机器人的自动示教方法及机器人控制装置制造方法及图纸

能够对在工作台间搬运工件的机器人，更准确地自动示教工作台中心。确定接近与工作台中心C的位置关系已知的位置确定用工具(61)的3N种(其中N≥2)方向(步骤101)，重复对每第N个选择方向并设定由三个方向构成的组，得到N个组(步骤102)。针对每个组，使用该组的三个方向使手(14)接近位置确定用夹具(61)，并求出位置确定用夹具(61)的坐标(步骤103)。计算对每个组求出的坐标的平均值(步骤104)，将该平均值作为用于自动示教的位置确定用夹具(61)的坐标(步骤107)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机器人的自动示教方法和执行这种自动示教方法的机器人控制装置。

技术介绍

1、在半导体装置的制造工序中，使用在工作台间搬运作为工件的半导体晶片的搬运用机器人。在以下的说明中，将成为由机器人进行的工件的取出(即装载)和卸货(即卸载)的对象的物体总称为工作台。在半导体制造工序中用于收纳晶片的盒子、对晶片进行某种处理的工件处理装置分别是工作台。在工作台上，严格地规定了由机器人搬运时应配置工件的区域(称为工件配置区域)，将工件配置位置的中心称为工作台中心。为了使用机器人在工作台之间搬运工件，需要针对每个工作台向机器人示教(教学)机器人的坐标系中的工作台中心的坐标。在通过水平多关节机器人搬运半导体晶片等板状的工件的情况下，工件在保持其水平姿势的状态下被搬运，为了在工作台内进行工件的装载和卸载，工件在垂直方向上稍微移动，因此只要准确地示教水平面内的工作台中心即可。

2、以往，在控制机器人的机器人控制装置上连接悬架式操纵台，经由悬架式操纵台手动地使机器人动作，由此向机器人示教工作台的准确位置。但是，通过手动的示教存在产生由进行示教的作业人员引起的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动示教方法，对具有手并配置在作业区域的内部的机器人，自动地示教经由作为开口的连接部而与所述作业区域连接的工作台的工作台中心的位置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的自动示教方法，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的自动示教方法，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的自动示教方法，其特征在于，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的自动示教方法，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的自动示教方法，其特征在于，

7.根据权利要求1至3中任一项所述的自动示教方法，其特征在于，</p>

8.根据...

【技术特征摘要】

1.一种自动示教方法，对具有手并配置在作业区域的内部的机器人，自动地示教经由作为开口的连接部而与所述作业区域连接的工作台的工作台中心的位置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的自动示教方法，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的自动示教方法，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的自动示教方法，其特征在于，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的自动示教方...

【专利技术属性】
技术研发人员：猪股徹也，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：