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本发明公开了一种横向剪切干涉仪中棋盘格光栅衍射计算误差消除方法，所用横向剪切干涉仪光学系统包括：将待测光学系统固定布置在横向剪切干涉仪的待测光学平台上，光学照明系统发射非相干光，光线依次经过物面光栅、待测光学系统、像面光栅，被光学探测元件接...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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