一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法技术

本发明专利技术公开了一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法，所用横向剪切干涉仪光学系统包括：将待测光学系统固定布置在横向剪切干涉仪的待测光学平台上，光学照明系统发射非相干光，光线依次经过物面光栅、待测光学系统、像面光栅，被光学探测元件接收；均匀移相物面光栅或像面光栅，得到两垂直方向的剪切干涉图；利用最小二乘法分离求解出两垂直方向的0级与+1级或0级与

【技术实现步骤摘要】
一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法


[0001]本专利技术涉及光学测量
，尤其涉及一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法。

技术介绍

[0002]横向剪切干涉仪是一种典型的干涉仪结构，使用光栅作为分光元件，具有结构简单、准共光路、不需要额外构造理想参考波等优点。利用横向剪切干涉仪进行光学测量时，只需均匀移相物面光栅或像面光栅，得到x、y两方向上的一系列剪切干涉图，运用最小二乘法等方式解算得到差分相位，即可重建波面。
[0003]现有算法中，仍存在差分相位解算不准确造成的波面重建精度不高的问题。由于像面光栅的衍射作用，剪切干涉场中存在许多高级次衍射光。
[0004]专利CN104111120B提出一种全新的十步相移方法，有效抑制了
±
3级与
±
5级次衍射，提取出
±
1级剪切相位，但无法精确求解+1级或
‑
1级与0级衍射光之间的差分结果。对于其他现有技术，通过傅里叶变换方法可以分离出相应衍射级次的相位，但需在系统中额外添加滤波器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将待测光学系统固定布置在横向剪切干涉仪的待测光学平台上，光学照明系统发射非相干光，光线依次经过物面光栅、待测光学系统、像面光栅，被光学探测元件接收；所述物面光栅为两组方向相互垂直的一维光栅线；光轴方向为z轴，依据右手法则，与z轴垂直的两个方向分别为x轴、y轴；所述像面光栅为棋盘格光栅，其两条对角线分别与x轴、y轴方向垂直；所述像面光栅与所述物面光栅的周期之比与所述待测光学系统的成像放大倍率相同，所述像面光栅与所述物面光栅的占空比均为50％；步骤二：移动所述物面光栅，使光线通过与x轴方向垂直的一维光栅线，均匀移相所述物面光栅或像面光栅，得到x方向的剪切干涉图；利用最小二乘法分离得到x方向的剪切相位表达式为：式中，δ1、δ2为最小二乘法求得的参数，C
‑
1，0
为x方向
‑
1级与0级衍射光发生干涉时的光强系数，C
1，0
为x方向+1级与0级衍射光发生干涉时的光强系数；φ
‑
1,0
为x方向
‑
1级与0级衍射光的剪切相位，φ
1,0
为x方向+1级与0级衍射光的剪切相位；对求得的φ
‑
1,0
或φ
1,0
进行相位解包裹，得到x方向的剪切相位；步骤三：移动所述物面光栅，使光线通过与y轴方向垂直的一维光栅线，均匀移相所述物面光栅或像面光栅，得到y方向的剪切干涉图；利用最小二乘法分离得到y方向的剪切相位表...

【专利技术属性】
技术研发人员：白剑，刘慧文，赵磊，费文辉，蓝科，于大维，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：