工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种工业用机器人，其具有用于检测输送对象物来修正手的位置的检测机构，即使输送对象物的表面的光的反射状态产生偏差，也能够确保检测机构对输送对象物的检测精度。该工业用机器人具备手11和支承手11的支承部件。手11具备：构成手11的基端侧部分并且与支承部件连结的连结部19；构成手11的前端侧部分并且装载输送对象物2的装载部20；以及用于检测输送对象物2来修正手11的位置的多个检测机构22。检测机构22是具有在上下方向上隔着间隙对置配置的发光部和受光部的透射型光学式传感器，配置在装载部20的基端侧。配置在装载部20的基端侧。配置在装载部20的基端侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工业用机器人


[0001]本专利技术涉及一种具备装载输送对象物的手的工业用机器人。

技术介绍

[0002]以往，已知有用于输送薄板状的工件的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备手和以能够转动的方式连结手的臂，进行工件从收纳工件的收纳盒的搬出、工件向收纳盒的搬入。手具备装载工件的手叉(载置部)。在手叉上设有用于抽吸并保持工件的真空垫。在对收纳盒进行工件的搬出或搬入时，手叉进入收纳盒中。
[0003]在专利文献1所记载的工业用机器人中，在手叉的前端侧安装有对准传感器，该对准传感器用于检测装载在手叉上的工件来修正手的位置。对准传感器是具有发光部和受光部的反射型的光学式传感器，该受光部接受从发光部射出并被工件的表面(具体而言，工件的下侧的面)反射的光。对准传感器检测收纳在收纳盒中的工件的端面的位置。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2006－272526号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]在由工业用机器人输送的工件例如是半导体晶圆的情况下，由于使用各种材料作为半导体晶圆的原材料、或者对半导体晶圆的表面进行各种处理的影响，由工业用机器人输送的半导体晶圆的表面的光的反射状态有可能产生偏差。在专利文献1所记载的工业用机器人中，由于对准传感器是反射型的光学式传感器，所以当半导体晶圆的表面的光的反射状态产生偏差时，对准传感器对半导体晶圆的检测精度有可能降低。<br/>[0009]因此，本专利技术的技术问题在于提供一种工业用机器人，该工业用机器人具备用于检测输送对象物来修正手的位置的检测机构，即使输送对象物的表面的光的反射状态产生偏差，也能够确保检测机构对输送对象物的检测精度。
[0010]解决技术问题所采用的技术方案
[0011]为了解决上述技术问题，本专利技术的工业用机器人的特征在于，具备：手，所述手装载形成为薄板状的输送对象物；以及支承部件，所述支承部件支承所述手，所述手具备：构成所述手的基端侧部分并且与所述支承部件连结的连结部；构成所述手的前端侧部分并且装载所述输送对象物的装载部；以及用于检测所述输送对象物来修正所述手的位置的多个检测机构，所述检测机构是具有在上下方向上隔着间隙对置配置的发光部和受光部的透射型光学式传感器，配置在所述装载部的基端侧。
[0012]在本专利技术的工业用机器人中，用于检测输送对象物来修正手的位置的检测机构是具有在上下方向上隔着间隙对置配置的发光部和受光部的透射型光学式传感器。因此，在
本专利技术中，即使输送对象物的表面的光的反射状态产生偏差，检测机构对输送对象物的检测精度也不会降低。因此，在本专利技术中，即使输送对象物的表面的光的反射状态产生偏差，也能够确保检测机构对输送对象物的检测精度。
[0013]另一方面，在检测机构为透射型光学式传感器的情况下，以在上下方向上夹着输送对象物的方式配置发光部和受光部，因此，在上下方向上检测机构有可能大型化。另外，如果检测机构在上下方向上大型化，则例如在手的装载部进入到收纳输送对象物的收纳部时，收纳部的构成部件与检测机构之间有可能发生干扰。但是，在本专利技术中，由于检测机构配置在装载部的基端侧，所以能够以在装载部进入到收纳输送对象物的收纳部时检测机构的整体不进入到收纳部的方式配置检测机构。因此，在本专利技术中，即使检测机构是透射型光学式传感器，另外，即使不变更收纳部的结构，也能够防止收纳部的构成部件与检测机构之间的干扰。
[0014]在本专利技术中，例如，输送对象物形成为圆板状，手具备三个以上的检测机构。在这种情况下，由于手具有三个以上的检测机构，因此能够基于三个以上的检测机构的检测结果，高精度地计算形成为圆板状的输送对象物的中心位置。另外，在这种情况下，由于手具备三个以上的检测机构，因此即使在工业用机器人输送直径不同的输送对象物的情况下，也能够基于三个以上的检测机构的检测结果，算出形成为圆板状的输送对象物的中心位置。
[0015]在本专利技术中，例如，作为支承部件，工业用机器人具备在前端侧能转动地连结手的臂，并且具备能转动地连结臂的基端侧的主体部。
[0016]专利技术效果
[0017]如上所述，在本专利技术中，在具备用于检测输送对象物来修正手的位置的检测机构的工业用机器人中，即使输送对象物的表面的光的反射状态产生偏差，也能够确保检测机构对输送对象物的检测精度。
附图说明
[0018]图1是用于说明本专利技术的实施方式的工业用机器人的概略结构的俯视图。
[0019]图2是图1所示的手的俯视图。
[0020]图3是用于说明图2所示的检测机构的结构的侧视图。
具体实施方式
[0021]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0022](工业用机器人的概略结构)
[0023]图1是用于说明本专利技术的实施方式的工业用机器人1的概略结构的俯视图。
[0024]本方式的工业用机器人1是用于输送作为输送对象物的半导体晶圆2的水平多关节型的机器人。半导体晶圆2形成为薄板状。具体而言，半导体晶圆2形成为薄的圆板状。工业用机器人1组装在半导体制造系统3中使用。在以下的说明中，将工业用机器人1称为"机器人1"，将半导体晶圆2称为"晶圆2"。
[0025]半导体制造系统3例如具备EFEM(设备前端模块)4和对晶圆2进行规定处理的晶圆处理装置5。机器人1构成EFEM4的一部分。另外，EFEM4例如具备对收纳晶圆2的FOUP(前开式
晶圆传送盒)6进行开闭的多个装载口7、和收纳机器人1的框体8。
[0026]在FOUP6中，能够以在上下方向上隔开一定间隔的状态且在上下方向上重叠的状态收纳多张晶圆2。机器人1在FOUP6与晶圆处理装置5之间输送晶圆2。例如，机器人1从FOUP6搬出晶圆2，并将搬出的晶圆2搬入晶圆处理装置5。另外，机器人1从晶圆处理装置5搬出晶圆2，并将搬出的晶圆2搬入FOUP6。
[0027]机器人1具备：装载晶圆2的手11；在前端侧能够转动地连结手11并且在水平方向上动作的臂12；以及能转动地连结臂12的基端侧的主体部13。臂12由基端侧能转动地连结在主体部13上的第一臂部15、基端侧可转动地连结在第一臂部15的前端侧的第二臂部16、以及基端侧可转动地连结在第二臂部16的前端侧的第三臂部17构成。
[0028]主体部13、第一臂部15、第二臂部16以及第三臂部17在上下方向上从下侧起依次配置。主体部13具备使臂12升降的升降机构。另外，机器人1具备：臂部驱动机构，其使第一臂部15及第二臂部16转动而使由第一臂部15和第二臂部16构成的臂12的一部分伸缩；第三臂部驱动机构，其使第三臂部17转动；以及手驱动机构，其使手11转动。
[0029]手11形成为从上下方向观察时的形状为大致Y形状。手11具备：构成手11的基端侧部分并且与臂12连结的连结部19；以及构成手11的前端侧部分并且作为装载晶圆2的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种工业用机器人，其特征在于，具备：手，所述手装载形成为薄板状的输送对象物；以及支承部件，所述支承部件支承所述手，所述手具备：构成所述手的基端侧部分并且与所述支承部件连结的连结部；构成所述手的前端侧部分并且装载所述输送对象物的装载部；以及用于检测所述输送对象物来修正所述手的位置的多个检测机构，所述检测机构是具有在上下方向上隔着间隙对置配...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗林保，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：