【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆压紧的，尤其涉及一种磁力压料工装机构。
技术介绍
1、晶圆，又称为半导体晶圆或硅片，是指具有规定尺寸、形状和平整度的半导体材料（通常是硅）的圆片。由于晶圆在生产过程中可能出现一些缺陷或不良区域，如气泡、裂纹、杂质等，这些缺陷会影响到集成电路的性能和可靠性。通过对晶圆进行检测，可以及早发现并排除有缺陷的晶圆，保证产品的品质和可靠性。
2、然而，在现有晶圆检测装置中，对晶圆采取固定的方式为直接利用气缸带动压板等组件对晶圆载具表面进行压紧固定，采用这种压紧方式容易产生较大的冲击力，导致在压紧放置晶圆的载具时，载具容易出现左右偏摆或倾斜状态，影响对晶圆的检测精度。
3、因此，亟待一种磁力压料工装机构解决的技术问题。
4、上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种磁力压料工装机构，旨在解决现有对晶圆载具采取固定方式，存在冲击力过大，容易导致载具偏位，从而影响晶圆检测结果的问题。
2、为实现上述目的，本申请提供一种磁力压料工装机构，包括工作台板，所述工作台板的两侧分别设置有支撑组件，两个所述支撑组件之间设置有用于放置晶圆的载具，所述支撑组件上设置有磁性压紧组件，所述磁性压紧组件与所述支撑组件之间设置有弹性件，位于所述工作台板上设置有滑动组件，所述滑动组件上设置有电磁铁，所述电磁铁用于与所述磁性压紧组件配合，实现对载具的固定，且所述电磁铁与控制系统电性连接。
3、作为本申请一种优选方案，还包括若干个定位孔以及若干个螺丝孔，若干个所述定位孔、若干个所述螺丝孔以所述工作台板的中心点为对称中心对称设置在所述工作台板的两侧，若干个所述定位孔、若干个所述螺丝孔用于适配不同尺寸的载具放置。
4、作为本申请一种优选方案，所述支撑组件包括放置板、固定板、第一磁铁、第二磁铁，所述放置板上设置有两个所述固定板，两个所述固定板之间滑动设置有所述磁性压紧组件，且所述磁性压紧组件与所述固定板之间设置有所述弹性件，所述放置板内置有所述第一磁铁，所述固定板上内置有所述第二磁铁。
5、作为本申请一种优选方案，所述磁性压紧组件包括压板、第三磁铁、第四磁铁以及铁板，所述压板上设置有所述铁板，所述压板内置有所述第三磁铁与所述第四磁铁，所述所述第三磁铁与所述第一磁铁相配合，所述第四磁铁与所述第二磁铁相配合。
6、作为本申请一种优选方案，还包括滑动组件，所述升降组件与所述电磁铁之间连接有所述滑动组件，所述滑动组件包括安装架、气缸、连接块，所述安装架位于所述工作台板的上方设置，所述安装架上设置有所述气缸，所述气缸输出端上设置有所述连接块，所述连接块上设置有所述电磁铁。
7、作为本申请一种优选方案，所述升降组件包括电机、丝杆、导向架，所述导向架内置有所述电机以及所述丝杆，所述电机输出端与所述丝杆连接，所述丝杆上设置有所述安装座，所述安装座可在所述导向架上相对滑动。
8、作为本申请一种优选方案，所述弹性件具体采用弹簧。
9、作为本申请一种优选方案，还包括硅胶棒，所述压板上设置有所述硅胶棒。
10、作为本申请一种优选方案，还包括拉簧，所述拉簧一端与所述安装架连接，所述拉簧的另一端与所述连接块连接。
11、本申请提供的一种磁力压料工装机构，升降组件带动通电电磁铁向靠近载具方向移动，利用电磁铁靠近磁性压紧组件并与之吸附，在升降组件的继续传动下，磁性压紧组件与支撑组件之间的磁力相互吸引，实现对载具以及晶圆的固定，这种利用磁力压紧的方式与直接利用气缸带动压料组件相比，整体上相对柔和，有效降低冲击，减少下压载具过程中，载具出现偏位现象，能够提高晶圆检测精度，同时，在需要转动载具时也可以实现动力装置与压料模块的分离，使气管、线路不跟随压料机构运动，避免布置困难及干涉等问题。
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1.一种磁力压料工装机构，其特征在于，包括工作台板，所述工作台板的两侧分别设置有支撑组件，两个所述支撑组件之间设置有用于放置晶圆的，所述支撑组件上设置有磁性压紧组件，所述磁性压紧组件与所述支撑组件之间设置有弹性件，位于所述工作台板上设置有升降组件，所述升降组件上设置有电磁铁，所述电磁铁用于与所述磁性压紧组件配合，实现对载具的固定，且所述电磁铁与控制系统电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，还包括若干个定位孔以及若干个螺丝孔，若干个所述定位孔、若干个所述螺丝孔以所述工作台板的中心点为对称中心对称设置在所述工作台板的两侧，若干个所述定位孔、若干个所述螺丝孔用于适配不同尺寸的载具放置。
3.根据权利要求1所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，所述支撑组件包括放置板、固定板、第一磁铁、第二磁铁，所述放置板上设置有两个所述固定板，两个所述固定板之间滑动设置有所述磁性压紧组件，且所述磁性压紧组件与所述固定板之间设置有所述弹性件，所述放置板内置有所述第一磁铁，所述固定板上内置有所述第二磁铁。
4.根据权利要求3所述的一种磁力
5.根据权利要求1所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，还包括滑动组件，所述升降组件与所述电磁铁之间连接有所述滑动组件，所述滑动组件包括安装架、气缸、连接块，所述安装架位于所述工作台板的上方设置，所述安装架上设置有所述气缸，所述气缸输出端上设置有所述连接块，所述连接块上设置有所述电磁铁。
6.根据权利要求5所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，所述升降组件包括电机、丝杆、导向架，所述导向架内置有所述电机以及所述丝杆，所述电机输出端与所述丝杆连接，所述丝杆上设置有所述安装座，所述安装座可在所述导向架上相对滑动。
7.根据权利要求3所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，所述弹性件具体采用弹簧。
8.根据权利要求4所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，还包括硅胶棒，所述压板上设置有所述硅胶棒。
9.根据权利要求5所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，还包括拉簧，所述拉簧一端与所述安装架连接，所述拉簧的另一端与所述连接块连接。
...【技术特征摘要】
1.一种磁力压料工装机构，其特征在于，包括工作台板，所述工作台板的两侧分别设置有支撑组件，两个所述支撑组件之间设置有用于放置晶圆的，所述支撑组件上设置有磁性压紧组件，所述磁性压紧组件与所述支撑组件之间设置有弹性件，位于所述工作台板上设置有升降组件，所述升降组件上设置有电磁铁，所述电磁铁用于与所述磁性压紧组件配合，实现对载具的固定，且所述电磁铁与控制系统电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，还包括若干个定位孔以及若干个螺丝孔，若干个所述定位孔、若干个所述螺丝孔以所述工作台板的中心点为对称中心对称设置在所述工作台板的两侧，若干个所述定位孔、若干个所述螺丝孔用于适配不同尺寸的载具放置。
3.根据权利要求1所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，所述支撑组件包括放置板、固定板、第一磁铁、第二磁铁，所述放置板上设置有两个所述固定板，两个所述固定板之间滑动设置有所述磁性压紧组件，且所述磁性压紧组件与所述固定板之间设置有所述弹性件，所述放置板内置有所述第一磁铁，所述固定板上内置有所述第二磁铁。
4.根据权利要求3所述的一种磁力压料工装机构，其特征在于，所述磁性压紧组件包括压板、第三磁铁、第...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗炜桓，罗建华，陈林才，龙志斌，李刁龙，
申请(专利权)人：深圳市华拓半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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