一种基于机器视觉的光学检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基于机器视觉的光学检测装置，其包括：照明发射组件、相机组件、光路调节组件以及光学成像组件；所述照明发射组件用于发射照明光束，所述相机组件用于接收从所述待测物表面反射的反射光束；所述光学成像组件设置于所述照明光束和所述反射光束的光路上，所述光学成像组件用于将所述照明光束传输至所述待测物表面以及将所述反射光束传输至所述相机组件；所述光路调节组件用于调节所述光学成像组件的位置。本发明专利技术通过从多个视角检测待测物表面缺陷，从而达到通过单个装置从四周和正面同时检测待测物体上表面和各个侧面的缺陷达到提高光学检测能力、优化检测效率的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种基于机器视觉的光学检测装置


[0001]本专利技术涉及机器视觉领域，特别涉及一种基于机器视觉的光学检测装置。

技术介绍

[0002]在一些微小电子元器件的生产制造过程中，为降低生产成本，提高产品良率，往往需要在制造环节对元器件进行缺陷检测。传统的缺陷检测方式是人工使用显微镜进行检测，该方式误差大，效率低，已无法满足如今巨大的生产需求。
[0003]随着科技的发展，人工目检的方式已逐渐被自动化设备所取代。然而，由于电子元件的形状各异，检测项目不尽相同，一些检测项目通过仅存在单一视角的自动化检测设备无法准确测量电子元件存在的缺陷。比如，对于具有多个表面的电子元件，往往需采用多个工作站分别从正面和侧面进行检测，因此用到的硬件和人力成本较多。
[0004]因此现有技术还有待改进和提高。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种基于机器视觉的光学检测装置，从而实现以单个装置从四周和正面同时检测待测物体上表面和各个侧面的缺陷，以解决现有的单一工作站缺陷检测装置在进行缺陷检测时，无法同时从多视角进行检测，导致检测能力不足的问题。
[0006]本专利技术通过以下技术方案实现的：一种基于机器视觉的光学检测装置，其包括：照明发射组件、相机组件、光路调节组件以及光学成像组件；
[0007]所述照明发射组件用于发射照明光束，所述照明光束从多角度入射至待测物表面；
[0008]所述相机组件用于接收从所述待测物表面反射的反射光束，所述相机组件将所述反射光束转换为电信号，并将图像信息呈现在显示屏上；
[0009]所述光学成像组件设置于所述照明光束和所述反射光束的光路上，所述光学成像组件用于将所述照明光束传输至所述待测物表面以及将所述反射光束传输至所述相机组件；
[0010]所述光路调节组件用于调节所述光学成像组件的位置，以调节所述照明光束和所述反射光束的光路。
[0011]本专利技术的进一步设置，所述基于机器视觉的光学检测装置具有第一通光通道、第二通光通道、第三通光通道、第四通光通道以及第五通光通道；
[0012]所述照明光束和所述反射光束均在所述第一通光通道、所述第二通光通道、所述第三通光通道、所述第四通光通道以及所述第五通光通道上传播以对所述待测物进行光学检测。
[0013]本专利技术的进一步设置，所述照明发射组件包括：第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、第五光源以及第六光源；
[0014]所述第一光源用于将第一照明光束发射至所述第一通光通道的所述光学成像组件；
[0015]所述第二光源用于将第二照明光束发射至所述第二通光通道的所述光学成像组件；
[0016]所述第三光源用于将第三照明光束发射至所述第三通光通道的所述光学成像组件；
[0017]所述第四光源用于将第四照明光束发射至所述第四通光通道的所述光学成像组件；
[0018]所述第五光源用于将第五照明光束发射至所述第五通光通道的所述光学成像组件；
[0019]所述第六光源用于将第六照明光束发射至所述待测物的上方表面。
[0020]本专利技术的进一步设置，所述相机组件包括：第一相机、第二相机、第三相机、第四相机以及第五相机；
[0021]所述第一相机设置于所述第一通光通道中，所述第一相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第一通光通道中的第一反射光束；
[0022]所述第二相机设置于所述第二通光通道中，所述第二相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第二通光通道中的第二反射光束；
[0023]所述第三相机设置于所述第三通光通道中，所述第三相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第三通光通道中的第三反射光束；
[0024]所述第四相机设置于所述第四通光通道中，所述第四相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第四通光通道中的第四反射光束；
[0025]所述第五相机设置于所述第五通光通道中，所述第五相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第五通光通道中的第五反射光束。
[0026]本专利技术的进一步设置，所述光路调节组件包括：第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机；
[0027]所述第一电机与所述第二通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第一电机用于调节所述第二通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第二通光通道的位置；
[0028]所述第二电机与所述第三通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第二电机用于调节所述第三通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第三通光通道的位置；
[0029]所述第三电机与所述第四通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第三电机用于调节所述第四通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第四通光通道的位置；
[0030]所述第四电机与所述第五通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第四电机用于调节所述第五通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第五通光通道的位置。
[0031]本专利技术的进一步设置，所述光学成像组件包括：第一棱镜、第二棱镜、第三棱镜、第四棱镜以及第五棱镜；
[0032]所述第一棱镜设置于所述第一通光通道中，所述第一棱镜用于将所述第一照明光束折射至与所述第一通光通道的光轴方向平行，使所述第一照明光束到达所述待测物表面，并使返回的所述第一反射光束透射至所述所述第一通光通道中；
[0033]所述第二棱镜设置于所述第二通光通道中，所述第二棱镜用于将所述第二照明光束折射至与所述第二通光通道的光轴方向平行，使所述第二照明光束到达待测物表面，并使返回的所述第二反射光束透射至所述第二通光通道中；
[0034]所述第三棱镜设置于所述第三通光通道中，所述第三棱镜用于将所述第三照明光束折射至与所述第三通光通道的光轴方向平行，使所述第三照明光束到达待测物表面，并使返回的所述第三反射光束透射至所述第三通光通道中；
[0035]所述第四棱镜设置于所述第四通光通道中，所述第四棱镜用于将所述第四照明光束折射至与所述第四通光通道的光轴方向平行，使所述第四照明光束到达待测物表面，并使返回的所述第四反射光束透射至所述第四通光通道中；
[0036]所述第五棱镜设置于所述第五通光通道中，所述第五棱镜用于将所述第五照明光束折射至与所述第五通光通道的光轴方向平行，使所述第五照明光束到达所述待测物表面，并使返回的所述第五反射光束透射至所述第五通光通道中。
[0037]本专利技术的进一步设置，所述光学成像组件还包括：第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜；
[0038]所述第一反射镜设置于所述第二通光通道的下方，所述第一反射镜用于将所述第二照明光束反射至所述待测物表面，并将从所述待测物表面返回的第二反射光束反射至所述第二通光通道中；
[0039]所述第二反射镜设置于所述第三通光通道的下方，所述第二反射镜用于将所述第三照明光束反射至所述待测物表面，并将从所述待测物表面返回的第三反射光束反射至所述第三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于机器视觉的光学检测装置，其特征在于，包括：照明发射组件、相机组件、光路调节组件以及光学成像组件；所述照明发射组件用于发射照明光束，所述照明光束从多角度入射至待测物表面；所述相机组件用于接收从所述待测物表面反射的反射光束，所述相机组件将所述反射光束转换为电信号，并将图像信息呈现在显示屏上；所述光学成像组件设置于所述照明光束和所述反射光束的光路上，所述光学成像组件用于将所述照明光束传输至所述待测物表面以及将所述反射光束传输至所述相机组件；所述光路调节组件用于调节所述光学成像组件的位置，以调节所述照明光束和所述反射光束的光路。2.根据权利要求1所述的基于机器视觉的光学检测装置，其特征在于，所述基于机器视觉的光学检测装置具有第一通光通道、第二通光通道、第三通光通道、第四通光通道以及第五通光通道；所述照明光束和所述反射光束均在所述第一通光通道、所述第二通光通道、所述第三通光通道、所述第四通光通道以及所述第五通光通道上传播以对所述待测物进行光学检测。3.根据权利要求2所述的基于机器视觉的光学检测装置，其特征在于，所述照明发射组件包括：第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、第五光源以及第六光源；所述第一光源用于将第一照明光束发射至所述第一通光通道的所述光学成像组件；所述第二光源用于将第二照明光束发射至所述第二通光通道的所述光学成像组件；所述第三光源用于将第三照明光束发射至所述第三通光通道的所述光学成像组件；所述第四光源用于将第四照明光束发射至所述第四通光通道的所述光学成像组件；所述第五光源用于将第五照明光束发射至所述第五通光通道的所述光学成像组件；所述第六光源用于将第六照明光束发射至所述待测物的上方表面。4.根据权利要求3所述的基于机器视觉的光学检测装置，其特征在于，所述相机组件包括：第一相机、第二相机、第三相机、第四相机以及第五相机；所述第一相机设置于所述第一通光通道中，所述第一相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第一通光通道中的第一反射光束；所述第二相机设置于所述第二通光通道中，所述第二相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第二通光通道中的第二反射光束；所述第三相机设置于所述第三通光通道中，所述第三相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第三通光通道中的第三反射光束；所述第四相机设置于所述第四通光通道中，所述第四相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第四通光通道中的第四反射光束；所述第五相机设置于所述第五通光通道中，所述第五相机用于接收从所述待测物表面反射并通入所述第五通光通道中的第五反射光束。5.根据权利要求2所述的基于机器视觉的光学检测装置，其特征在于，所述光路调节组件包括：第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机；所述第一电机与所述第二通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第一电机用于调节所述第二通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第二通光通道的位置；
所述第二电机与所述第三通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第二电机用于调节所述第三通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第三通光通道的位置；所述第三电机与所述第四通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第三电机用于调节所述第四通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第四通光通道的位置；所述第四电机与所述第五通光通道中的所述光学成像组件连接，所述第四电机用于调节所述第五通光通道中的所述光学成像组件的位置，以调节所述第五通光通道的位置。6.根据权利要求4所述的基于机器视觉的光学检测装置，其特征在于，所述光学成像组件包括：第一棱镜、第二棱...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗建华，师晓科，刘怀志，刘佳华，何李超，杨佳锋，
申请(专利权)人：深圳市华拓半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：