一种分体舟托设备制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，具体提供了一种分体舟托设备，包括：两个相对设置的端板、两组侧板组，两组侧板组设置在两个端板之间相对两侧，所述侧板组包括若干依次可拆卸连接的侧板，所述端板可拆卸的设置在侧板组的两端。所述端板和侧板的材质均为碳化硅。侧板之间可拆卸连接，以及端板与侧板可拆卸连接，从而使得本实用新型专利技术的侧板及端板可拆卸更换，可根据需要更换某个侧板或端板，而不需要整体更换，节约设备的损坏成本，降低了物件消耗的成本。通过将原载具舟托改为碳化硅舟托，由于碳化硅材质刚性比石英材质刚性强度更高，可承载的硅片质量更大，可提高一定的产量。可提高一定的产量。可提高一定的产量。

【技术实现步骤摘要】
一种分体舟托设备


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种分体舟托设备。

技术介绍

[0002]目前的光伏电池片制造设备，比如扩散炉、退火炉、氧化炉、低压化学气相沉积LPCVD、等离子增强化学气相沉积PECVD等大多是采用卧式多管设备，并且多管设备共用一个净化台和上下料设备。其中每根炉管都设置有独立的气路、桨、系统以及加热模块等。
[0003]在上述的设备中扩散炉用于扩散的工艺，目的是为了制备PN节；退火炉用于激活掺杂元素、改变应力、改变晶态等用途；氧化炉用于在硅片表面制备氧化层；LPCVD设备用于生长隧穿氧化层、本征非晶硅、掺杂非晶硅和二氧化硅薄膜；PECVD设备具有镀氮化硅、碳化硅、氧化硅等功能。
[0004]随着光伏产业的发展，产能要求越来越高，硅片的尺寸也越来越大，这对于载具的强度和形变要求越来越高。载具在与其他物体接触摩擦时，容易磨损甚至损坏，另外在工艺过程中，载具未与其他物体接触的部位也容易被工艺产物腐蚀或者应力不均而导致损伤或损坏。常规的载具舟托是一体式的，当载具舟托损坏后需要整体更换，增加了物件消耗的成本。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种分体舟托设备，用以解决
技术介绍
提出的：常规的载具舟托是一体式的，舟托损坏后需要整体更换，增加了物件消耗的成本的问题。
[0006]本技术的技术方案为：一种分体舟托设备，包括：
[0007]两个相对设置的端板、两组侧板组，两组侧板组设置在两个端板之间相对两侧，所述侧板组包括依次可拆卸连接的侧板，所述端板可拆卸的设置在侧板组的两端。
[0008]优选的，所述端板和侧板的材质可以为碳化硅。
[0009]优选的，所述侧板组的相邻侧板的连接端中，一个相邻侧板的连接端设置插片，另一个相邻侧板的连接端设置插槽，所述插片用于插入对应的插槽。
[0010]优选的，两个所述端板左右相对布置，两组侧板组设置在两个端板之间前后两侧，所述端板前后两侧设置承重凸台，所述侧板组的端头连接在所述承重凸台上。
[0011]优选的，所述承重凸台侧面设置遮光板。
[0012]优选的，所述端板设置去应力倒角。
[0013]优选的，所述侧板设置防撞倒角。
[0014]优选的，所述侧板组中两端的侧板与端板之间使用销钉连接。
[0015]优选的，所述侧板组中两端的侧板与端板之间还使用胶水连接。
[0016]优选的，所述侧板组中可拆卸的连接有若干连接件。
[0017]本技术的有益效果为：
[0018]侧板之间可拆卸连接，以及端板与侧板可拆卸连接，从而使得本技术的侧板
及端板可拆卸更换，可根据需要更换某个侧板或端板，而不需要整体更换，节约设备的损坏成本，降低了物件消耗的成本。以及可连接不同数量的侧板在两个端板之间，以调整本技术的舟托的整体尺寸。
[0019]前后端板的承重凸台侧面的遮光板代替原有的光电感应遮光片，遮光板的设置不仅优化了结构设计，还变相的降低了成本。
[0020]在同样载荷、温度和体积的条件下，本技术分体式舟托的变形量比一体式舟托的变形量更小，有效加强了设备整体的强度。
[0021]本申请的前后端板做倒角设计，可以避免应力集中；
[0022]侧板做了防撞倒角设计，当载具与侧板接触时会顺着倒角平稳下滑到设定位置，可以防止硅片在装卸过程中，盛放硅片的载具与侧板撞击载具导致载具碎裂的问题。
[0023]通过将原载具舟托改为碳化硅舟托，由于碳化硅材质刚性比石英材质刚性强度更高，可承载的硅片质量更大，可提高一定的产量。
[0024]本技术解决了
技术介绍
提出的：常规的载具舟托是一体式的，舟托损坏后需要整体更换，增加了物件消耗的成本的问题。
[0025]下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
[0026]图1为本技术的分体舟托设备的结构分解示意图；
[0027]图2为本技术的分体舟托设备的整体结构示意图；
[0028]图3为本技术的端板的结构示意图；
[0029]图4为本技术的侧板的结构示意图。
[0030]图5为本技术实施例6的侧板的结构示意图。
[0031]图6为本技术实施例6的连接件结构示意图。
[0032]附图标记：1、端板；11、承重凸台；12、遮光板；13、去应力倒角；14、把手；2、侧板；21、防撞倒角；22、插片；23、插槽；24、连接件、25、限位槽；26、侧板支撑位；27、连接件扣件。
具体实施方式
[0033]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0034]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案以及技术特征可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0035]本技术涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造领域，实施例1，参阅图1
‑
图4，本技术实施例提供了一种分体舟托设备，包括：
[0036]两个相对设置的端板1、两组侧板组，两组侧板组设置在两个端板1之间相对两侧，
所述侧板组包括若干依次可拆卸连接的侧板2，所述端板1可拆卸的设置在侧板组的两端。
[0037]其中，可选的，所述端板1和侧板2的材质均为碳化硅。
[0038]上述技术方案的有益效果为：侧板2之间可拆卸连接，以及端板1与侧板2可拆卸连接，从而使得本技术的侧板2及端板1可拆卸更换，可根据需要更换某个侧板2或端板1，而不需要整体更换，节约设备的损坏成本，降低了物件消耗的成本。以及可连接不同数量的侧板2在两个端板1之间，以调整本技术的舟托的整体尺寸。且本技术结构简单，使用方便。
[0039]通过将原载具舟托改为碳化硅舟托，由于碳化硅材质刚性比石英材质刚性强度更高，可承载的硅片质量更大，可提高一定的产量。
[0040]本技术解决了
技术介绍
提出的：常规的载具舟托是一体式的，舟托损坏后需要整体更换，增加了物件消耗的成本的问题。
[0041]实施例2，在实施例1的基础上，参阅图1
‑
图2，所述侧板组的相邻侧板2的连接端中，一个相邻侧板2的连接端设置插片22，另一个相邻侧板2的连接端设置与插片22配合的插槽23。其中，插片22可一体设置于侧板2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分体舟托设备，其特征在于，包括：两个相对设置的端板(1)、两组侧板组，两组侧板组设置在两个端板(1)之间相对两侧，所述侧板组包括依次可拆卸连接的侧板(2)，所述端板(1)可拆卸的设置在侧板组的两端。2.根据权利要求1所述的一种分体舟托设备，其特征在于，所述端板(1)和侧板(2)的材质均为碳化硅。3.根据权利要求1所述的一种分体舟托设备，其特征在于，所述侧板组的相邻侧板(2)的连接端中，一个相邻侧板(2)的连接端设置插片(22)，另一个相邻侧板(2)的连接端设置与所述插片(22)配合的插槽(23)。4.根据权利要求1所述的一种分体舟托设备，其特征在于，两个所述端板(1)左右相对布置，两组侧板组设置在两个端板(1)之间前后两侧，所述端板(1)前后两侧设置承重凸台(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，张武，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：