一种溅射靶材浸润装置制造方法及图纸

本申请公开了一种溅射靶材浸润装置，能够提高对溅射靶材的浸润效率。本申请中的溅射靶材浸润装置包括：固定架、浸润钢刷机构和超声波机构；浸润钢刷机构包括钢刷电机、第一传动件、浸润钢刷和第一弹性件；超声波机构包括超声波发射器和第二弹性件；钢刷电机固定于固定架内，钢刷电机的轴与浸润钢刷通过第一传动件连接，第一传动件和浸润钢刷至少部分凸出于固定架，第一弹性件套设于第一传动件外，第一弹性件的第一端与第一传动件固定连接，第二端与浸润钢刷固定连接，超声波发射器位于固定架内，至少部分凸出于固定架，超声波发射器通过第二弹性件与固定架固定连接，超声波发射器的发射口朝向固定架外侧，固定架上设置有固定槽。槽。槽。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材浸润装置


[0001]本申请涉及浸润溅射靶材
，尤其涉及一种溅射靶材浸润装置。

技术介绍

[0002]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。而溅射靶材表面会有一层氧化层，这个氧化层的存在会使得铟这一结合介质难以将溅射靶材结合在一起，则通常需要对溅射靶材表面进行浸润处理，以清除表面氧化层。
[0003]现有技术中，在溅射靶材浸润过程中，钢刷和超声波发射器直接与产品接触进行往复式直线运动来实现钢刷浸润。
[0004]但钢刷和超声波发射器与溅射靶材之间的接触力度难以控制，可能会因为钢刷与溅射靶材表面接触不牢或者抵顶力度过大，影响实际钢刷浸润效果。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本申请提供了一种溅射靶材浸润装置，能够提高对溅射靶材的浸润效率，具体参考下述例子。
[0006]本申请提供了一种溅射靶材浸润装置，包括：固定架、浸润钢刷机构和超声波机构；所述浸润钢刷机构包括钢刷电机、第一传动件、浸润钢刷和第一弹性件；所述超声波机构包括超声波发射器和第二弹性件；
[0007]所述钢刷电机固定于所述固定架内，所述钢刷电机的轴与所述第一传动件一端连接，所述第一传动件的另一端与所述浸润钢刷连接，所述第一传动件可收缩并至少部分凸出于所述固定架，所述钢刷电机用于通过所述第一传动件带动所述浸润钢刷旋转；
[0008]所述第一弹性件套设于所述第一传动件上，所述第一弹性件的第一端与所述第一传动件固定连接，第二端与所述浸润钢刷固定连接，所述第一弹性件用于在所述浸润钢刷向所述固定架方向压缩所述第一传动件收缩时，向与所述浸润钢刷的压缩方向相反的方向抵顶所述浸润钢刷；
[0009]所述超声波发射器位于所述固定架内，至少部分凸出于所述固定架，所述超声波发射器通过所述第二弹性件与所述固定架固定连接，所述超声波发射器的发射口朝向所述固定架外侧，所述第二弹性件用于抵顶承接所述超声波发射器；
[0010]所述固定架上设置有固定槽，用于与外界的驱动装置固定连接，以通过所述驱动装置带动所述固定架旋转和移动。
[0011]可选地，所述第一传动件包括外套杆、内套杆和锁销；
[0012]所述外套杆与所述钢刷电机的轴固定连接，所述外套杆上设置有滑动槽孔，所述内套杆位于所述外套杆内，所述内套杆与所述浸润钢刷固定连接，所述锁销固定于所述内
套杆的一端并穿过所述滑动槽孔，所述内套杆与所述外套杆通过所述锁销传动连接，所述内套杆在所述外套杆内滑动时，带动所述锁销在所述滑动槽孔内滑动。
[0013]可选地，所述浸润钢刷机构还包括固定环；
[0014]所述固定环套设固定于所述内套杆上，位于所述浸润钢刷与所述第一弹性件之间，所述第一弹性件的第一端与所述外套杆固定连接，第二端与所述固定环的第一面固定连接,所述固定环的第二面与所述浸润钢刷固定连接。
[0015]可选地，所述浸润钢刷机构还包括第二传动件；
[0016]所述第二传动件位于所述第一传动件与所述钢刷电机之间，一端与所述钢刷电机的轴固定连接，另一端与所述第一传动件连接。
[0017]可选地，所述第二传动件为同步带和同步带轮，所述同步带轮分别固定于所述钢刷电机的轴和所述第一传动件上，所述同步带位于所述同步带轮之间，用于与所述同步带轮传动连接。
[0018]可选地，所述第二传动件为减速机，所述减速机与所述钢刷电机的轴连接，所述减速机的轴与所述第一传动件传动连接。
[0019]可选地，超声波机构还包括导杆和直线轴承；
[0020]所述直线轴承和所述第二弹性件位于所述固定架内，所述直线轴承与所述固定架固定连接，所述第二弹性件一端与所述直线轴承固定连接，所述导杆固定于所述超声波发射器上，并穿过所述固定架和所述直线轴承，与所述第二弹性件的另一端固定连接。
[0021]可选地，所述固定架呈方体形状，所述第一传动件和所述浸润钢刷至少部分凸出于所述固定架的第一面，所述超声波发射器至少部分凸出于所述固定架的第二面，所述固定架的第一面和第二面为所述固定架上相邻的两个面。
[0022]可选地，所述超声波发射器的底面和所述浸润钢刷的底面均为平面，所述浸润钢刷的底面的形状为圆形，所述浸润钢刷的底面为所述浸润钢刷上远离于所述固定架的一面，所述超声波发射器的底面为所述超声波发射器上远离于所述固定架的一面。
[0023]可选地，所述超声波发射器的功率范围为24W
‑
30W。
[0024]从以上技术方案可以看出，本申请具有以下优点：
[0025]本申请的溅射靶材浸润装置的钢刷电机固定于固定架内，钢刷电机的轴与第一传动件一端连接，第一传动件的另一端与浸润钢刷连接，第一传动件可收缩并至少部分凸出于固定架，第一弹性件套设于第一传动件上，第一弹性件的第一端与第一传动件固定连接，第二端与浸润钢刷固定连接，超声波发射器位于固定架内，至少部分凸出于固定架，超声波发射器通过第二弹性件与固定架固定连接，超声波发射器的发射口朝向固定架外侧，固定架上设置有固定槽。
[0026]在实际应用中，第一传动件和浸润钢刷在第一弹性件的弹性配合下，可以使得浸润钢工作时，利用第一弹性件的弹性抵顶在溅射靶材的表面，同时，超声波发射器利用第二弹性件的弹性配合也可以抵顶在溅射靶材的表面，使得钢刷和超声波发射器与溅射靶材表面的接触贴合效果更加稳定，从而提高对溅射靶材的浸润效率。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附
图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本申请中的溅射靶材浸润装置的一个立体结构示意图；
[0029]图2为本申请中的溅射靶材浸润装置的另一立体结构示意图；
[0030]图3为本申请中的浸润钢刷的正视图；
[0031]图4为本申请中的超声波发射器的正视图。
具体实施方式
[0032]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅用于说明各部件或组成部分之间的相对位置关系，并不特别限定各部件或组成部分的具体安装方位。
[0033]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材浸润装置，其特征在于，包括：固定架、浸润钢刷机构和超声波机构；所述浸润钢刷机构包括钢刷电机、第一传动件、浸润钢刷和第一弹性件；所述超声波机构包括超声波发射器和第二弹性件；所述钢刷电机固定于所述固定架内，所述钢刷电机的轴与所述第一传动件一端连接，所述第一传动件的另一端与所述浸润钢刷连接，所述第一传动件可收缩并至少部分凸出于所述固定架，所述钢刷电机用于通过所述第一传动件带动所述浸润钢刷旋转；所述第一弹性件套设于所述第一传动件上，所述第一弹性件的第一端与所述第一传动件固定连接，第二端与所述浸润钢刷固定连接，所述第一弹性件用于在所述浸润钢刷向所述固定架方向压缩所述第一传动件收缩时，向与所述浸润钢刷的压缩方向相反的方向抵顶所述浸润钢刷；所述超声波发射器位于所述固定架内，至少部分凸出于所述固定架，所述超声波发射器通过所述第二弹性件与所述固定架固定连接，所述超声波发射器的发射口朝向所述固定架外侧，所述第二弹性件用于抵顶承接所述超声波发射器；所述固定架上设置有固定槽，用于与外界的驱动装置固定连接，以通过所述驱动装置带动所述固定架旋转和移动。2.根据权利要求1中所述的溅射靶材浸润装置，其特征在于，所述第一传动件包括外套杆、内套杆和锁销；所述外套杆与所述钢刷电机的轴固定连接，所述外套杆上设置有滑动槽孔，所述内套杆位于所述外套杆内，所述内套杆与所述浸润钢刷固定连接，所述锁销固定于所述内套杆的一端并穿过所述滑动槽孔，所述内套杆与所述外套杆通过所述锁销传动连接，所述内套杆在所述外套杆内滑动时，带动所述锁销在所述滑动槽孔内滑动。3.根据权利要求2中所述的溅射靶材浸润装置，其特征在于，所述浸润钢刷机构还包括固定环；所述固定环套设固定于所述内套杆上，位于所述浸润钢刷与所述第一弹性件之间，所述第一弹性件的第一端与所述外套杆固定连接，第二端与所述固定环的第一面固定连接,所述固定环的第二面...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴凡，曹辉，史立阳，方涛，张兴，陈齐宁，秦哲，
申请(专利权)人：安徽省配天机器人集团有限公司，
类型：新型
国别省市：