本实用新型专利技术涉及工件夹持装置技术领域，具体为一种液相外延高速稳定旋转调节装置，包括受力件和调整件，所述受力件包括上压板，所述调整件包括下压板和承载球，所述承载球设置在上压板与下压板之间，且上压板与下压板的中心处均设置有对承载球限位的凹槽，所述上压板与下压板之间设置有至少三个调节螺丝，所述调节螺丝用于调节调整件以承载球为支点相对受力件旋转摆动。本实用新型专利技术可以满足液相外延过程中，对带有夹具衬底或者搅拌装置的陶瓷杆或耐温金属杆高速旋转仍能保持旋转稳定、不摆动的需求，有利于液相外延薄膜稳定生长，提升薄膜质量。质量。质量。
【技术实现步骤摘要】
一种液相外延高速稳定旋转调节装置
[0001]本技术涉及工件夹持装置
，具体为一种液相外延高速稳定旋转调节装置。
技术介绍
[0002]液相外延技术是以低熔点的金属或氧化物为溶剂，以待生长材料和掺杂剂为溶质，使溶质在高温溶剂中呈饱和或过饱和状态。液相外延生长薄膜时，往往需要将衬底接触或浸入到过饱和溶液中，然后通过高温炉上部旋转电机控制夹有衬底的夹具旋转，旋转通过软件程序控制。在特殊工艺条件下，可能需要夹具高速旋转，此外在液相外延生长完成后，将衬底提出液面时，衬底表面仍会附着一层溶液，需要进行超高速旋转，通过离心力甩净衬底表面附着物。
[0003]但一套外延生长设备的旋转系统从最顶端旋转电机，往下到连接丝杆，再往下到陶瓷杆或耐高温贵金属杆，直到最下端的夹有衬底的夹具，摆臂长、连接处多，很难保证完全竖直，旋转时，因整个摆臂中上部某处有细小的偏心或连接不直，就会在最底端的夹具衬底处放大旋转摆动，这样会导致外延生长不稳定，甚至当高速旋转，摆动幅度增加，连接杆受力增大而断裂或夹具衬底会与坩埚壁发生碰撞。为此，我们提出一种液相外延高速稳定旋转调节装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种液相外延高速稳定旋转调节装置，其目的在于解决现有液相外延高速旋转时旋转杆摆动的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种液相外延高速稳定旋转调节装置，包括受力件和调整件，所述受力件包括上压板，所述调整件包括下压板和承载球，所述承载球设置在上压板与下压板之间，且上压板与下压板的中心处均设置有对承载球限位的凹槽，所述上压板与下压板之间设置有至少三个调节螺丝，所述调节螺丝用于调节调整件以承载球为支点相对受力件旋转摆动。
[0006]优选的，所述上压板中心处连接有上连接头，所述上连接头内部设置有螺纹，用于连接设备旋转电机导杆。
[0007]优选的，所述下压板中心处连接有下连接头，所述下连接头侧壁有三组螺孔，每组两个螺孔，用于紧固下部陶瓷杆或耐高温金属杆。
[0008]优选的，所述上压板和下压板均为圆形。
[0009]优选的，所述上压板的凹槽深度为承载球半径的1/4，其上有夹角为120
°
的3个螺纹通孔，位置在离外沿1/3上压板半径范围。
[0010]优选的，所述下压板的凹槽深度为承载球半径的1/4，其上有夹角为120
°
的3个螺纹通孔，位置在离外沿1/3下压板半径范围。
[0011]优选的，所述调节螺丝螺纹长度范围为上压板上表面到下压板下表面间距的1.2
‑
1.5倍。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]本技术提供的高速稳定旋转调节装置，制造简单，使用安全，通用性强，调节方便快捷；可保持超过两米长度的旋转摆臂同轴稳定旋转，速度可达到500rpm以上，能满足液相外延最大转速需求。可以满足液相外延过程中，对带有夹具衬底或者搅拌装置的陶瓷杆或耐温金属杆高速旋转仍能保持旋转稳定、不摆动的需求，有利于液相外延薄膜稳定生长，提升薄膜质量。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术的上压板俯视图。
[0016]图中：1、上连接头；2、上压板；3、下压板；4、承载球；5、下连接头；6、螺纹孔；7、调节螺丝；8、受力件；9、调整件。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]如图1和2所示，一种液相外延高速稳定旋转调节装置，包括上连接头1，上压板2，下压板3，承载球4，下连接头5，螺纹孔6，调节螺丝7，其中上连接头1、上压板2构成受力件8，下压板3、承载球4、下连接头5构成调整件9；
[0019]上连接头1下端垂直焊接到上压板2上部中心处，上压板2上共设有三个垂直的螺纹通孔，下部中心有微凹结构，即凹槽，以上构成受力件8；下压板3上也设有三个相同的垂直螺纹通孔，上部中心有微凹结构，即凹槽，并焊接有承载球4，下部中心垂直焊接有下连接头5，下连接头5侧壁有六个螺纹孔6，以上构成调整件9；调节螺丝7可拧入上、下压板3螺纹通孔中做连接用，并用于实际调节旋转摆动。
[0020]上连接头1为圆管，内径范围10～30mm，壁厚范围0.5～1.5mm；
[0021]上压板2为圆形板，直径范围为上连接圆管的2～3倍，厚度2.5～3.5mm，下部有微凹结构，即凹槽，深度为承载球4半径的1/4，其上有夹角为120
°
的3个螺纹通孔，位置在离外沿1/3上压板2半径范围；
[0022]下压板3形状尺寸与上压板2一致，上部有微凹结构，即凹槽，深度为承载球4半径的1/4，其上有夹角为120
°
的3个螺纹通孔，位置在离外沿1/3下压板3半径范围；
[0023]承载球4为实心球，直径与上连接头1内径一致；
[0024]下连接头5为圆管，直径与上连接头1一致，长度范围30
‑
50mm；
[0025]螺纹孔6，分布在下连接头5圆管侧壁，水平方向每夹角120
°
分布一组，共三组，三组更加稳定，紧固时陶瓷杆或耐温金属杆更加不易偏离竖直方向，每组上下两个并保持一定距离，便于通过螺丝紧固受力大小微调竖直偏离度，位置范围分别在距下连接头5圆管上、下端1/4～1/3长度处；
[0026]调节螺丝7螺纹长度范围为上压板2上表面到下压板3下表面间距的1.2～1.5倍，过短时调节范围受限，过长无实际用处。
[0027]以下为实施例：
[0028]已有液相外延设备上电机旋转导杆外径为φ15mm，下部带有夹具衬底的陶瓷杆外径也为φ15mm，因此本实施例设计尺寸如下：
[0029]上连接头1内径15mm，壁厚1mm；
[0030]上压板2直径40mm，厚度3mm，微凹结构，即凹槽，深度1.9mm，螺纹孔6离外沿5mm；
[0031]下压板3直径40mm，厚度3mm，微凹结构，即凹槽，深度1.9mm，螺纹孔6离外沿5mm；
[0032]承载球4直径15mm；
[0033]下连接头5内径15mm，壁厚1mm，长度40mm；
[0034]螺纹孔6上下孔分别距下连接头5上下两端12mm处；
[0035]调节螺丝7，螺纹长度为(3+3+15
‑
1.9
‑
1.9)*1.3＝22.4mm。
[0036]使用时，按照如下步骤操作：
[0037](1)、用三颗调节螺丝7连接受力件8和调整件9成为一个整体。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液相外延高速稳定旋转调节装置，其特征在于：包括受力件(8)和调整件(9)，所述受力件(8)包括上压板(2)，所述调整件(9)包括下压板(3)和承载球(4)，所述承载球(4)设置在上压板(2)与下压板(3)之间，且上压板(2)与下压板(3)的中心处均设置有对承载球(4)限位的凹槽，所述上压板(2)与下压板(3)之间设置有至少三个调节螺丝(7)，所述调节螺丝(7)用于调节调整件(9)以承载球(4)为支点相对受力件(8)旋转摆动。2.根据权利要求1所述的一种液相外延高速稳定旋转调节装置，其特征在于：所述上压板(2)中心处连接有上连接头(1)，所述上连接头(1)内部设置有螺纹，用于连接设备旋转电机导杆。3.根据权利要求1所述的一种液相外延高速稳定旋转调节装置，其特征在于：所述下压板(3)中心处连接有下连接头(5)，所述下连接头(5)侧壁有三组螺孔，每组两个螺孔，用于紧固下部陶瓷...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯田江，马晓，桂训鹏，胡露，刘凯，齐凯，汪兆铭，
申请(专利权)人：长飞武汉光系统股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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