压电致动器制造技术

压电致动器(1)具备：主体部(10)，其具有在正交坐标系XYZ的Y轴方向上层叠的层叠型压电元件，沿着Z轴方向延伸。此外，主体部C10)具有：使前端部(10a)在X轴方向上位移的第1压电元件(11)；使前端部(10a)在Y轴方向上位移的第2压电元件(12)；和使前端部(10a)在Z轴方向上位移的第3压电元件(13)。的第3压电元件(13)。的第3压电元件(13)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电致动器


[0001]公开的实施方式涉及压电致动器。

技术介绍

[0002]过去已知如下技术：在棒状地延伸的压电致动器中，通过对多个端子选择性地施加电压，能使前端部在与延伸方向大致垂直的方向上位移(例如参考专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献l：JP特表2004
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531189号公报

技术实现思路

[0006]实施方式的一方式的目的在于，提供使用便利性更加良好的压电致动器。
[0007]用于解决课题的手段
[0008]实施方式的一方式所涉及的压电致动器具备：主体部，其具有在正交坐标系XYZ的Y轴方向上层叠的层叠型压电元件，沿着Z轴方向延伸。此外，所述主体部具有：第1压电元件，其使前端部在X轴方向上位移；第2压电元件，其使所述前端部在Y轴方向上位移；和第3压电元件，其使所述前端部在Z轴方向上位移。
附图说明
[0009]图1是表示实施方式所涉及的压电致动器的整体结构的顶视图。
[0010]图2是表示实施方式所涉及的压电致动器的整体结构的侧视图。
[0011]图3A是表示实施方式所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0012]图3B是表示实施方式所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0013]图3C是表示实施方式所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0014]图3D是表示实施方式所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0015]图3E是表示实施方式所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0016]图4是表示实施方式所涉及的主体部的前端部侧的结构的放大立体图。
[0017]图5是表示实施方式所涉及的主体部的前端部侧的结构的截面图。
[0018]图6是表示实施方式所涉及的主体部的基端部侧的结构的放大立体图。
[0019]图7是表示实施方式所涉及的主体部的基端部侧的结构的截面图。
[0020]图8是图1所示的III
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III线的向视截面图。
[0021]图9是图1所示的IV
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IV线的向视截面图。
[0022]图10是图1所示的V
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V线的向视截面图。
[0023]图11是表示实施方式的变形例所涉及的压电致动器的整体结构的顶视图。
[0024]图12是表示实施方式的变形例所涉及的压电致动器的整体结构的侧视图。
[0025]图13A是表示实施方式的变形例所涉及的主体部的内部电极层的结的图。
[0026]图13B是表示实施方式的变形例所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0027]图13C是表示实施方式的变形例所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0028]图13D是表示实施方式的变形例所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
[0029]图13E是表示实施方式的变形例所涉及的主体部的内部电极层的结构的图。
具体实施方式
[0030]以下参考附图来说明本申请公开的压电致动器的实施方式。另外，并不通过以下所示的实施方式限定本公开。此外，附图是示意性的，需要留意的是，各要素的尺寸的关系、各要素的比率等有时会与现实不同。进而，在附图的相互间，有时也包含相互的尺寸的关系、比率不同的部分。
[0031]过去已知如下技术：在棒状地延伸的压电致动器中，通过对多个端子选择性地施加电压，能使前端部在与延伸方向大致垂直的方向上位移。
[0032]但在现有技术中，由于对前端部能位移的方向有限制，因此，在提升压电致动器的使用便利性上有进一步的改善的余地。
[0033]为此，期待实现能克服上述的问题点，且抑制使压电致动器的使用便利性更加良好的技术。
[0034]<压电致动器的整体结构>
[0035]首先参考图1以及图2来说明实施方式所涉及的压电致动器1的整体结构。图1是表示实施方式所涉及的压电致动器1的整体结构的顶视图，图2是表示实施方式所涉及的压电致动器1的整体结构的侧视图。另外，以下，为了使位置关系明确，规定相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。
[0036]如图1以及图2所示那样，实施方式所涉及的压电致动器1具备主体部10和端子部20。主体部10是沿着Z轴方向延伸的棒状(例如长方体状)的部位，具有作为Z轴正方向侧的端部的前端部10a和作为Z轴负方向侧的端部的基端部10b。
[0037]此外，主体部10具有包含压电体层9(参考图3A)和内部电极层A～E(参考图3A～图3E)，且在Y轴方向上层叠的层叠型压电元件。关于相关的层叠型压电元件的细节，之后叙述。
[0038]端子部20对主体部10的层叠型压电元件供给来自外部的驱动电压。实施方式所涉及的端子部20具有5个端子21～25。如图1所示那样，相关的5个端子21～25配置在主体部10的延伸方向(即，Z轴方向)上的中央部附近。
[0039]端子21、23、25配置在主体部10中的X轴负方向侧的侧面10c，端子22、24配置在主体部10中的X轴正方向侧的侧面10d。此外，端子21、23、25沿着Z轴方向从前端部10a侧起按该顺序排列配置，端子22、24沿着Z轴方向从前端部10a侧起按该顺序排列配置。
[0040]进而，端子21和端子22沿着X轴方向排列配置，端子23和端子24沿着X轴方向排列配置。
[0041]端子21～25的材质例如是铜、铁、不锈钢、磷青铜等金属，端子21～25的厚度例如是0.01(mm)～1.0(mm)。为了使电传导性、热传导性提升，也可以在端子21～25的表面实施镀覆锡或镀覆银等镀覆膜
[0042]<主体部的内部结构>
[0043]接下来，参考图3A～图10来说明实施方式所涉及的主体部10的内部结构。首先，使用图3A～图3E来说明构成主体部10的层叠型压电元件的压电体层9以及内部电极层A～E的结构。
[0044]图3A是表示实施方式所涉及的主体部10的内部电极层A的结构的图。如图3A所示那样，内部电极层A沿着Y轴方向层叠在沿着XZ平面上设置的矩形状的压电体层9。
[0045]此外，内部电极层A具有内部电极层A1～A3。内部电极层A1是在从前端部10a到配置端子21、22的部位的跟前为止之间形成的宽幅的部位。内部电极层A1例如是在X轴方向上在从侧面10c的近旁到侧面10d的近旁为止之间扩展。
[0046]内部电极层A2是在从内部电极层A1中的Z轴负方向侧的端部到端子24之间延伸的窄幅的部位，将内部电极层A1和端子24电连接。内部电极层A2例如在X轴方向上位于侧面10c与侧面10d的中间部。
[0047]内部电极层A3是在从配置端子25的部位到基端部10b之间形成的宽幅的部位，与端子25电连接。内部电极层A3例如在X轴方向上在从侧面10c的近旁到侧面10d的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电致动器，具备：主体部，其具有在正交坐标系XYZ的Y轴方向上层叠的层叠型压电元件，沿着Z轴方向延伸，所述主体部具有：第1压电元件，其使前端部在X轴方向上位移；第2压电元件，其使所述前端部在Y轴方向上位移；和第3压电元件，其使所述前端部在Z轴方向上位移。2.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，属于所述第3压电元件的内部电极层位于与属于所述第1压电元件的内部电极层或属于所述第2压电元件的内部电极层相同的层。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：下田哲也，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：