多个所述支撑杆（3）将所述基板（2）相对水平面支撑固定，调节结构（4）用于调整支撑杆（3）位于基板（2）下侧的长度。2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述调节结构（4）包括螺纹孔（41），多个所述螺纹孔（41）设置在所述基板（2）上，所述支撑杆（3）与所述螺纹孔（41）螺纹连接。3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述调节结构（4）包括限位环（42），所述限位环（42）通过螺纹连接在所述支撑杆（3）的外壁，至少一个所述限位环（42）位于所述基板（2）的上侧和/或下侧。4.根据权利要求1
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3中任意一项所述的支撑装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚本东，龚月，王鑫，游阿峰，许军，胡阳，刘达，毛成状，石根，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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