一种矩形片去边装置及其去边方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种矩形片去边装置及其去边方法，涉及去边装置技术领域，包括腔体组件、移动组件、旋转电机组件、去边喷嘴组件、惰性气体喷嘴组件和底板，所述去边喷嘴组件与惰性气体喷嘴组件安装于移动组件表面，所述腔体组件、移动组件和旋转电机组件安装于底板表面，所述移动组件由X直线模组、Y直线模组和气缸构成，所述X直线模组安装于底板的表面。本发明专利技术，通过设置去边喷嘴组件，去边喷嘴组件由X直线模组、Y直线模组和气缸带动，可以实现多种尺寸的矩形片的去边，同时还设置有惰性喷嘴组件，在去边的同时将飞溅的液体吹向腔体组件，保护基片的有效区域不受飞溅的化液影响，能够达到较好的边使用效果。的边使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种矩形片去边装置及其去边方法


[0001]本专利技术涉及去边装置
，尤其涉及一种矩形片去边装置及其去边方法。

技术介绍

[0002]在显示领域柔性产品的迅速发展，使得玻璃基板成为显示面板的重要原材料之一，而玻璃基板中多以矩形基片为主，传统玻璃基片多以刮胶方式为主，但随着柔性电子工艺的发展，涂胶的厚度越来越薄，目前旋涂工艺方式已成为膜厚低且均匀性好的最佳选择，基片旋涂后，一般基片1
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5mm去除属于正常现象，需要进行去边，保留中间有效的区域，边缘残留的胶需要去除掉，而圆片在去边时只需要将去胶喷嘴(EBR)放置在晶圆的边缘上方，晶圆旋转并且去胶喷嘴(EBR)喷出化液就可以实现晶圆去边，但矩形片由于需要去胶的边缘也为方形，不能再采用晶圆旋转，去胶喷嘴(EBR)固定在晶圆边缘上方的方式进行去边，故矩形片的去胶是矩形片旋涂的难点之一。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种矩形片去边装置及其去边方法。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种矩形片去边装置，包括腔体组件(1)、移动组件(2)、旋转电机组件(3)、去边喷嘴组件(4)、惰性气体喷嘴组件(5)和底板(6)，其特征在于：所述去边喷嘴组件(4)与惰性气体喷嘴组件(5)安装于移动组件(2)表面，所述腔体组件(1)、移动组件(2)和旋转电机组件(3)安装于底板(6)表面。2.根据权利要求1所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述移动组件(2)由X直线模组(21)、Y直线模组(22)和气缸(23)构成，所述X直线模组(21)安装于底板(6)的表面，所述Y直线模组(22)安装于X直线模组(21)的表面，所述气缸(23)安装于Y直线模组(22)的表面，所述气缸(23)的输出端固装有矩形板。3.根据权利要求1所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述旋转电机组件(3)的输出端安装有载物盘，所述载物盘的表面放置有基片(7)，所述载物盘与外部真空泵相连通。4.根据权利要求2所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述去边喷嘴组件(4)由喷嘴主体(41)和喷嘴调整块(42)构成，所述喷嘴调整块(42)安装于矩形板表面，所述喷嘴主体(41)的安装于喷嘴调整块(42)的内部，所述喷嘴主体(41)的底端连通有弯管。5.根据权利要求4所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述惰性气体喷嘴组件(5)由气嘴主体(51)、气体喷嘴连接钣金(52)和气体喷嘴固定块(53)构成，所述气体喷嘴固定块(53)安装于喷嘴调整块(42)一侧的矩形板表面，所述气体喷嘴连接钣金(52)安装于气体喷嘴固定块(53)表面，所述气嘴主体(51)安装于气体喷嘴连接钣金(52)表面，所述气嘴主体(51)为平头型喷嘴。6.根据权利要求5所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述矩形板的表面位于气体喷嘴固定块(53)的一侧安装有胶液喷嘴(81)，所述胶液喷嘴(81)的表面安装有通断回吸阀(8)。7.一种矩形片去边装置的去边方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将旋转电机组件(3)完成矩形片的涂胶后，电机回原点，此时基片(7)的一边和X直线模组(21)平行；S2：通过气缸(23)...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾志坚，
申请(专利权)人：江苏峰博装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：