一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，具体涉及于清洁装置技术领域,所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置，所述承载装置包括柜体、第一承载件和第二承载件，该ALD铝舟的清洁清洗处理装置可以通过调节装置和承载组件进行承载和调节，需要清洗时，第二承载件放置在第一承载件内部时完成对铝舟的清洗和烘干，第二承载件和第一承载件分离后可以完成对铝舟的取出，更加方便快捷。更加方便快捷。更加方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置


[0001]本技术涉及清洁装置
，尤其涉及一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置。

技术介绍

[0002]太阳能作为一种非常具有开发潜力的可再生能源，由于其具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的相对广泛性和充足性、长寿命、高转化率等优点，根据欧洲联合委员会研究中心（JRC）的预测，到21世纪末，可再生能源在能源结构中将占到80％以上，其中太阳能发电占到60％以上，充分显示出其重要战略地位，随着太阳能电池生产的工艺和设备各相关技术的进步，太阳能电池的光电转换效率越来越高。目前太阳能电池的生产销售以单晶PERC为主导，单晶PERC电池主要是通过强化电池背面钝化效果，增加对太阳光的长波能量的收集利用，提高电池的长波响应，转换效率提升到了23.5%及以上。
[0003]而背面氧化铝钝化膜的制作是单晶PERC电池的重要工序步骤，在背面氧化铝钝化膜的制作过程中，有一种工艺是采用通过通入三甲基铝和臭氧进行反应在硅片背面沉积一层2
‑
4nm的氧化铝，在工艺过程中，硅片放置在铝制的载具铝舟上在工艺腔体中，温度180
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260摄氏度下进行，铝舟在长期反复工艺运行后，也会在铝舟上特别是铝舟接触硅片时舟齿上沉积的氧化铝及其混合物，这种混合物一方面用常规擦拭处理不掉，同时由于其很容易吸潮，严重时导致在硅片接触铝舟舟齿的位置很容易产生铝舟齿印而导致的电池片显示出来黑色斑状不良，所以需要定期进行清洗处理，由于铝舟的材质特殊，不能采用一般的酸碱进行清洗处理，且不能直接清洁处理，现有大多数都是将铝舟放入至承载体并通入气体进行清洗，从而完成铝舟的清洗，但通过该方式进行清洗在需要将铝舟拿出时较为麻烦，通常需要借助工具。
[0004]鉴于此，本技术提供一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，可以方便将清洗完后的铝舟进行取出。

技术实现思路

[0005]本技术旨在解决ALD铝舟清洗后需要借助工具才能从承载体中拿出的问题，提出一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，以更加确切地解决上述问题。
[0006]本技术通过以下技术方案实现的：
[0007]本技术提出ALD铝舟的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置，其中：
[0008]所述承载装置包括柜体、第一承载件和第二承载件，所述第一承载件通过所述调节装置与所述柜体活动连接，所述第二承载件位于所述第一承载件顶部，所述第二承载件顶部设有第一滑杆，所述第一滑杆贯穿所述柜体顶部与所述柜体活动连接；
[0009]所述调节装置位于所述第一承载件的两侧与所述第一承载件两侧活动连接，所述调节装置用于调节第一承载件位置；
[0010]所述清洗装置位于所述第一承载件底部，所述清洗装置与所述柜体固定连接；
[0011]所述控制装置位于所述柜体一侧与所述柜体固定连接；
[0012]所述供气组件位于所述第一承载件靠近所述控制装置的一侧与所述第一承载件固定连接。
[0013]进一步的，所述清洗装置包括多个超声波振子和发生器，多个超声波振子位于所述第一承载件底部与所述柜体固定连接，所述发生器位于所述超声波振子底部，所述发生器与多个所述超声波振子相互连接。
[0014]进一步的，所述第一承载件侧壁和底部设有多个出水孔，第一承载件顶部两侧还设有贯穿孔，所述贯穿孔与所述调节装置活动连接；
[0015]进一步的，所述调节装置包括多个第二滑杆、螺杆和电机，所述电机输出端与螺杆输出端固定连接，所述螺杆与所述柜体固定连接，所述电机位于所述螺杆底部与所述柜体固定连接，所述螺杆贯穿所述贯穿孔并与所述柜体固定连接。
[0016]进一步的，其中一个贯穿孔内部设有螺纹纹路，所述螺杆贯穿该所述贯穿孔并与所述贯穿孔通过螺纹纹路配合。
[0017]进一步的，所述供气组件包括通气管和连接件，所述第一承载件靠近所述供气组件一侧设有多个通气孔，所述通气孔与所述通气管相通连，多个所述通气管与所述连接件固定连接。
[0018]进一步的，还包括卡扣装置，所述卡扣装置包括子卡扣和母卡扣，所述子卡扣位于所述第二承载件顶部与所述第二承载件固定连接，所述母卡扣位于所述柜体顶部靠近第二承载件一侧与所述柜体固定连接。
[0019]进一步的，所述柜体一侧还设有出水管、进水管、漏斗和截止阀，所述出水管位于所述柜体一侧与所述柜体内部相通，所述进水管位于所述出水管的顶部一侧与所述柜体内部相通，所述漏斗与所述进水管顶部固定连接。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术提出的ALD铝舟的清洁清洗处理装置可以通过超声振子和发生器来对铝舟进行清洗，清洗更加完全，调节装置还可以进行移动第一承载件的位置，使第一承载件和清洗用的液体快速分离，分离后烘干更加方便，烘干后调节装置可以带动第二承载件移动使第二承载件通过卡扣装置固定在柜体顶部，将第二承载件内部的铝舟取出时更加方便。
附图说明
[0022]图1为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置的整体图；
[0023]图2为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置的背面视图；
[0024]图3为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置的柜体内部结构图；
[0025]图4为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置第一承载件和第二承载件的结构示意图；
[0026]图5为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置清洗时的示意图；
[0027]图6为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置烘干时的示意图；
[0028]图7为本技术ALD铝舟的清洁清洗处理装置完成清洗时的示意图。
具体实施方式
[0029]为了更加清楚完整的说明本技术的技术方案，下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0030]请参考图1
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图7，本技术提出ALD铝舟15的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置21，其中：
[0031]承载装置包括柜体1、第一承载件13和第二承载件10，第一承载件13通过调节装置与柜体1活动连接，第二承载件10位于第一承载件13顶部，第二承载件10顶部设有第一滑杆9，第一滑杆9贯穿柜体1顶部与柜体1活动连接；
[0032]调节装置位于第一承载件13的两侧与第一承载件13两侧活动连接，调节装置用于调节第一承载件13位置；
[0033]清洗装置位于第一承载件13底部，清洗装置与柜体1固定连接；
[0034]控制装置21位于柜体1一侧与柜体1固定连接；
[0035]供气组件位于第一承载件13靠近控制装置21的一侧与第一承载件13固定连接。
[0036]在本实施方式中，先在储水槽内部加入水，将铝舟15放置至第二承载件10上，打开控制装置21，控制装置21进行操控电机7进行运作，使第一承载件13向上移动，向上移动后，第一承载件13底部推动第二承载件10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，其特征在于，所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置，其中：所述承载装置包括柜体、第一承载件和第二承载件，所述第一承载件通过所述调节装置与所述柜体活动连接，所述第二承载件位于所述第一承载件顶部，所述第二承载件顶部设有第一滑杆，所述第一滑杆贯穿所述柜体顶部与所述柜体活动连接；所述调节装置位于所述第一承载件的两侧与所述第一承载件两侧活动连接，所述调节装置用于调节第一承载件位置；所述清洗装置位于所述第一承载件底部，所述清洗装置与所述柜体固定连接；所述控制装置位于所述柜体一侧与所述柜体固定连接；所述供气组件位于所述第一承载件靠近所述控制装置的一侧与所述第一承载件固定连接。2.根据权利要求1所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置，其特征在于，所述清洗装置包括多个超声波振子和发生器，多个超声波振子位于所述第一承载件底部与所述柜体固定连接，所述发生器位于所述超声波振子底部，所述发生器与多个所述超声波振子相互连接。3.根据权利要求1所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置，其特征在于，所述第一承载件侧壁和底部设有多个出水孔，第一承载件顶部两侧还设有贯穿孔，所述贯穿孔与所述调节装置活动连接。4.根据权利要求3所述ALD铝...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨大谊，李增海，田得雨，叶文宇，陈兴才，甘胜泉，
申请(专利权)人：新余赛维能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：