大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统，涉及特气供应技术领域，包括管路组件，所述管路组件包括吹扫管路、特气管路、排放管路和对接管路，所述吹扫管路的一端分别与所述对接管路一端、所述特气管路的一端和所述排放管路的一端连通，所述吹扫管路的另一端用于与大宗特气供应柜的吹扫系统。本实用新型专利技术提供了大宗特气供应吹扫装置，便于大宗特气供应柜与大容量供应设备间的连接，降低了供应设备的更换频率及提高了供应稳定性。率及提高了供应稳定性。率及提高了供应稳定性。
【技术实现步骤摘要】
大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统
[0001]本技术涉及特气供应
，具体是大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统。
技术介绍
[0002]大宗特殊气体供应系统一般由特气存储容器、大宗特气供应柜、特气分歧柜、大宗特气监控系统4个主要功能模块组成，并由气体管道顺次连接，当发生泄露异常事件时，大宗特气监控系统会发生对应报警信息及联动关闭措施，避免特气泄漏至环境中。
[0003]目前大宗特气的供应一般由容积小的钢瓶(47L)进行供应。例如中国专利CN202211222046.9公开的一种大宗特气用钢瓶泄露的检测装置及其方法，用于检测大宗特气用钢瓶的泄露。
[0004]但伴随着半导体产技术的不断更新换代，各芯片制造工厂和液晶面板厂的产能也逐渐增大，同时各工厂对特气的需求量亦随之增加，若使用容积小的钢瓶，换瓶频率高，供应稳定性较差。
[0005]故此亟需开发大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统来解决现有技术中的问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统，便于外接大容量供应设备，以解决上述
技术介绍
中提出的使用容积小的钢瓶时换瓶频率高及供应稳定性较差的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0008]大宗特气供应吹扫装置，包括管路组件，所述管路组件包括吹扫管路、特气管路、排放管路和对接管路，所述吹扫管路的一端分别与所述对接管路一端、所述特气管路的一端和所述排放管路的一端连通，所述吹扫管路的另一端用于与大宗特气供应柜的吹扫系统。
[0009]进一步，所述吹扫管路上设置有吹扫气体进入阀门。
[0010]进一步，所述吹扫管路上还设置有单向阀。
[0011]进一步，所述对接管路的一端与所述特气管路的一端连通，所述对接管路上设置有电子压力表和/或高压压力表。
[0012]进一步，所述特气管路上设置有高压气体进入阀门和过滤器。
[0013]进一步，所述排放管路上设置有排放阀门。
[0014]进一步，所述吹扫气体进入阀门、所述高压气体进入阀门和所述排放阀门都为气动阀。
[0015]进一步，还包括特气监控系统，所述特气监控系统通过监控管路分别与所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路连接。
[0016]大宗特气供应系统，包括所述的大宗特气供应吹扫装置。
[0017]进一步，还包括鱼雷车，所述对接管路的另一端与所述鱼雷车连接。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：提供了大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统，便于大宗特气供应柜与大容量供应设备间的连接，降低了供应设备的更换频率，提高了供应稳定性。且所述吹扫管路的另一端与大宗特气供应柜的吹扫系统连接，使得大宗特气供应吹扫系统PN2对本申请整体管道做吹扫置换，使此段管路没有其他杂质，防止对制程工艺的品质产生影响。
[0019]进一步，还包括特气监控系统，所述特气监控系统通过监控管路分别与所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路连接，所述特气监控系统可以监控所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路。
[0020]本技术的其他特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。
附图说明
[0021]图1是本技术的整体结构示意图。
[0022]图中标记说明：1、吹扫管路；11、单向阀；12、吹扫气体进入阀门；2、对接管路；21、高压压力表；22、电子压力表；3、特气管路；31、过滤器；32、高压气体进入阀门；4、排放管路；41、排放阀门；5、特气监控系统；51、监控管路；6、鱼雷车；7、大宗特气供应柜。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]大宗特气供应吹扫装置，如图1所示，包括吹扫管路1、特气管路3、排放管路4和对接管路2。
[0026]所述吹扫管路1的一端分别与所述对接管路2一端、所述特气管路3的一端和所述排放管路4的一端连通。所述吹扫管路1上设置有吹扫气体进入阀门12和单向阀11，所述吹扫管路1的另一端用于连接大宗特气供应柜7的吹扫系统PN2。
[0027]所述对接管路2的一端与所述特气管路3的一端连通，所述对接管路2的另一端用于连接鱼雷车6。所述对接管路2上设置有电子压力表22和高压压力表21。
[0028]所述特气管路3上设置有高压气体进入阀门32和过滤器31，所述特气管路3的另一端用于为大宗气体供应柜提供特气。
[0029]所述排放管路4上设置有排放阀门41，所述排放管路4的另一端用于连接大宗气体供应柜的VENT系统。
[0030]所述吹扫气体进入阀门12为PGI，所述单向阀11为CVP，所述电子压力表22为HPT，所述高压压力表21为HPG，所述高压气体进入阀门32为HPI，所述过滤器31为GF，所述排放阀门41为HPV。
[0031]还包括特气监控系统5，所述特气监控系统5通过监控管路51分别与所述吹扫管路1、所述排放管路4和所述特气管路3连接，监测所述吹扫管路1、所述排放管路4和所述特气管路3。所述特气监控系统5还与所述高压气体进入阀门32连接，所述特气监控系统5控制所述高压气体进入阀门32的打开与关闭。
[0032]大宗特气供应系统，包括所述的大宗特气供应吹扫装置，还包括大宗特气供应柜7、特气分歧柜和鱼雷车6。所述鱼雷车6与所述大宗特气供应吹扫装置连接，具体为与所述大宗特气供应吹扫装置的对接管路2的另一端连接，所述大宗特气供应吹扫装置与所述大宗特气供应柜7连接，所述大宗特气供应柜7与所述特气分歧柜连接。
[0033]本技术工作过程如下：
[0034]1.当鱼雷车6到达特气房时，操作人员将鱼雷车6接口与大宗特气供应吹扫侦测箱接口对接，对接完毕后，打开吹扫系统PN2，使高纯氮气通过连接的管路充满整个系统，并做持续充吹CVP单向阀开启，避免气体逆流；PGI气动阀开启，使氮气通过；HPI气动阀关闭，阻止氮气进入制程特气中；HPV气动阀开启，将吹扫氮气排入大宗特气供应柜7的vent系统处理。
[0035]2.吹扫结束后，关闭PGI气动阀(停止氮气进入管路)，HPV气动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，包括管路组件，所述管路组件包括吹扫管路、特气管路、排放管路和对接管路，所述吹扫管路的一端分别与所述对接管路一端、所述特气管路的一端和所述排放管路的一端连通，所述吹扫管路的另一端用于与大宗特气供应柜的吹扫系统。2.根据权利要求1所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述吹扫管路上设置有吹扫气体进入阀门。3.根据权利要求2所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述吹扫管路上还设置有单向阀。4.根据权利要求2所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述对接管路的一端与所述特气管路的一端连通，所述对接管路上设置有电子压力表和/或高压压力表。5.根据权利要求4所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述特...
【专利技术属性】
技术研发人员：剧腾飞，
申请(专利权)人：浙江东开半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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