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本实用新型提出一种ALD铝舟的清洁清洗处理装置，具体涉及于清洁装置技术领域,所述ALD铝舟的清洁清洗处理装置包括清洗装置、承载装置、供气组件、调节装置和控制装置，所述承载装置包括柜体、第一承载件和第二承载件，该ALD铝舟的清洁清洗处理装置可...
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