一种集成式分液保温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，具体为一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体，换热循环主体的上下表面均固定安装有分液汇流块，分液汇流块的上表面连通有保温管套件，保温管套件包括外层管和内层管，分液汇流块的一侧设置有沉头螺塞，换热循环主体的一端分别安装有传感器接头和排气接头，传感器接头的一端安装有温度传感器。本实用新型专利技术，通过设置该分液汇流块，可满足药液分流并保温的需求，同时整体结构紧凑，在保证保温的前提下，可保证药液无泄漏，药液保温与保温水无混合，并且不再需要多组独立装置进行组合使用，来实现对药液的分流和保温，大大提高了空间利用率，同时方便拆卸，便于维护，方便工作人员后续工作的进行。行。行。

【技术实现步骤摘要】
一种集成式分液保温装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种集成式分液保温装置。

技术介绍

[0002]在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行涂胶或者显影工艺，光刻胶的温度和显影液的温度直接影响着工艺的稳定性和均匀性，因此在加工过程中，对光刻胶和显影液温度的恒定有着严苛的要求，目前在一路主进液需分流并保温的情况下，通常需要先经过某装置将药液与保温水分流，再通过另一独立装置将主进药液和主保温水分流，最后再经另一装置将分药液与分保温水合并，整个过程分流、汇流装置跨距大，热量流失大，导致保温效果差，同时空间利用率不高、接头多、管路复杂、泄漏点多并且不便于拆卸维修，需要加以改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种集成式分液保温装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体，所述换热循环主体的上下表面均固定安装有分液汇流块，所述分液汇流块的上表面连通有保温管套件，所述保温管套件包括外层管和内层管，所述分液汇流块的一侧设置有沉头螺塞，所述换热循环主体的一端分别安装有传感器接头和排气接头，所述传感器接头的一端安装有温度传感器。
[0005]为了提高分液汇流块和保温管套件的连接安装效果，本技术改进有，所述分液汇流块和保温管套件的连接处设置有接头连接法兰，所述接头连接法兰的上表面设置有接头螺母。
[0006]为了方便内层管与换热循环主体之间进行连接固定，本技术改进有，所述内层管与换热循环主体的连接处设置有快拧接头。
[0007]为了进一步提高保温管套件在分液汇流块上的安装效果，本技术改进有，所述分液汇流块的上表面安装有压板，所述保温管套件贯穿设置在压板的内部。
[0008]为了提高整个装置的密封性，本技术改进有，所述换热循环主体和分液汇流块的连接处、压板和接头连接法兰的连接处均设置有密封圈。
[0009]为了保证分流效果，本技术改进有，所述分液汇流块的内部设置有分流通道，所述换热循环主体的内部设置有并行通道。
[0010]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0011]本技术中，通过设置该分液汇流块，可满足药液分流并保温的需求，同时整体结构紧凑，在保证保温的前提下，可保证药液无泄漏，药液保温与保温水无混合，并且不再需要多组独立装置进行组合使用，来实现对药液的分流和保温，大大提高了空间利用率，同时方便拆卸，便于维护，方便工作人员后续工作的进行。
附图说明
[0012]图1为本技术提出一种集成式分液保温装置的等轴侧示图；
[0013]图2为本技术提出一种集成式分液保温装置的俯视图；
[0014]图3为本技术提出一种集成式分液保温装置的侧面剖视图；
[0015]图4为本技术提出一种集成式分液保温装置中换热循环主体剖视图。
[0016]图例说明：
[0017]1、换热循环主体；2、分液汇流块；3、沉头螺塞；4、传感器接头；5、温度传感器；6、排气接头；7、接头螺母；8、压板；9、接头连接法兰；10、快拧接头。
具体实施方式
[0018]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]实施例一
[0021]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体1，换热循环主体1的上下表面均固定安装有分液汇流块2，分液汇流块2的上表面连通有保温管套件，保温管套件包括外层管和内层管，分液汇流块2的一侧设置有沉头螺塞3，换热循环主体1的一端分别安装有传感器接头4和排气接头6，传感器接头4的一端安装有温度传感器5，通过设置该分液汇流块2，可满足药液分流并保温的需求，同时整体结构紧凑，在保证保温的前提下，可保证药液无泄漏，药液保温与保温水无混合，并且不再需要多组独立装置进行组合使用，来实现对药液的分流和保温，大大提高了空间利用率，同时方便拆卸，便于维护，方便工作人员后续工作的进行。
[0022]请参阅图1
‑
4，分液汇流块2和保温管套件的连接处设置有接头连接法兰9，接头连接法兰9的上表面设置有接头螺母7，接头连接法兰9配合上接头螺母7，可以提高分液汇流块2和保温管套件的连接安装效果，内层管与换热循环主体1的连接处设置有快拧接头10，快拧接头10可以实现内层管与换热循环主体1之间的快速固定安装，分液汇流块2的上表面安装有压板8，保温管套件贯穿设置在压板8的内部，压板8可以实现辅助固定的效果，充分保证保温管套件与分液汇流块2的连接效果，换热循环主体1和分液汇流块2的连接处、压板8和接头连接法兰9的连接处均设置有密封圈，设置该密封圈，可以充分保证整个装置的密封效果，分液汇流块2的内部设置有分流通道，换热循环主体1的内部设置有并行通道，分流通道和并行通道可以保证装置分流效果的顺利进行。
[0023]工作原理：当该装置在使用过程中，药液与保温水在经过分流汇流块后，会实现分流，并分别流入换热循环主体1内设有的两条并行通道内部，同时在换热循环主体1的一头
设有排气接头6和温度传感器5，排气接头6可排走通道内存在的空气，而温度传感器5可检测保温水的温度，保温水、药液流在经过换热循环主体1后，会再次流入分流汇流块，分流后的药液会进入内层管内，并且分流后的保温水通过分流汇流块内设有的分流汇流通道后，会进入到外层管内，最终实现药液与保温水的汇流，可满足药液分流并保温的需求，同时整体结构紧凑，在保证保温的前提下，可保证药液无泄漏，药液保温与保温水无混合，并且不再需要多组独立装置进行组合使用，来实现对药液的分流和保温，大大提高了空间利用率，同时方便拆卸，便于维护，方便工作人员后续工作的进行。
[0024]以上，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作其他形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的
技术实现思路
加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其他领域，但是凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本技术技术方案的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式分液保温装置，包括换热循环主体(1)，其特征在于：所述换热循环主体(1)的上下表面均固定安装有分液汇流块(2)，所述分液汇流块(2)的上表面连通有保温管套件，所述保温管套件包括外层管和内层管，所述分液汇流块(2)的一侧设置有沉头螺塞(3)，所述换热循环主体(1)的一端分别安装有传感器接头(4)和排气接头(6)，所述传感器接头(4)的一端安装有温度传感器(5)。2.根据权利要求1所述的集成式分液保温装置，其特征在于：所述分液汇流块(2)和保温管套件的连接处设置有接头连接法兰(9)，所述接头连接法兰(9)的上表面设置有接头螺母(7)。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：周胤洲，
申请(专利权)人：江苏峰博装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：