本实用新型专利技术涉及一种电场辅助离子交换装置，属于晶圆加工技术领域。包括正极熔盐容器和负极熔盐容器，所述正极熔盐容器和负极熔盐容器之间通过连接螺钉可拆卸的固定连接，在正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面上分别开设有一个圆形的正极晶圆安置槽和负极晶圆安置槽，在所述正极晶圆安置槽靠近正极交换熔盐腔室的一侧还设有凸出的圆环形结构的正极晶圆固定边，在所述负极晶圆安置槽靠近负极交换熔盐腔室的一侧也设有凸出的圆环形结构的负极晶圆固定边，在正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面上还分别设有两组相互匹配的正极固定螺纹口和负极固定螺纹口。的正极固定螺纹口和负极固定螺纹口。的正极固定螺纹口和负极固定螺纹口。
【技术实现步骤摘要】
一种电场辅助离子交换装置
[0001]本技术涉及一种电场辅助离子交换装置，属于晶圆加工
技术介绍
[0002]目前，常规电场辅助离子交换的方法，在正负极所使用的都是按需调配的交换熔盐，对交换熔盐进行加电后，交换熔盐的温差控制情况不理想，且重复使用率不高。导致常规电场辅助离子交换受温差过大影响导致波导深浅变化明显。并且伴随着高成本的消耗，工艺不能达到预期效果且工艺可重复性不高。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种电场辅助离子交换装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种电场辅助离子交换装置。在电场辅助离子交换装置中，用液态金属锡替代了正负极容器中的常规交换熔盐，保证了更好的电场辅助离子交换工艺流程，并且由于本装置特殊的左右拼接结构，辅助待离子交换晶圆的阻隔，使得左右两侧正负极容器中溶液种类可调，使得交换过程温差的可控性提高，波导良好率可以得到提高，而且锡金属环保，可重复使用使得离子交换的成本降低。
[0005]本技术的一种电场辅助离子交换装置，包括正极熔盐容器和负极熔盐容器，所述正极熔盐容器和负极熔盐容器之间通过连接螺钉可拆卸的固定连接，在正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面上分别开设有一个圆形的正极晶圆安置槽和负极晶圆安置槽，在所述正极晶圆安置槽靠近正极交换熔盐腔室的一侧还设有凸出的圆环形结构的正极晶圆固定边，在所述负极晶圆安置槽靠近负极交换熔盐腔室的一侧也设有凸出的圆环形结构的负极晶圆固定边，当正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面相互匹配并拢时，将待离子交换的圆形晶圆安置在正极晶圆安置槽和负极晶圆安置槽组成的圆盘形空腔内，再通过两侧凸出的正极晶圆固定边和负极晶圆固定边的卡接限位使得待离子交换晶圆卡接固定，从而和正极熔盐容器和负极熔盐容器形成一个左右对称的整体结构；在正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面上还分别设有两组相互匹配的正极固定螺纹口和负极固定螺纹口。
[0006]进一步的，所述正极熔盐容器和负极熔盐容器是两个相互呈轴对称的空心槽体结构。
[0007]进一步的，所述正极熔盐容器内部为一个顶面开口的正极交换熔盐腔室，用于放置正极交换熔盐，所述负极熔盐容器内部为一个顶面开口的负极交换熔盐腔室，用于放置负极交换熔盐。
[0008]进一步的，所述正极交换熔盐腔室和负极交换熔盐腔室体积形状相同，相互对称设置。
[0009]进一步的，所述正极固定螺纹口和负极固定螺纹口内壁上设有和连接螺钉表面螺
纹相匹配的内螺纹。
[0010]进一步的，所述正极固定螺纹口和负极固定螺纹口与连接螺钉之间通过螺纹连接固定。
[0011]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0012]本技术的电场辅助离子交换装置中，用液态金属锡替代了正负极容器中的常规交换熔盐，保证了更好的电场辅助离子交换工艺流程，并且由于本装置特殊的左右拼接结构，辅助待离子交换晶圆的阻隔，使得左右两侧正负极容器中溶液种类可调，使得交换过程温差的可控性提高，波导良好
[0013]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某个实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0015]图1是本技术电场辅助离子交换装置的俯视剖面图；
[0016]图2是本技术电场辅助离子交换装置的装配图；
[0017]图3是本技术电场辅助离子交换装置中正极熔盐容器的立体图；
[0018]其中，图中；
[0019]1、正极熔盐容器；2、负极熔盐容器；3、连接螺钉；
[0020]11、正极交换熔盐腔室；12、正极晶圆安置槽；13、正极晶圆固定边；14、正极固定螺纹口；
[0021]21、负极交换熔盐腔室；22、负极晶圆安置槽；23、负极晶圆固定边；24、负极固定螺纹口。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0023]参见图1和图2，本技术一较佳实施例所述的一种电场辅助离子交换装置，包括正极熔盐容器1和负极熔盐容器2，所述正极熔盐容器1和负极熔盐容器2之间通过连接螺钉3可拆卸的固定连接，所述正极熔盐容器1和负极熔盐容器2是两个相互呈轴对称的空心槽体结构，所述正极熔盐容器1内部为一个顶面开口的正极交换熔盐腔室11，用于放置正极交换熔盐，所述负极熔盐容器2内部为一个顶面开口的负极交换熔盐腔室21，用于放置负极交换熔盐，所述正极交换熔盐腔室11和负极交换熔盐腔室21体积形状相同，相互对称设置；
[0024]在正极熔盐容器1和负极熔盐容器2两者的装配面上分别开设有一个圆形的正极晶圆安置槽12和负极晶圆安置槽22，在所述正极晶圆安置槽12靠近正极交换熔盐腔室11的一侧还设有凸出的圆环形结构的正极晶圆固定边13，在所述负极晶圆安置槽22靠近负极交
换熔盐腔室21的一侧也设有凸出的圆环形结构的负极晶圆固定边23，当正极熔盐容器1和负极熔盐容器2两者的装配面相互匹配并拢时，将待离子交换的圆形晶圆安置在正极晶圆安置槽12和负极晶圆安置槽22组成的圆盘形空腔内，再通过两侧凸出的正极晶圆固定边13和负极晶圆固定边23的卡接限位使得待离子交换晶圆卡接固定，从而和正极熔盐容器1和负极熔盐容器2形成一个左右对称的整体结构；在正极熔盐容器1和负极熔盐容器2两者的装配面上还分别设有两组相互匹配的正极固定螺纹口14和负极固定螺纹口24，所述正极固定螺纹口14和负极固定螺纹口24内壁上设有和连接螺钉3表面螺纹相匹配的内螺纹，所述正极固定螺纹口14和负极固定螺纹口24与连接螺钉3之间通过螺纹连接固定。
[0025]本技术的工作原理如下：
[0026]本技术的电场辅助离子交换装置在实际使用过程中，首先对待加工晶圆进行光波导处理，接着将光波导处理后待离子交换的晶圆安置在正极晶圆安置槽12和负极晶圆安置槽22组成的圆盘形空腔内，再通过两侧凸出的正极晶圆固定边13和负极晶圆固定边23的卡接限位使得待离子交换晶圆卡接固定，最后通过连接螺钉3螺纹连接在正极固定螺纹口14和负极固定螺纹口24中，最终使得待离子交换晶圆和正极熔盐容器1和负极熔盐容器2形成一个左右对称的整体结构，连接完成后向正极熔盐容器1中加入交换熔盐或者液态金属锡，向负极熔盐容器2中加入液态金属锡，在整体环境交换温度为380℃的条件下进行离子交换即可；
[0027]实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电场辅助离子交换装置，其特征在于：包括正极熔盐容器和负极熔盐容器，所述正极熔盐容器和负极熔盐容器之间通过连接螺钉可拆卸的固定连接，在正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面上分别开设有一个圆形的正极晶圆安置槽和负极晶圆安置槽，在所述正极晶圆安置槽靠近正极交换熔盐腔室的一侧还设有凸出的圆环形结构的正极晶圆固定边，在所述负极晶圆安置槽靠近负极交换熔盐腔室的一侧也设有凸出的圆环形结构的负极晶圆固定边，在正极熔盐容器和负极熔盐容器两者的装配面上还分别设有两组相互匹配的正极固定螺纹口和负极固定螺纹口。2.根据权利要求1所述的一种电场辅助离子交换装置，其特征在于：所述正极熔盐容器和负极熔盐容器是两个相互...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵懋，郑伟伟，沈栩民，王辉，
申请(专利权)人：常州光芯集成光学有限公司，
类型：新型
国别省市：
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