本技术公开了一种单晶PERC电池PECVD进气管，包括进气管，进气管的一端直角弯曲形成弯头部，进气管的另一端嵌套设置有密封套，进气管底部的一端开设有多个首端孔，进气管底部的另一端开设有多个尾端孔，进气管底部的中间开设有多个中间孔，尾端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，中间孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，首端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部。本技术中的通过炉管内设置根进气管，并且从炉尾往炉口靠，进气管依次共开多排圆形孔，每排开五个孔，且越靠炉口位置开孔直径约大，达到气体扩散全管内速率和均匀性，减少炉口、炉尾和中间的电池片色差均匀不佳的问题。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池，尤其涉及一种单晶perc电池pecvd进气管。
技术介绍
1、光电转换的太阳能电池可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体pn结的光生伏特效应。当阳光照射在硅片表面时，反射会使光损失约三分之一。如果在硅表面有一层或多层合适的薄膜，利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，这种膜称为太阳电池的减反射膜。所以太阳能电池的制造过程中，很重要的一个步骤就是pecvd镀膜，p管式pecvd的原理就是通过脉冲射频激发受热的稀薄气体进行辉光放电形成等离子体，通过两片相对应的石墨片加相反的交变电压使等离子在极板间加速撞击气体，运动到硅片表面完成镀膜过程。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜；
2、目前，炉管气体扩散全管时间和局部气体浓度不同，会导致硅片的镀膜厚度不均匀，影响产品质量，镀膜厚度不均匀会影响电池片电性能参数的稳定性，导致低效电池片比例升高。当真空管道中的气体内部存在压力差时，气体就会由压力高处向压力低处流动，通过实际应用炉管内的压强越低，炉管内气体的湍流现象会减少，管内气流均匀性增加，气体扩散全管的速率和气体均匀性会更好，导致炉口和炉尾的硅片片间色差差异大，均匀性不好的问题，因此需要提供一种单晶perc电池pecvd进气管
>技术实现思路1、本技术的目的是为了解决现有技术中的炉口和炉尾的硅片片间色差差异大，均匀性不好的问题，从而提出一种单晶perc电池pecvd进气管。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种单晶perc电池pecvd进气管，包括进气管，所述进气管的一端直角弯曲形成弯头部，进气管的另一端嵌套设置有密封套，进气管底部的一端开设有多个首端孔，进气管底部的另一端开设有多个尾端孔，进气管底部的中间开设有多个中间孔。
3、进一步优选的，所述尾端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，中间孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部，首端孔五个为一排分为多排间隔等距分布在进气管的底部。
4、进一步优选的，所述尾端孔之间的间距大于中间孔之间的间距，中间孔之间的间距大于首端孔之间的间距。
5、进一步优选的，所述尾端孔的孔径大于中间孔的孔径，中间孔的孔径大于首端孔的孔径。
6、进一步优选的，所述尾端孔的孔径为4mm-5mm，中间孔的孔径为3mm-4mm，首端孔的孔径为2mm-3mm，尾端孔、中间孔和首端孔共设置有10排至20排。
7、本技术的有益效果是：通过炉管内设置根进气管，并且从炉尾往炉口靠，进气管依次共开多排圆形孔，每排开五个孔，且越靠炉口位置开孔直径约大，达到气体扩散全管内速率和均匀性，减少炉口、炉尾和中间的电池片色差均匀不佳的问题。
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【技术保护点】
1.一种单晶PERC电池PECVD进气管，包括进气管（1），其特征在于：所述进气管（1）的一端直角弯曲形成弯头部（3），进气管（1）的另一端嵌套设置有密封套（2），进气管（1）底部的一端开设有多个首端孔（6），进气管（1）底部的另一端开设有多个尾端孔（4），进气管（1）底部的中间开设有多个中间孔（5）；
2.根据权利要求1所述的单晶PERC电池PECVD进气管，其特征在于，所述尾端孔（4）的孔径为4mm-5mm，中间孔（5）的孔径为3mm-4mm，首端孔（6）的孔径为2mm-3mm，尾端孔（4）、中间孔（5）和首端孔（6）共设置有10排至20排。
【技术特征摘要】
1.一种单晶perc电池pecvd进气管，包括进气管（1），其特征在于：所述进气管（1）的一端直角弯曲形成弯头部（3），进气管（1）的另一端嵌套设置有密封套（2），进气管（1）底部的一端开设有多个首端孔（6），进气管（1）底部的另一端开设有多个尾端孔（4），进气管（1）底部的中间开...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文平，管安浩，田得雨，胡浩仑，易小昆，方宪敏，杨大谊，甘胜泉，
申请(专利权)人：新余赛维能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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