本发明专利技术提供一种矩形片去边装置及其去边方法，涉及去边装置技术领域，包括腔体组件、移动组件、旋转电机组件、去边喷嘴组件、惰性气体喷嘴组件和底板，所述去边喷嘴组件与惰性气体喷嘴组件安装于移动组件表面，所述腔体组件、移动组件和旋转电机组件安装于底板表面，所述移动组件由X直线模组、Y直线模组和气缸构成，所述X直线模组安装于底板的表面。本发明专利技术，通过设置去边喷嘴组件，去边喷嘴组件由X直线模组、Y直线模组和气缸带动，可以实现多种尺寸的矩形片的去边，同时还设置有惰性喷嘴组件，在去边的同时将飞溅的液体吹向腔体组件，保护基片的有效区域不受飞溅的化液影响，能够达到较好的边使用效果。的边使用效果。
【技术实现步骤摘要】
一种矩形片去边装置及其去边方法
[0001]本专利技术涉及去边装置
，尤其涉及一种矩形片去边装置及其去边方法。
技术介绍
[0002]在显示领域柔性产品的迅速发展，使得玻璃基板成为显示面板的重要原材料之一，而玻璃基板中多以矩形基片为主，传统玻璃基片多以刮胶方式为主，但随着柔性电子工艺的发展，涂胶的厚度越来越薄，目前旋涂工艺方式已成为膜厚低且均匀性好的最佳选择，基片旋涂后，一般基片1
‑
5mm去除属于正常现象，需要进行去边，保留中间有效的区域，边缘残留的胶需要去除掉，而圆片在去边时只需要将去胶喷嘴(EBR)放置在晶圆的边缘上方，晶圆旋转并且去胶喷嘴(EBR)喷出化液就可以实现晶圆去边，但矩形片由于需要去胶的边缘也为方形，不能再采用晶圆旋转，去胶喷嘴(EBR)固定在晶圆边缘上方的方式进行去边，故矩形片的去胶是矩形片旋涂的难点之一。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种矩形片去边装置及其去边方法。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种矩形片去边装置，包括腔体组件、移动组件、旋转电机组件、去边喷嘴组件、惰性气体喷嘴组件和底板，所述去边喷嘴组件与惰性气体喷嘴组件安装于移动组件表面，所述腔体组件、移动组件和旋转电机组件安装于底板表面。
[0005]为了能够带动去边喷嘴组件与惰性气体喷嘴组件移动，本专利技术的改进有，所述移动组件由X直线模组、Y直线模组和气缸构成，所述X直线模组安装于底板的表面，所述Y直线模组安装于X直线模组的表面，所述气缸安装于Y直线模组的表面，所述气缸的输出端固装有矩形板。
[0006]为了能够固定基片，本专利技术的改进有，所述旋转电机组件的输出端安装有载物盘，所述载物盘的表面放置有基片，所述载物盘与外部真空泵相连通。
[0007]为了能够进行去边工作，本专利技术的改进有，所述去边喷嘴组件由喷嘴主体和喷嘴调整块构成，所述喷嘴调整块安装于矩形板表面，所述喷嘴主体的安装于喷嘴调整块的内部，所述喷嘴主体的底端连通有弯管。
[0008]为了能够吹动飞溅的液体，本专利技术的改进有，所述惰性气体喷嘴组件由气嘴主体、气体喷嘴连接钣金和气体喷嘴固定块构成，所述气体喷嘴固定块安装于喷嘴调整块一侧的矩形板表面，所述气体喷嘴连接钣金安装于气体喷嘴固定块表面，所述气嘴主体安装于气体喷嘴连接钣金表面，所述气嘴主体为平头型喷嘴。
[0009]为了能够进行涂胶工作，本专利技术的改进有，所述矩形板的表面位于气体喷嘴固定块的一侧安装有胶液喷嘴，所述胶液喷嘴的表面安装有通断回吸阀。
[0010]一种矩形片去边装置的去边方法，包括以下步骤：
[0011]S1：将旋转电机组件完成矩形片的涂胶后，电机回原点，此时基片的一边和X直线模组平行；
[0012]S2：通过气缸带动去边喷嘴组件和惰性气体喷嘴组件上升，X直线模组和Y直线模组带动气缸带动去边喷嘴组件和惰性喷嘴组件到达基片上方，控制气缸下降；
[0013]S3：然后通过外部供气管道向惰性气体喷嘴组件导入惰性气体，使惰性气体喷嘴组件喷出惰性气体；
[0014]S4：通过外部供液管道向去边喷嘴组件导入化液，使去边喷嘴组件喷出化液；
[0015]S5：然后通过X直线模组带动去边喷嘴组件和惰性气体喷嘴组件沿着基片的边缘进行去边制程；
[0016]S6：去边药液阀关闭，去边喷嘴组件停止喷出化液；
[0017]S7：气动阀关闭，惰性气体喷嘴组件停止喷出惰性气体；
[0018]S8：旋转电机组件带动基片旋转度，X直线模组和Y直线模组带动去边喷嘴组件和惰性气体喷嘴组件到达基片旋转后的边缘上方；
[0019]S9：重复S3至S7；
[0020]S10：重复S8和S9两次，基片的所有边均去边完成。
[0021]为了使去边喷嘴组件与惰性气体喷嘴组件能够保持合适高度，本专利技术的改进有，所述S2中去边喷嘴组件的喷嘴距离基片的高度为2mm
‑
5mm；去边喷嘴组件的喷嘴距离基片的边缘距离为1mm
‑
5mm，惰性气体喷嘴组件喷出的气体可以为N2等惰性气体，惰性气体喷嘴组件距离基片的高度为1mm
‑
5mm。
[0022]为了能够达到较好的去边效果，本专利技术的改进有，所述S5中去边喷嘴组件喷洒流量5
‑
10ml/min，喷涂时间10
‑
20s，喷涂位置经过且超过基片边缘，进行去边制程，可以通过X直线模组在边缘来回喷洒化液。
[0023]为了能够对基片进行干燥，本专利技术的改进有，所述S2
‑
S10中可以关闭去边喷嘴组件的药液阀，只打开惰性气体喷嘴组件的气动阀对基片进行干燥。
[0024]与现有技术相比，本专利技术的优点和积极效果在于：
[0025]本专利技术中，通过设置去边喷嘴组件，去边喷嘴组件由X直线模组、Y直线模组和气缸带动，可以实现多种尺寸的矩形片的去边，同时还设置有惰性喷嘴组件，在去边的同时将飞溅的液体吹向腔体组件，保护基片的有效区域不受飞溅的化液影响，能够达到较好的边使用效果。
附图说明
[0026]图1为本专利技术提出一种矩形片去边装置及其去边方法的整体结构示意图；
[0027]图2为本专利技术提出一种矩形片去边装置及其去边方法的准备去边的结构示意图；
[0028]图3为本专利技术提出一种矩形片去边装置及其去边方法的进行去边的结构示意图；
[0029]图4为本专利技术提出一种矩形片去边装置及其去边方法的去边喷嘴组件处的结构示意图。
[0030]图例说明：
[0031]1、腔体组件；2、移动组件；21、X直线模组；22、Y直线模组；23、气缸；3、旋转电机组件；4、去边喷嘴组件；41、喷嘴主体；42、喷嘴调整块；5、惰性气体喷嘴组件；51、气嘴主体；
52、气体喷嘴连接钣金；53、气体喷嘴固定块；6、底板；7、基片；8、通断回吸阀；81、胶液喷嘴。
具体实施方式
[0032]为了能够更清楚地理解本专利技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0033]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0034]实施例
[0035]如图1
‑
4所示，本专利技术提供一种技术方案：一种矩形片去边装置，包括腔体组件1、移动组件2、旋转电机组件3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种矩形片去边装置，包括腔体组件(1)、移动组件(2)、旋转电机组件(3)、去边喷嘴组件(4)、惰性气体喷嘴组件(5)和底板(6)，其特征在于：所述去边喷嘴组件(4)与惰性气体喷嘴组件(5)安装于移动组件(2)表面，所述腔体组件(1)、移动组件(2)和旋转电机组件(3)安装于底板(6)表面。2.根据权利要求1所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述移动组件(2)由X直线模组(21)、Y直线模组(22)和气缸(23)构成，所述X直线模组(21)安装于底板(6)的表面，所述Y直线模组(22)安装于X直线模组(21)的表面，所述气缸(23)安装于Y直线模组(22)的表面，所述气缸(23)的输出端固装有矩形板。3.根据权利要求1所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述旋转电机组件(3)的输出端安装有载物盘，所述载物盘的表面放置有基片(7)，所述载物盘与外部真空泵相连通。4.根据权利要求2所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述去边喷嘴组件(4)由喷嘴主体(41)和喷嘴调整块(42)构成，所述喷嘴调整块(42)安装于矩形板表面，所述喷嘴主体(41)的安装于喷嘴调整块(42)的内部，所述喷嘴主体(41)的底端连通有弯管。5.根据权利要求4所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述惰性气体喷嘴组件(5)由气嘴主体(51)、气体喷嘴连接钣金(52)和气体喷嘴固定块(53)构成，所述气体喷嘴固定块(53)安装于喷嘴调整块(42)一侧的矩形板表面，所述气体喷嘴连接钣金(52)安装于气体喷嘴固定块(53)表面，所述气嘴主体(51)安装于气体喷嘴连接钣金(52)表面，所述气嘴主体(51)为平头型喷嘴。6.根据权利要求5所述的矩形片去边装置，其特征在于：所述矩形板的表面位于气体喷嘴固定块(53)的一侧安装有胶液喷嘴(81)，所述胶液喷嘴(81)的表面安装有通断回吸阀(8)。7.一种矩形片去边装置的去边方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将旋转电机组件(3)完成矩形片的涂胶后，电机回原点，此时基片(7)的一边和X直线模组(21)平行；S2：通过气缸(23)...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾志坚，
申请(专利权)人：江苏峰博装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。