一种紫外至短波红外菲索干涉激光波长计制造技术

本发明专利技术属于光学计量测试技术领域，公开了一种紫外至短波红外菲索干涉激光波长计，包括：光纤底座、准直镜、平面镜组Ⅰ、平面镜组Ⅱ、波段选择光阑、紫外可见干涉腔体、短波红外干涉腔体、紫外可见柱面镜、短波红外柱面镜、挡片Ⅰ、挡片Ⅱ、紫外可见面阵CCD、短波红外面阵CCD和计算机。本发明专利技术解决了192nm～2100nm波段范围激光波长解决了不能在一台波长计上完成测量的难题，提高了不同波段激光波长的测量速度，降低了成本，具有广阔的应用前景。具有广阔的应用前景。具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外至短波红外菲索干涉激光波长计


[0001]本专利技术属于光学计量测试
，主要涉及菲索干涉激光波长计，具体为一种紫外至短波红外菲索干涉激光波长计。

技术介绍

[0002]高精度激光波长计广泛用于空气动力试验领域、量子通信、分子光谱分析领域之中，其中菲索干涉型的激光波长计由于其不具备移动机构的原因，具备测量速度快、测量精度高、稳定性高等优势，在以上领域得到大量应用。
[0003]菲索干涉型波长计主要由入射光纤、准直镜、平面镜、菲索干涉模块、柱面镜和线阵CCD构成。
[0004]菲索激光波长计的核心模块是菲索干涉模块，菲索干涉模块的作用是产生菲索干涉条纹，对菲索干涉条纹进行处理可以得到待测激光波长，菲索干涉模块为一空气楔腔，空气楔腔内壁需要镀波段范围内透反比3：7的分光膜，空气楔腔外壁需要镀透射膜，受限于满足此要求的分光膜材料限制，目前没有同一种材料可实现192～2100nm波段范围的宽带分光，为了完成192～2100nm波段范围内激光波长测量，需要配备三台甚至三台以上的波长计分别负责不同波段的波长测量。在测量不同激光波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外至短波红外菲索干涉激光波长计，其特征在于，包括：光纤底座(1)、准直镜(2)、平面镜组Ⅰ(3)、平面镜组Ⅱ(4)、波段选择光阑(5)、紫外可见干涉腔体(6)、短波红外干涉腔体(7)、紫外可见柱面镜(8)、短波红外柱面镜(9)、挡片Ⅰ(10、挡片Ⅱ(11)、紫外可见面阵CCD(12)、短波红外面阵CCD(13)和计算机(14)；光纤底座(1)连接入射光纤，光纤底座(1)对应的光纤输出端口位于准直镜(2)的焦面处，待测激光经入射光纤传输至入射光纤的输出端口处，待测激光经过入射光纤输出端口之后，待测激光以发散角α传输，发散待测激光经准直镜(2)整形为平行光束；平行光束下半部分经过平面镜组Ⅰ(3)折转180
°
之后为平行光束I，平行光束I入射至波段选择光阑(5)，波段选择光阑(5)将平行光束分为三部分，每次只有一部分透过，透过波段选择光阑5的平行光束入射到到紫外可见菲索干涉模块(6)，紫外可见菲索干涉模块(6)根据激光波长测量波段分为三块区域，每块区域和波段选择光阑透光区域对应的三部分一一对应，每块区域对应的激光波长测量波段分别为192nm～250nm、250nm～450nm、450nm～1100nm，经过紫外可见菲索干涉模块(6)矩形透光区域之后形成明暗干涉条纹沿纵向延伸的宽带干涉条纹，宽带干涉条纹的宽度小于或者等于紫外可见菲索干涉模块(6)对应透光区域的宽度，宽带干涉条纹经紫外可见柱面镜(8)沿横向压缩之后，到达紫外可见面阵CCD(12)光敏面，形成窄带干涉条纹，窄带干涉条纹横向宽度小于或者等于紫外可见面阵CCD(12)光敏面横向宽度，紫外可见面阵CCD(12)输出信号传输到计算机(14)上，计算机(14)中安装的综合处理软件对输出信号进行处理即得到待测激光波长；平行光束上半部分经过平面镜组Ⅱ(4)折转180
°
之后为平行光束II，平行光束II入射至短波红外菲索干涉模块(7)，经过短波红外菲索干涉模块(7)后形成明暗干涉条纹沿纵向延伸的宽带干涉条纹，宽带干涉条纹的宽度小于或者等于短波红外菲索干涉模块(7)对应矩形透光区域的宽度，宽带干涉条纹经短波红外柱面镜(9)沿横向压缩之后，到达短波红外面阵CCD(13)光敏面，形成窄带干涉条纹，窄带干涉条纹横向宽度小于或者等于短波红外面阵CCD(13)光敏面横向宽度，短波红外面阵CCD输出信号传输到计算机(14)上，计算机中安装的处理软件对输出信号进行处理即得到待测激光波长。2.如权利要求1所述的紫外至短波红外菲索干涉激光波长计，其特征在于，所述挡片Ⅰ(10)和挡片Ⅱ(11)分别位于紫外可见面阵CCD(12)和短波红外面阵CCD(13)前面，入射激光处于紫外可见波段时，挡片Ⅰ(10)移出光路，挡片Ⅱ(11)移入光路；入射激光处于短波红外波段时，挡片Ⅱ(11)移出光路，挡片Ⅰ(10)移入光路。3.如权利要求2所述的紫外至短波红外菲索干涉激光波长计，其特征在于，所述准直镜(2)的材料为微晶玻璃，其表面镀银反射率膜；所述平面镜组Ⅰ(3)由2个夹角为90
°
的平面镜构成；平面镜组Ⅱ(4)由2个夹角为90
°
的平面镜构成；波段选择光阑(5)的通光孔为矩形，矩形宽度为经过所述平面镜组Ⅰ(3)折转之后的平行光束I的宽度的三分之一；波段选择光阑(5)处于横向滑轨上，并和三档转动手轮连接，通过改变转动手轮的档位，使波段选择光阑(5)的通光孔径横向移动，将平行光束I沿横向均分为三个矩形区域，使平行光束I中三个矩形区域中的一个区域的平行光束透过。4.如权利要求3所述的紫外至短波红外菲索干涉激光波长计，其特征在于，所述紫外可见菲索干涉模块(6)包括圆形平面基板(6
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1)、矩形平板(6
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2)、圆形楔形基板(6
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3)、保护玻璃(6
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4)；以上部件的材料均为熔融石英玻璃，矩形平板(6
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2)通过光胶粘接在圆形平面基
板(6
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1)上；圆形平面基板(6
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1)为一水平方向放置的圆柱玻璃体，矩形平板(6
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2)为一长方玻璃体；圆形楔形基板(6
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3)为一楔形圆柱玻璃体，保护玻璃(6
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4)为一空心圆环状圆柱玻璃体，内环大于圆形平面基板(6
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1)的轴向投影圆，外环大于内环；沿着光轴方向看，矩形平板(6
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2)的前表面通过光胶和圆形平面基板(6
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1)的后表面粘接，圆形平面基板(6
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1)侧壁、圆形楔形基板(6
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3)侧壁依次和保护玻璃(6
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4)空心圆柱侧壁通过光胶粘接，粘接时使圆形平面基板(6
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1)的前表面与保护玻璃(6
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4)的前表面对齐，同时使圆形楔形基板(6
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3)后表面与保护玻璃(6
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4)的后表面对齐，圆形平面基板(6
‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：马世帮，解琪，腾国奇，陈科社，乌龙辉，刘伟光，张建付，李宏光，范纪红，
申请(专利权)人：西安应用光学研究所，
类型：发明
国别省市：