晶圆片花篮制造技术

本公开提供一种晶圆片花篮，包括：花篮主体(2)，花篮主体包括两块沿第一方向相对设置的主板(22)，主板上设有沿垂直于第一方向的第二方向间隔排列的多个插板(23)，多个插板之间形成晶圆片插槽；以及辅助件，辅助件(1)能够可拆卸地设置在花篮主体(2)的沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向的插入端，辅助件(1)包括分别沿第三方向对齐于两个主板的两个第一支撑梁(11)以及分别设置在第一支撑梁上的沿第二方向排列的限位板(12)，限位板沿第三方向一一对齐于插板。通过上述技术方案，晶圆片通过辅助件插入花篮中，限位板能够起到限位作用，解决了手动放入花篮中的晶圆片会出现剐蹭、串位栏、叠片等放置不当导致的表面刮伤。叠片等放置不当导致的表面刮伤。叠片等放置不当导致的表面刮伤。

【技术实现步骤摘要】
晶圆片花篮


[0001]本公开涉及集成电路
，尤其涉及一种晶圆片花篮。

技术介绍

[0002]在LED、芯片、半导体行业，加工过程常涉及到对晶圆片的取放，在大多数加工过程中，均是通过机械手实现对晶圆片的自动取放，取放精准、快捷；而在一些加工生产时，需要通过人工对晶圆片进行取放，而在现有的晶圆片花篮中，大多数的设计尺寸均有一定的标准，适用于各种自动化设备的机械手；但在人工取放时，由于花篮插槽的宽度相对于晶圆片的厚度较为宽松，同时晶圆片具有一定的透明度，会造成一定的视觉障碍，在长时间的机械式的取放工作下，时常会造成晶圆片剐蹭或放置时串栏位、叠片，导致晶圆片表面刮伤产生不良，无法做到像机械手一样取放精准、不疲惫，大大影响了晶圆片的质量，造成刮伤不良比例高达0.1％左右，同时也会极大程度地影响加工生产效率。

技术实现思路

[0003]本公开所要解决的一个技术问题是：人工取放晶圆片会造成剐蹭、串栏位或叠片等，导致晶圆片破损。
[0004]为解决上述技术问题，本公开实施例提供一种晶圆片花篮，其特征在于，包括：
[0005]花篮主体，花篮主体包括两块沿第一方向相对设置的主板，主板上设有沿垂直于第一方向的第二方向间隔排列的多个插板，多个插板之间形成晶圆片插槽；以及
[0006]辅助件，辅助件能够可拆卸地设置在花篮主体的沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向的插入端，辅助件包括分别沿第三方向对齐于两个主板的两个第一支撑梁以及分别设置在第一支撑梁上的沿第二方向排列的限位板，限位板沿第三方向一一对齐于插板，并且两个第一支撑梁在第一方向上彼此对齐的两个限位板之间的距离，小于两个主板在第一方向上彼此对齐的两个插板之间的距离。
[0007]在一些实施例中，花篮主体还包括连接于两个主板在第二方向上的端部的两个侧板。
[0008]在一些实施例中，在第一方向上彼此对齐的两个限位板之间的距离小于晶圆片直径的三分之一。
[0009]在一些实施例中，主板顶端设有法兰，法兰上设有定位销，辅助件上设有与定位销相配合的定位孔。
[0010]在一些实施例中，法兰上设有两个沿第一方向延伸间隔设置的定位销，第一支撑梁上设有两个定位孔。
[0011]在一些实施例中，辅助件还包括连接于两个第一支撑梁在第二方向上的端部的两个第二支撑梁。
[0012]在一些实施例中，侧板包括第一立柱、与第一立柱间隔设置的第二立柱和连接于第一立柱和第二立柱的横梁，第一立柱和第二立柱分别支撑对称设置的主板。
[0013]在一些实施例中，横梁上设有加强筋。
[0014]在一些实施例中，辅助件采用铁氟龙材质。
[0015]在一些实施例中，花篮主体为聚醚醚酮结构、聚醚酰亚胺结构和聚对苯二甲酸四次甲基酯结构其中的一种。
[0016]通过上述技术方案，本公开提供的晶圆片花篮，在人工取放晶圆片时，晶圆片通过辅助件插入花篮中，限位板能够起到限位作用，如相对于限位板倾斜放置时，晶圆片即被限位板卡住无法放置，有效解决了直接手动放入花篮中的晶圆片会出现剐蹭、串位栏、叠片等放置不当导致的表面刮伤。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本公开实施例公开的辅助件的结构示意图；
[0019]图2是本公开实施例公开的花篮主体的结构示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1、辅助件；2、花篮主体；11、第一支撑梁；12、限位板；13、定位孔；14、第二支撑梁；21、侧板；22、主板；23、插板；24、定位销；211、第一立柱；212、第二立柱；213、横梁；214、加强筋。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例对本公开的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本公开的原理，但不能用来限制本公开的范围，本公开可以以许多不同的形式实现，不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
[0023]本公开提供这些实施例是为了使本公开透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本公开的范围。应注意到：除非另外具体说明，这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。
[0024]需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是大于或等于两个；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0025]此外，本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。
[0026]还需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。当描述到特定器件位于第一器件和第二器件之间时，在该特定器件与第一器件或第二器件之间可以存在居间器件，也可以不存在居间器件。
[0027]本公开使用的所有术语与本公开所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。
[0028]对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
[0029]本公开实施例提供了一种晶圆片花篮，包括：
[0030]花篮主体2，花篮主体2包括两块沿第一方向相对设置的主板22，主板22上设有沿垂直于第一方向的第二方向间隔排列的多个插板23，多个插板23之间形成晶圆片插槽；以及辅助件1，辅助件1能够可拆卸地设置在花篮主体2的沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向的插入端，辅助件1包括分别沿第三方向对齐于两个主板22的两个第一支撑梁11以及分别设置在第一支撑梁11上的沿第二方向排列的限位板12，限位板12沿第三方向一一对齐于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片花篮，其特征在于，包括：花篮主体(2)，所述花篮主体(2)包括两块沿第一方向相对设置的主板(22)，所述主板(22)上设有沿垂直于所述第一方向的第二方向间隔排列的多个插板(23)，多个所述插板(23)之间形成晶圆片插槽；以及辅助件(1)，所述辅助件(1)能够可拆卸地设置在所述花篮主体(2)的沿垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向的插入端，所述辅助件(1)包括分别沿所述第三方向对齐于两个所述主板(22)的两个第一支撑梁(11)以及分别设置在所述第一支撑梁(11)上的沿所述第二方向排列的限位板(12)，所述限位板(12)沿所述第三方向一一对齐于所述插板(23)，并且两个所述第一支撑梁(11)在第一方向上彼此对齐的两个所述限位板(12)之间的距离，小于两个所述主板(22)在第一方向上彼此对齐的两个所述插板(23)之间的距离。2.根据权利要求1所述的晶圆片花篮，其特征在于，所述花篮主体(2)还包括连接于两个所述主板(22)在所述第二方向上的端部的两个侧板(21)。3.根据权利要求1所述的晶圆片花篮，其特征在于，在第一方向上彼此对齐的两个所述限位板(12)之间的距离小于所述晶圆片直径的三分之一。4.根据权利要求1所述的晶圆片花篮，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：林基明，李孟轩，林宏达，翟虎，
申请(专利权)人：浙江丽晖智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：