一种气管道环网结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气管道环网结构，包括供气主管、输气管组件、回气管和变径管，所述输气管组件分别与所述供气主管及所述回气管相连接，所述回气管分别与所述供气主管及所述输气管组件相连接，所述输气管组件直径大于所述回气管直径，所述输气管组件通过变径管与所述回气管相连接，且所述变径管的窄口端与所述回气管相连接。本实用新型专利技术提供的有益效果在于让管路行程一个回路，在环网尾部进行变径，消除尾端流量压力不稳定，解决了管道异响。解决了管道异响。解决了管道异响。

【技术实现步骤摘要】
一种气管道环网结构


[0001]本技术属于气管道
，更具体地说，本技术涉及一种气管道环网结构。

技术介绍

[0002]大宗气体系统的设计是整个半导体工厂设计中的一个重要部分，在设计中，必须在供气稳定、连续不中断的前提下，严格保证气体的品质，从而保障整个工厂生产的顺利进行，通常电子、半导体工厂内机台需要很多种大宗气体(惰性气体)供应，特点为使用量大、需求点位多，每种机台需求压力、流量也各有不同。
[0003]目前通常设计方法为鱼骨式，但是由于气体在副管道方向供应的距离比较长，容易产生较大的压降，末端部分一次配与二次配连接的阀容易产生压力不足的情况，造成末端压力流量不均衡或出现异响。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种气管道环网结构，以解决现有技术中存在的管线较长尾端的气体压力流速不稳定造成尾端异响的技术问题。
[0005]为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
[0006]一种气管道环网结构，包括供气主管、输气管组件、回气管和变径管，所述输气管组件分别与所述供气主管及所述回气管相连接，所述回气管分别与所述供气主管及所述输气管组件相连接，所述输气管组件直径大于所述回气管直径，所述输气管组件通过变径管与所述回气管相连接，且所述变径管的窄口端与所述回气管相连接。
[0007]优选地，所述输气管组件包括若干并联的输气管。
[0008]优选地，所述回气管包括与若干输气管数量对应的管口。
[0009]优选地，所述供气主管、输气管组件和回气管分别安装有阀门。
[0010]优选地，所述输气管组件上连接有若干设备支管管路，所述设备支管管路安装有阀门。
[0011]优选地，所述设备支管管路的阀门连接有设备。
[0012]优选地，所述变径管包括多个直径不相等的圆环，所述圆环之间固定连接并且直径递减。
[0013]优选地，相邻两个所述圆环之间形成了分界环线，所述分界环线之间保持平行。
[0014]本技术提供的有益效果在于：
[0015]1、让管路行程一个回路，在环网尾部进行变径，消除尾端流量压力不稳定，解决了管道异响。
[0016]2、变径管采用多个直径不相等的圆环固定在一起成型，相对于圆台形的变径管，采取多个圆环固定成型的方式，在相同管长下增加气流与变径管管壁的接触面积以及接触时间，使得流出变径管的气流流速更加稳定。
[0017]3、增加了变径管外管壁面的凹凸不平感，变径管中两个圆环之间形成了分界环线，分界环线的存在可以保证在需要切割时，可以顺利地沿着分界环线切割变径管，且可以保证切割处保持平整，而切割处保持平整可以降低焊接的难度，同时使得焊接处不易出现焊缝。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术实施例采用的一种气管道环网结构结构示意图。
[0020]图2为本技术实施例采用的变径管结构示意图。
[0021]主要元件符号说明如下：
[0022]1‑
供气主管，2
‑
输气管，3
‑
回气管，4
‑
阀门，5
‑
设备，6
‑
变径管，7
‑
圆环，8
‑
分界环线。
具体实施方式
[0023]以下结合附图，对本技术上述的和另外的技术特征和优点进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的部分实施例，而不是全部实施例。
[0024]为了使本领域的技术人员可以更好地理解本技术，下面结合附图和实施例对本技术技术方案进一步说明。
[0025]如图1所示，在本实施例中，一种气管道环网结构，包括供气主管1、输气管组件、回气管3和变径管6，输气管组件分别与供气主管1及回气管3相连接，回气管3分别与供气主管1及输气管组件相连接，输气管组件直径大于回气管3直径，输气管组件通过变径管6与回气管3相连接，且变径管6的窄口端与回气管3相连接，输气管组件包括若干并联的输气管2，回气管3包括与若干输气管2数量对应的管口。
[0026]大宗气体系统由供气系统、输气管组件和回气管3组成,其中供气系统又可细分为气源, 纯化和品质监测等几个部分，将气源设置在独立于生产厂房(FAB)之外的气体站(Gas Yard), 而气体的纯化则往往在生产厂房内专门的纯化间(Purifier Room)中进行,这样可以使高纯气体的管线尽可能的短,既保证了气体的品质,又节约了成本。经纯化后的大宗气体由管道从气体纯化间输送至辅道生产层(SubFAB)或生产车间的架空地板下,在这里形成配管网络。其中供气主管1、输气管组件和回气管3分别安装有阀门4，供气主管1设置有室外管廊，输气管组件上连接有若干设备支管管路，设备支管管路安装有阀门4，设备支管管路的阀门4 连接有设备4，相关设备4包括臭氧发生器、扩散炉和氧化炉等。回气管上连接有若干设备支管管路，设备支管管路安装有阀门4，设备支管管路的阀门4连接有设备4，相关设备4包括臭氧发生器、扩散炉和氧化炉等。
[0027]如图2所示，作为本技术提供的一种具体实施方式，变径管6包括多个直径不相等的圆环7，圆环7之间固定连接并且直径递减，相邻两个圆环7之间形成了分界环线8，分界环线8之间保持平行。变径管6采用多个直径不相等的圆环7固定在一起成型，相对于圆台
形的变径管6，采取多个圆环7固定成型的方式一则在相同管长下，增加气流与变径管6管壁的接触面积以及接触时间，使得流出变径管6的气流的流速更加稳定，二则增加了变径管6外管壁面的凹凸不平感，便于操作人员焊接组装。实际在使用变径管6时常常碰到两端口径与所连接管子的口径不匹配的情况，这种情况下需要对变径管6进行切割后才能再与所需连接管子进行焊接连接的，本种变径管6中两个圆环7之间形成了分界环线8，分界环线8的存在可以保证在需要切割时可以顺利地沿着分界环线8切割变径管6，且可以保证切割处保持平整，而切割处保持平整可以降低焊接的难度，同时使得焊接处不易出现焊缝。
[0028]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气管道环网结构，其特征在于，包括供气主管、输气管组件、回气管和变径管，所述输气管组件分别与所述供气主管及所述回气管相连接，所述回气管分别与所述供气主管及所述输气管组件相连接，所述输气管组件直径大于所述回气管直径，所述输气管组件通过变径管与所述回气管相连接，且所述变径管的窄口端与所述回气管相连接。2.如权利要求1所述的一种气管道环网结构，其特征在于，所述输气管组件包括若干并联的输气管。3.如权利要求2所述的一种气管道环网结构，其特征在于，所述回气管包括与若干输气管数量对应的管口。4.如权利要求1所述的一种气管道环网结...

【专利技术属性】
技术研发人员：李阳，
申请(专利权)人：浙江东开半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：