传送装置和传送方法制造方法及图纸

提供用于传送容纳有物品的容器的传送装置。传送装置可以包括第一轨道、位于第一轨道下方的第二轨道以及位于第一轨道和第二轨道一侧的传送单元，传送单元配置成在行驶在第一轨道上的第一载具和行驶在第二轨道上的第二载具之间传送容器，其中传送单元可以包括在内部具有升降空间的框架以及用于在升降空间中在传送第一载具和容器的第一位置和传送第二载具和容器的第二位置之间升降容器的升降构件。件。件。

【技术实现步骤摘要】
传送装置和传送方法


[0001]本专利技术涉及传送装置和传送方法，更具体地，涉及用于传送在半导体器件制造工艺中使用的物品的装置和方法。

技术介绍

[0002]通常，为了制造半导体，执行诸如沉积、光刻和蚀刻等多种工艺。执行各个工艺的半导体处理设备布置在半导体生产线中。半导体生产线可以具有多层结构。可以在作为在半导体制造工艺中使用的物品的衬底(例如晶圆、玻璃)容纳在诸如FOUP的容器中时将其传送到每个半导体处理设备。另外，在半导体制造工序中，将已完成预定工艺的物品从半导体处理设备回收到容器中，并将回收的容器传送到外部。
[0003]容器由诸如高架起吊运输装置(overhead hoist transport)的载具(vehicle)传送。传送载具沿着设置在半导体生产线中的轨道行驶。载具将容纳有物品的容器传送到一个半导体处理设备的装载口。另外，载具可以从装载口取出容纳有已完成预定处理的物品的容器，并且将容器传送到外部或者将容器传送到另一个半导体处理设备。
[0004]为了提高制造布置在半导体生产线的任一层上的半导体的处理效率，需要缩短载具在半导体处理设备之间传送容器所需的时间。作为缩短载具的容器传送时间的方法，已采用分别使用供载具行驶的多个轨道的方法。在半导体生产线的顶棚上设置具有不同用途的上轨和设置在上轨下方的下轨。例如，上轨可以用作为载具的高速行驶路径，下轨可以用作为载具的低速行驶路径。如上所述，当上轨和下轨的用途不同以缩短载具的容器传送时间时，需要在行驶在上轨上的载具和行驶在下轨上的载具之间交换容器。
[0005]为了使载具直接在上轨和下轨之间移动，需要设置用于连接上轨和下轨的斜轨。斜轨引起消耗半导体生产线内部空间的结构问题。此外，当使用斜轨在上轨和下轨之间交换容器时，根据在斜轨区间行驶的载具的数量，在斜轨区间会发生拥塞。这种拥塞导致半导体制造效率反而降低的结果。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种传送装置及传送方法，其能够高效地传送在半导体生产线中待使用的物品。
[0007]本专利技术的另一个目的是提供一种传送装置和传送方法，其能够在行驶在具有不同用途的轨道上的载具之间有效地交换物品。
[0008]本专利技术的又一个目的是提供一种传送装置和传送方法，其能够在行驶在连续布置有半导体器件的半导体生产线的同一层上设置的不同轨道上的载具之间有效地交换物品。
[0009]本专利技术的目的不限于此，并且通过以下描述，以上未提及的其他目的将对于本领域普通技术人员而言显而易见。
[0010]本专利技术实施例提供一种用于传送容纳有物品的容器的传送装置。传送装置可以包括第一轨道、位于第一轨道下方的第二轨道以及位于第一轨道和第二轨道一侧的传送单
元，传送单元配置成在行驶在第一轨道上的第一载具和行驶在第二轨道上的第二载具之间传送容器，其中传送单元可以包括在内部具有升降空间的框架以及用于在升降空间中在传送第一载具和容器的第一位置与传送第二载具和容器的第二位置之间升降容器的升降构件。
[0011]根据一实施例，传送装置可以布置在多个半导体器件上方，连续布置有多个半导体器件的半导体生产线可以由至少一层构成，且第一轨道、第二轨道以及传送单元可以布置在半导体生产线的同一层上。
[0012]根据一实施例，第二载具可以以与第一载具的速度相比更低的速度在第二轨道上行驶以传送半导体器件和容器。
[0013]根据一实施例，第一轨道和框架可以固定到半导体生产线的顶棚，并且第二轨道可以经由第一轨道固定。
[0014]根据一实施例，传送单元可以包括位于第一轨道的一侧的第一传送单元、和以第一轨道为基准位于与第一轨道的一侧相对的另一侧的第二传送单元。
[0015]根据一实施例，第一传送单元可以包括第一框架和第一升降构件，其中第一升降构件可以包括用于支撑容器的下表面的升降板以及设置在第一框架的下壁上并沿竖直方向移动升降板的第一驱动构件，第二传送单元可包括第二框架和第二升降构件，其中第二升降构件可包括用于夹持形成在容器上部的凸缘的夹持构件以及设置在第二框架的上壁上并沿竖直方向移动夹持构件的第二驱动构件。
[0016]根据一实施例，第一载具可仅在第一轨道和第二轨道中的第一轨道上行驶，并且第二载具可仅在第一轨道和第二轨道中的第二轨道上行驶。
[0017]根据一实施例，传送单元还可以包括用于在升降空间中传送第一载具、升降构件和容器的支撑构件。
[0018]根据一实施例，支撑构件可以设置在第一位置处。
[0019]根据一实施例，支撑构件可以设置在框架上并且可以在能够在升降空间中支撑容器的支撑位置和不妨碍容器在升降空间中升降的待机位置之间滑动。
[0020]根据一实施例，在升降构件在升降空间中上下移动时，支撑构件可以不妨碍升降构件。
[0021]根据一实施例，第一载具和第二载具中的每一者包括滑块，其相对于行驶方向横向地改变容器的位置，在框架的侧面中，面向第一轨道和第二轨道的侧面是敞开的，滑块通过敞开的侧面将容器移动到升降空间。
[0022]根据一实施例，传送装置还可以包括控制器，其中控制器可以控制支撑构件、滑块和升降构件，使得：在将容器从第一载具移动到升降空间时，在将支撑构件滑动到支撑位置之后通过将滑块移动到升降空间来使容器坐落在支撑构件上，在容器坐落在支撑构件上之后将升降构件提升到第一位置以使得升降构件支撑容器，并在升降构件支撑容器后将支撑构件滑动至待机位置。
[0023]根据一实施例，传送装置还可以包括控制器，其中控制器可以控制支撑构件、滑块和升降构件，使得：在将容器从升降空间中移动到第一载具时，在将容器提升到第一位置之前升降构件将支撑构件滑动到待机位置，在支撑构件移动到待机位置时升降构件将容器升降到第一位置，并且在升降构件位于第一位置处时升降构件将支撑构件滑动到支撑位置。
[0024]本专利技术的另一实施例提供一种传送方法，其沿着连续布置有半导体器件的半导体生产线的同一层中的第一轨道和布置在与第一轨道不同的高度处的第二轨道传送容纳有物品的容器。该传送方法可包括：在相对于第一轨道和第二轨道的纵向方向位于一侧的框架中的升降空间中在行驶在第一轨道上的第一载具和行驶在第二轨道上的第二载具之间交换容器；以及通过设置在升降空间中的升降构件在传送第一载具和容器的第一位置与传送第二载具和容器的第二位置之间升降容器。
[0025]根据一实施例，设置在第一位置处的支撑构件传送第一载具、升降构件和容器，其中支撑构件在能够在升降空间中支撑容器的支撑位置和不妨碍容器在升降空间中升降的待机位置之间滑动。
[0026]根据一实施例，该传送方法还可以包括：在将容器从第一载具移动到升降空间时，在将支撑构件滑动到支撑位置之后，将由第一载具支撑的容器移动到支撑构件上。
[0027]根据一实施例，升降构件可将支撑构件提升到第一位置，使得支撑坐落在支撑构件上的容器，并且升降构件可在支撑容器之后将支撑构件滑动到待机位置。
[0028]根据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传送装置，其用于传送容纳有物品的容器，所述传送装置包括：第一轨道；第二轨道，其位于所述第一轨道的下方；和传送单元，其位于所述第一轨道和所述第二轨道的一侧，以用于在行驶在所述第一轨道上的第一载具和行驶在所述第二轨道上的第二载具之间传送所述容器，其中所述传送单元包括：框架，其在内部具有升降空间；和升降构件，其用于在所述升降空间中在传送所述第一载具和所述容器的第一位置与传送所述第二载具和所述容器的第二位置之间升降所述容器。2.如权利要求1所述的传送装置，其中所述传送装置布置在多个半导体器件的上方，连续布置有所述多个半导体器件的半导体生产线由至少一层构成，并且所述第一轨道、所述第二轨道和所述传送单元布置在所述半导体生产线的同一层上。3.如权利要求2所述的传送装置，其中所述第二载具以与所述第一载具的速度相比更低的速度在所述第二轨道上行驶以传送所述半导体器件和所述容器。4.如权利要求2所述的传送装置，其中所述第一轨道和所述框架固定到所述半导体生产线的顶棚，并且所述第二轨道经由所述第一轨道固定。5.如权利要求1至3中任一项所述的传送装置，其中所述传送单元包括：第一传送单元，其位于所述第一轨道的一侧；和第二传送单元，其以所述第一轨道为基准位于与所述第一轨道的一侧相对的另一侧。6.如权利要求5所述的传送装置，其中所述第一传送单元包括第一框架和第一升降构件，其中所述第一升降构件包括：升降板，其用于支撑所述容器的下表面；和第一驱动构件，其设置在所述第一框架的下壁上并用于沿竖直方向移动所述升降板，所述第二传送单元包括第二框架和第二升降构件，其中所述第二升降构件包括：保持部件，其用于夹持形成在所述容器的上部的凸缘；和第二驱动构件，其设置在所述第二框架的上壁上并用于在竖直方向上移动所述夹持构件。7.如权利要求1至3中任一项所述的传送装置，其中所述第一载具仅在所述第一轨道和所述第二轨道中的所述第一轨道上行驶，所述第二载具仅在所述第一轨道和所述第二轨道中的所述第二轨道上行驶。8.如权利要求1至3中任一项所述的传送装置，其中所述传送单元还包括支撑构件，其用于在所述升降空间中传送所述第一载具、所述升降构件和所述容器。9.如权利要求8所述的传送装置，其中
所述支撑构件设置在所述第一位置处。10.如权利要求9所述的传送装置，其中所述支撑构件设置在所述框架上，并在能够在所述升降空间中支撑所述容器的支撑位置和不妨碍所述容器在所述升降空间中升降的待机位置之间滑动。11.如权利要求10所述的传送装置，其中在所述升降构件在所述升降空间上下移动时，所述支撑构件不妨碍所述升降构件。12.如权利要求11所述的传送装置，其中所述第一载具和所述第二载具中的每一者包括滑块，其用于相对于行驶方向横向地改变所述容器的位置，在所述框架的侧面中，面向所述第一轨道和所述第二轨道的侧面是敞开的，并且所述滑块通过敞开的侧面将所述容器移动到所述升降空间。13.如权利要求12所述的传送装置，还包括：控制器，其配置成控制所述支撑构件、所述滑块和所述升降构件，使得：在将所述容器从所述第一载具移动到所述升降空间时，在将所述支撑构件滑动到所述支撑位置之后通过将所述滑块移动到所述升降空间来使所述容器坐落在所述支撑构件上，并在所述容器坐落在所述支撑构件上之...

【专利技术属性】
技术研发人员：方明真，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：