一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴制造技术

本实用新型专利技术涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴，包括涂胶喷嘴件，所述涂胶喷嘴件下端的外壁活动连接有涂胶喷嘴管，所述涂胶喷嘴件的内部设置有驱动喷嘴开合件，所述涂胶喷嘴件的结构包括有喷嘴头，所述喷嘴头的上表面固定连接有摩擦轮管，所述喷嘴头的下表面固定连接有第一螺纹管；该用于涂胶显影机的涂胶喷嘴中，通过吧涂胶喷嘴设成可拆卸的涂胶喷嘴件和涂胶喷嘴管结构，以及通过在喷嘴头中采用驱动喷嘴开合件的结构，实现了涂胶喷嘴结构简单，便于拆卸的功能，以及实现了感应挡孔块感应液压自动控制喷嘴涂胶量和涂胶速度的功能，达到了喷嘴不会倒吸空气，喷涂均匀的效果。喷涂均匀的效果。喷涂均匀的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴


[0001]本技术涉及涂胶显影机
，具体涉及一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴。

技术介绍

[0002]涂胶显影机是利用智能程序控制机器自动化操作制备半导体芯片的机械设备，通过机械手取放晶圆，经过机械系统制作芯片工艺流程的传输和加工阶段，对晶圆进行涂胶、烘烤和显影的作用，在涂胶环节，通常采用点胶滴落在芯片上，或者采用喷嘴经过液压喷射到芯片上，芯片再经过高速旋转进行均匀涂覆过程。
[0003]现有的用于涂胶显影机的涂胶喷嘴是一体化的结构，连接在涂胶显影机的涂胶液注入连接管的管头部分，存在涂胶喷嘴结构复杂，不可拆卸，不便清洗，以及毁坏维修和更换成本高的问题，例如，申请号为CN202210858479.7公开了一种用于光刻胶涂布的喷嘴中，包括第一子喷嘴、第二子喷嘴、第一出口、第一入口、第一管体及第二管体结构，通过在第一入口连接RRC管路和在第二入口连接光刻胶管路，RRC溶剂从第一入口流入到第一管体中并从第一出口流出到晶圆上，以及光刻胶从第二入口流入到第二管体中并从第二出口进入到第一管体中以及最后从所述第一出口流出晶圆上，采用空喷防止光刻胶的结晶固化，用于降低光刻胶涂布时的消耗浪费，但是存在喷嘴空喷浪费时间，吸附空气造成涂布不均匀的问题；申请号为CN202123324282.5公开了一种涂胶机喷嘴中，包括装板、立板、丝杠、电机、移动板、立杆、圆板、圆盘、环形滑块、竖板、转板、喷头、转把、滑块、伸缩杆、支腿、滑轮、滑轨、环形轨道、滑动轮、加强板、把手及把套结构组成，通过启动电机，丝杠在限位机构的配合下带动移动板在两组立板之间移动，从而使圆盘在环形滑块的配合下在圆形开口中转动，用于圆盘带动喷涂机构进行水平角度的调整，提高喷嘴的灵活性，但是存在涂胶喷嘴结构复杂，零件成本高的问题。
[0004]因此，上述两个专利中均公开了用于涂胶显影机的涂胶喷嘴结构，存在喷嘴吸附空气，造成涂胶混掺气体，导致喷嘴喷涂不均匀，以及喷嘴结构复杂、不易拆卸和更换清洗的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴，以解决上述
技术介绍
中提到的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术公开了一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴，包括涂胶喷嘴件，所述涂胶喷嘴件下端的外壁活动连接有涂胶喷嘴管，所述涂胶喷嘴件的内部设置有驱动喷嘴开合件，所述涂胶喷嘴件的结构包括有喷嘴头，所述喷嘴头的上表面固定连接有摩擦轮管，所述喷嘴头的下表面固定连接有第一螺纹管，所述摩擦轮管上表面的中部开设有收纳槽，所述喷嘴头上表面的中心固定连接有喷胶管，所述喷胶管的内部开设有喷胶孔，位于所述喷嘴头的内部且位于所述喷胶孔靠近底端的侧面开设有置件仓。
[0007]可选地，所述涂胶喷嘴管的结构包括有连接管，所述连接管的下表面固定连接有卡环，所述卡环底端的外壁固定连接有第二螺纹管，所述卡环的内部开设有出胶孔，所述连接管上表面的内部开设有螺纹槽孔。
[0008]可选地，所述驱动喷嘴开合件的结构包括有电机，所述电机底端的外壁固定连接有齿轮，所述齿轮的侧面活动连接有感应挡孔块，所述感应挡孔块靠近所述齿轮的侧面开设有齿痕槽。
[0009]可选地，所述第一螺纹管的直径、形状分别与所述螺纹槽孔的直径、形状是相同的，用于契合连接，所述喷嘴头的直径尺寸与所述连接管的外切圆直径尺寸是相同的，用于视觉美观，所述连接管的形状是正六边形，用于设计棱角，增加摩擦力。
[0010]可选地，所述摩擦轮管的高度是与所述卡环的高度是相同的尺寸，所述第一螺纹管的高度尺寸与所述螺纹槽孔的深度尺寸是相同的，用于相互连接，契合控制出胶量和出胶速度，所述收纳槽的直径尺寸与所述出胶孔的直径尺寸是相等的，其功能是刮涂存储所述喷胶孔中喷出的多余胶液，所述喷胶管的上表面与所述摩擦轮管的上表面是齐平的，用于喷射胶液时。
[0011]可选地，所述置件仓的长宽高尺寸分别比所述驱动喷嘴开合件所占据的长宽高尺寸要大，用于在喷嘴头的内部放置安装所述驱动喷嘴开合件，通过感应挡孔块在电机的驱动下，对喷胶孔进行敞开和关闭，所述感应挡孔块的宽度尺寸比所述喷胶孔的直径尺寸要大，用于完全阻挡喷胶管内的喷胶孔，所述第一螺纹管内壁的直径尺寸是所述喷胶孔直径尺寸的6
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8倍，用于避免混入空气进行真空喷时。
[0012]可选地，所述齿轮侧面的高度与所述感应挡孔块侧面的高度是相同的，且所述齿轮的齿牙形状与所述齿痕槽的齿牙形状是相同的，两者相互契合，用于齿轮转动带动感应挡孔块进行伸缩运动，所述齿轮的直径尺寸与所述喷胶管外壁的直径尺寸是相等的，且所述齿痕槽的长度尺寸等于所述齿轮带有齿牙侧面的周长尺寸，用于齿轮顺时针转动一圈，带动感应挡孔块上的齿痕槽向后伸推堵住喷胶管内部的喷胶孔，当齿轮逆时针转动一圈，带动感应挡孔块上的齿痕槽向前缩进而打开喷胶管内部的喷胶孔。
[0013]有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0015]该用于涂胶显影机的涂胶喷嘴中，通过吧涂胶喷嘴设成可拆卸的涂胶喷嘴件和涂胶喷嘴管结构，以及通过在喷嘴头中采用驱动喷嘴开合件的结构，实现了涂胶喷嘴结构简单，便于拆卸的功能，以及实现了感应挡孔块感应液压自动控制喷嘴涂胶量和涂胶速度的功能，达到了喷嘴不会倒吸空气，喷涂均匀的效果。
附图说明
[0016]图1为本技术的用于涂胶显影机的涂胶喷嘴俯视结构示意图。
[0017]图2为本技术的用于涂胶显影机的涂胶喷嘴主视结构示意图。
[0018]图3为本技术的用于涂胶显影机的涂胶喷嘴爆炸结构示意图。
[0019]图4为本技术的驱动喷嘴开合件结构示意图。
[0020]图5为本技术的涂胶喷嘴件结构纵向剖面图。
[0021]附图标记为：1、涂胶喷嘴件；101、喷嘴头；102、摩擦轮管；103、第一螺纹管；104、收
纳槽；105、喷胶管；106、喷胶孔；107、置件仓；2、涂胶喷嘴管；201、连接管；202、卡环；203、第二螺纹管；204、出胶孔；205、螺纹槽孔；3、驱动喷嘴开合件；301、电机；302、齿轮；303、感应挡孔块；304、齿痕槽。
具体实施方式
[0022]下面通过具体实施例进行详细阐述，说明本技术的技术方案。
[0023]参照图1
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5所示，本技术公开了一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴结构，包括涂胶喷嘴件1，涂胶喷嘴件1下端的外壁活动连接有涂胶喷嘴管2，涂胶喷嘴件1的内部设置有驱动喷嘴开合件3，涂胶喷嘴件1的结构包括有喷嘴头101，喷嘴头101的上表面固定连接有摩擦轮管102，喷嘴头101的下表面固定连接有第一螺纹管103，摩擦轮管102上表面的中部开设有收纳槽104，喷嘴头101上表面的中心固定连接有喷胶管105，喷胶管105的内部开设有喷胶孔106，位于喷嘴头101的内部且位于喷胶孔106靠近底端的侧面开设有置件仓107。
[0024]在一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：包括涂胶喷嘴件(1)，所述涂胶喷嘴件(1)下端的外壁活动连接有涂胶喷嘴管(2)，所述涂胶喷嘴件(1)的内部设置有驱动喷嘴开合件(3)，所述涂胶喷嘴件(1)的结构包括有喷嘴头(101)，所述喷嘴头(101)的上表面固定连接有摩擦轮管(102)，所述喷嘴头(101)的下表面固定连接有第一螺纹管(103)，所述摩擦轮管(102)上表面的中部开设有收纳槽(104)，所述喷嘴头(101)上表面的中心固定连接有喷胶管(105)，所述喷胶管(105)的内部开设有喷胶孔(106)，位于所述喷嘴头(101)的内部且位于所述喷胶孔(106)靠近底端的侧面开设有置件仓(107)。2.根据权利要求1所述的一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述涂胶喷嘴管(2)的结构包括有连接管(201)，所述连接管(201)的下表面固定连接有卡环(202)，所述卡环(202)底端的外壁固定连接有第二螺纹管(203)，所述卡环(202)的内部开设有出胶孔(204)，所述连接管(201)上表面的内部开设有螺纹槽孔(205)。3.根据权利要求2所述的一种用于涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述驱动喷嘴开合件(3)的结构包括有电机(301)，所述电机(301)底端的外壁固定连接有齿轮(302)，所述齿轮(302)的侧面活动连接有感应挡孔块(303)，所述感应挡孔块(303)靠近所述齿轮(302)的侧面开设有齿痕槽(304)。4.根据权利要求3所述的一种用于涂胶显影机...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟，
申请(专利权)人：苏州文芯纳精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：