一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，具体涉及于清洁装置技术领域,所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置，所述承载装置包括柜体、第一承载件和第二承载件，该ALD铝舟的清洁清洗处理装置可以通过调节装置和承载组件进行承载和调节，需要清洗时，第二承载件放置在第一承载件内部时完成对铝舟的清洗和烘干，第二承载件和第一承载件分离后可以完成对铝舟的取出，更加方便快捷。更加方便快捷。更加方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置


[0001]本技术涉及清洁装置
，尤其涉及一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置。

技术介绍

[0002]太阳能作为一种非常具有开发潜力的可再生能源，由于其具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的相对广泛性和充足性、长寿命、高转化率等优点，根据欧洲联合委员会研究中心（JRC）的预测，到21世纪末，可再生能源在能源结构中将占到80％以上，其中太阳能发电占到60％以上，充分显示出其重要战略地位，随着太阳能电池生产的工艺和设备各相关技术的进步，太阳能电池的光电转换效率越来越高。目前太阳能电池的生产销售以单晶PERC为主导，单晶PERC电池主要是通过强化电池背面钝化效果，增加对太阳光的长波能量的收集利用，提高电池的长波响应，转换效率提升到了23.5%及以上。
[0003]而背面氧化铝钝化膜的制作是单晶PERC电池的重要工序步骤，在背面氧化铝钝化膜的制作过程中，有一种工艺是采用通过通入三甲基铝和臭氧进行反应在硅片背面沉积一层2
‑
4nm的氧化铝，在工艺过程中，硅片放置在铝制的载具铝舟上在工艺腔体中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，其特征在于，所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置，其中：所述承载装置包括柜体、第一承载件和第二承载件，所述第一承载件通过所述调节装置与所述柜体活动连接，所述第二承载件位于所述第一承载件顶部，所述第二承载件顶部设有第一滑杆，所述第一滑杆贯穿所述柜体顶部与所述柜体活动连接；所述调节装置位于所述第一承载件的两侧与所述第一承载件两侧活动连接，所述调节装置用于调节第一承载件位置；所述清洗装置位于所述第一承载件底部，所述清洗装置与所述柜体固定连接；所述控制装置位于所述柜体一侧与所述柜体固定连接；所述供气组件位于所述第一承载件靠近所述控制装置的一侧与所述第一承载件固定连接。2.根据权利要求1所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置，其特征在于，所述清洗装置包括多个超声波振子和发生器，多个超声波振子位于所述第一承载件底部与所述柜体固定连接，所述发生器位于所述超声波振子底部，所述发生器与多个所述超声波振子相互连接。3.根据权利要求1所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置，其特征在于，所述第一承载件侧壁和底部设有多个出水孔，第一承载件顶部两侧还设有贯穿孔，所述贯穿孔与所述调节装置活动连接。4.根据权利要求3所述ALD铝...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨大谊，李增海，田得雨，叶文宇，陈兴才，甘胜泉，
申请(专利权)人：新余赛维能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：