大宗特殊气体供应系统技术方案

本实用新型专利技术公开了大宗特殊气体供应系统，涉及特殊气体供应技术领域，包括深度吹扫箱组和主供应柜，所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于连接气体储存设备。这样的设计增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力，同时精简构造，减少气体泄露发生的几率。减少气体泄露发生的几率。减少气体泄露发生的几率。

【技术实现步骤摘要】
大宗特殊气体供应系统


[0001]本技术涉及特殊气体供应
，具体涉及一种大宗特殊气体供应系统。

技术介绍

[0002]随着半导体产技术的不断更新换代，各芯片制造工厂和液晶面板厂的产能也逐渐增大，同时各工厂对特殊气体的需求量亦随之增加。依据特殊气体的安全存储管理规定，存储量较大的特殊气体需在生产厂房之外单独建立特殊气体站，且特殊气体站与生产厂房及人员密集区应保持一定的安全距离。目前大宗特殊气体供应系统由气体存储设备、瓶头接口箱、深度吹扫箱、主供应柜四个主要功能模块组成，并由气体管道顺次连接；气体存储设备采用1+1 形式的Y型钢瓶(水容积为440L的钢瓶)供应，频繁更换气瓶导致连续供气能力不能满足生产需要，还增加操作者的工作量和危险性。

技术实现思路

[0003]1、技术要解决的技术问题
[0004]针对频繁更换气瓶导致连续供气能力不能满足生产需要的技术问题，本技术提供了一种大宗特殊气体供应系统，它增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力。
[0005]2、技术方案
[0006]为解决上述问题，本技术提供的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大宗特殊气体供应系统，其特征在于，包括深度吹扫箱组和主供应柜，所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于连接气体储存设备。2.根据权利要求1所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述主供应柜包括至少三个并联设置的供应单元。3.根据权利要求2所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述深度吹扫箱为密闭箱体，所述深度吹扫箱包括吹扫管道和气体供应管道，所述气体供应管道设有气动高压三通隔膜阀；所述吹扫管道上依次设有气动高压隔膜阀、气动高压四通隔膜阀、手动高压隔膜阀，所述吹扫管道和气体供应管道之间通过气动高压三通隔膜阀、气动高压四通隔膜阀连接控制；气动高压四通隔膜阀延伸连接由真空发生器、气动滴流隔膜阀、逆止阀组成的文丘里管，所述深度吹扫箱的箱体设有排气接口，以保证箱体内处于负压状态。4.根据权利要求3所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述气体供应管道上还设有压力传感器。5.根据权利要求3所述的大宗特殊气体供应系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：隋英羿，
申请(专利权)人：浙江东开半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：