【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体技工领域，尤其涉及一种兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置。
技术介绍
1、目前，半导体加工工艺属于多道次复杂化流程，需要将晶圆在各个不同的工艺位区间进行流转，不同尺寸规格的晶圆需要不同的夹具，而且在这个过程中，晶圆常因为工艺而发生翘曲。专利cn217971492u虽然能够实现对多规格晶圆在多工位之间的传递，提升传片效率，但在面对翘曲晶圆的时候，存在发生晶圆滑片破碎的风险。同时，夹具悬臂过长，因重力产生变形，在传片过程中有可能造成晶圆滑片和碰撞而造成损失。为此，急需一种能够实现兼容翘曲晶圆持续稳定作业的传递装置，实用性较差，需要进行改进。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
2、本技术采用了如下技术方案：一种兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，包括主轴系统、旋转手臂，夹取传片系统，所述主轴系统包含有电机、减速器、轴承座、联轴器、轴承螺母、转动轴承、轴承固定盖、骨架油封、传片主轴、连接块，所述电机的输出端固定安装有减速器，所述减速器的顶端固定安装有轴承座，所述轴承座的内部固定安装有联轴器，所述联轴器的顶端固定安装有传片主轴，所述传片主轴的表面转动连接有转动轴承，所述联轴器的表面转动连接有轴承螺母，所述轴承座的上表面固定安装有轴承固定盖，所述传片主轴的上表面固定安装有连接块，所述夹取传片系统包含有夹具悬臂、晶圆夹具和滚轮，所述连接块的上表面固定安装有旋转手臂，所述旋转手臂的侧面设置有夹具悬臂，所述夹具悬臂的下表面设置有晶圆夹
3、较佳的，所述联轴器与减速器的输出端固定连接。此处，通过减速器可以对联轴器进行减速。
4、较佳的，所述联轴器与轴承之间通过轴承螺母固定连接。此处，通过轴承螺母固定的更稳定。
5、较佳的，所述轴承固定盖与传片主轴之间设置有骨架油封，所述转动轴承与轴承座之间转动连接。此处，通过骨架油封可以起到密封的效果。
6、较佳的，所述晶圆夹具的表面设置有晶圆承载面，所述晶圆承载面的表面设置有晶圆导向面。此处，使晶圆可以进行限位导向。
7、较佳的，所述晶圆夹具的数量为两组，其中一组所述晶圆夹具的下表面转动连接有滚轮。此处，通过滚轮使转动的更顺利。
8、与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
9、本技术所提供的装置针对不同尺寸规格的翘曲晶圆进行夹取，并在多工位间连续不断的传递，实现连续的多工位工艺处理。降低了传片过程中晶圆滑片、碎片的风险，有利于提升可靠性和经济效益，同时具有结构简单，维护方便、成本低廉的特点。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，包括主轴系统(1)、旋转手臂(2)，夹取传片系统(3)，其特征在于：所述主轴系统(1)包含有电机(4)、减速器(5)、轴承座(6)、联轴器(7)、轴承螺母(8)、转动轴承(9)、轴承固定盖(10)、骨架油封(11)、传片主轴(12)、连接块(13)，所述电机(4)的输出端固定安装有减速器(5)，所述减速器(5)的顶端固定安装有轴承座(6)，所述轴承座(6)的内部固定安装有联轴器(7)，所述联轴器(7)的顶端固定安装有传片主轴(12)，所述传片主轴(12)的表面转动连接有转动轴承(9)，所述联轴器(7)的表面转动连接有轴承螺母(8)，所述轴承座(6)的上表面固定安装有轴承固定盖(10)，所述传片主轴(12)的上表面固定安装有连接块(13)，所述夹取传片系统(3)包含有夹具悬臂(14)、晶圆夹具(15)和滚轮(16)，所述连接块(13)的上表面固定安装有旋转手臂(2)，所述旋转手臂(2)的侧面设置有夹具悬臂(14)，所述夹具悬臂(14)的下表面设置有晶圆夹具(15)，所述晶圆夹具(15)的下表面转动连接有滚轮(16)。
2.根据
3.根据权利要求1所述的兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，其特征在于：所述联轴器(7)与轴承之间通过轴承螺母(8)固定连接。
4.根据权利要求1所述的兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，其特征在于：所述轴承固定盖(10)与传片主轴(12)之间设置有骨架油封(11)，所述转动轴承(9)与轴承座(6)之间转动连接。
5.根据权利要求1所述的兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，其特征在于：所述晶圆夹具(15)的表面设置有晶圆承载面(17)，所述晶圆承载面(17)的表面设置有晶圆导向面(18)。
6.根据权利要求1所述的兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，其特征在于：所述晶圆夹具(15)的数量为两组，其中一组所述晶圆夹具(15)的下表面转动连接有滚轮(16)。
...【技术特征摘要】
1.一种兼容多规格翘曲晶圆的多工位传递装置，包括主轴系统(1)、旋转手臂(2)，夹取传片系统(3)，其特征在于：所述主轴系统(1)包含有电机(4)、减速器(5)、轴承座(6)、联轴器(7)、轴承螺母(8)、转动轴承(9)、轴承固定盖(10)、骨架油封(11)、传片主轴(12)、连接块(13)，所述电机(4)的输出端固定安装有减速器(5)，所述减速器(5)的顶端固定安装有轴承座(6)，所述轴承座(6)的内部固定安装有联轴器(7)，所述联轴器(7)的顶端固定安装有传片主轴(12)，所述传片主轴(12)的表面转动连接有转动轴承(9)，所述联轴器(7)的表面转动连接有轴承螺母(8)，所述轴承座(6)的上表面固定安装有轴承固定盖(10)，所述传片主轴(12)的上表面固定安装有连接块(13)，所述夹取传片系统(3)包含有夹具悬臂(14)、晶圆夹具(15)和滚轮(16)，所述连接块(13)的上表面固定安装有旋转手臂(2)，所述旋转手臂(2)的侧面设置有夹具悬臂(14)，所述夹具悬臂(14)的下表面设置有晶圆夹具...
【专利技术属性】
技术研发人员：史志贺，
申请(专利权)人：江苏峰博装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。