工业用机器人的手及工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种工业用机器人的手及工业用机器人，包括：搭载部，搭载搬送对象物；搭载支撑部，固定搭载部的基端侧；以及保持机构，用于将搭载于搭载部的搬送对象物保持于水平方向上的一定位置，即使在使用液体的环境下使用，也能够有效果地抑制液体浸入至收容有构成保持机构的一部分的驱动机构的搭载支撑部的内部的配置空间。工业用机器人的手包括：多个密封构件(20、21)，用于防止液体浸入至搭载支撑部(16)的内部；以及气体供给机构，向搭载支撑部的内部供给气体。多个密封构件沿轴部(32)的轴向排列并配置于轴配置孔(41a)中，并且与轴部的外周面接触。气体供给机构向搭载支撑部的内部的配置空间供给气体并使配置空间为正压。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在对搬送对象物进行搬送的工业用机器人中使用的工业用机器人的手。另外，本专利技术涉及一种包括所述手的工业用机器人。

技术介绍

1、以往，已知有一种用于搬送半导体晶片的水平多关节型的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人包括搭载半导体晶片的手、在前端侧能够转动地连结有手的臂、以及能够转动地连结有臂的基端侧的主体部。手包括：搭载部，搭载半导体晶片；手基部，构成手的基端侧部分；以及保持机构，用于将搭载于搭载部的半导体晶片保持于水平方向上的一定位置。搭载部的基端侧固定于手基部。手基部能够转动地连结于臂的前端侧。

2、在专利文献1中记载的工业用机器人中，保持机构包括：端面抵接构件，具有与半导体晶片的端面抵接的抵接面；按压构件，与半导体晶片的端面接触并将半导体晶片的端面按压至端面抵接构件的抵接面；以及驱动机构，使按压构件在水平方向上直线性地移动。驱动机构收容于形成为中空状的手基部的内部。按压构件的基端部连结于驱动机构，并收容于手基部的内部。按压构件的前端侧部分配置于手基部的外部，按压构件的前端能够与半导体晶片的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种工业用机器人的手，是对搬送对象物进行搬送的工业用机器人的手，所述工业用机器人的手的特征在于，

2.根据权利要求1所述的工业用机器人的手，其特征在于，包括在所述轴部的轴向上以相互隔开间隔的状态配置的第一密封构件及第二密封构件这两个所述密封构件作为所述密封构件，

3.根据权利要求2所述的工业用机器人的手，其特征在于，在所述搭载支撑部形成有从所述搭载支撑部的外侧面连通到所述轴配置孔的、所述第一密封构件与所述第二密封构件之间的部分的液体的排出孔。

4.根据权利要求2或3所述的工业用机器人的手，其特征在于，所述第一密封构件是全密封圈，

5.根...

【技术特征摘要】

1.一种工业用机器人的手，是对搬送对象物进行搬送的工业用机器人的手，所述工业用机器人的手的特征在于，

2.根据权利要求1所述的工业用机器人的手，其特征在于，包括在所述轴部的轴向上以相互隔开间隔的状态配置的第一密封构件及第二密封构件这两个所述密封构件作为所述密封构件，

3.根据权利要求2所述的工业用机器人的手，其特征在于，在所述搭载支撑部形成有从所述搭载支撑部的外侧面连通到所述轴配置孔的、所述第一密封构件与所述第二密封构件之间的部分的液体的排出孔。

4.根据权利要求2或3所述的工业用机器人的手，其特征在于，所述第一密封构件是全密封圈，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的工业用机器人的手，其特征在于，所述驱动机构使所述按压构件在如下把持位置、即所述按压部与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木雅裕，细川正己，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：