【技术实现步骤摘要】
一种三维渐变光波导及其制备方法
[0001]本申请涉及三维光波导领域，尤其是涉及一种三维渐变光波导及其制备方法
。
技术介绍
[0002]光电子器件正朝着小型化
、
集成化的方向发展
。
光波导技术是集成光电子器件的一种重要技术
。
借助半导体集成电路工艺，光波导制作技术蓬勃发展
。
光波导器件的一个重要性能在于光波导的光耦合效率
。
如何实现波导与光源
、
波导与光纤或不同波导间的高耦合效率，是现有技术的一个重点研究发现
。
[0003]针对上述相关技术，专利技术人发现现有技术的光波导主要基于平面光波导工艺，光波导结构主要在二维平面上进行变化，难以实现三维的渐变光波导
。
其次，现有三维渐变光波导制备的方案中，三维渐变光波导的折射率差保持固定，限制了其耦合效率
。
技术实现思路
[0004]为了改善现有三维渐变光波导折射率差保持固定导致其耦合效率不佳的缺陷，本申请提...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种三维渐变光波导，其特征在于，所述三维渐变光波导设于玻璃衬底内部且形成为杆型件，所述三维渐变光波导的一端的尺寸大于所述另一端的尺寸
。2.
根据权利要求1所述的一种三维渐变光波导，其特征在于，所述三维渐变光波导与所述玻璃衬底之间的折射率差，由三维渐变光波导一端至另一端逐步增大
。3.
根据权利要求1～2任一项所述的一种三维渐变光波导的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：
S1、
光波导图形设计：光波导图形设计采用光波导线宽渐变设计，光波导一端的尺寸大于所述另一端的尺寸；
S2、
掩膜制作：将设计好的光波导图形转印至玻璃衬底上的掩膜中，作为离子交换阻挡膜中的光波导图形；
S3、
热离子交换：将带有光波导图形掩膜的玻璃衬底浸入离子交换熔盐，制作表面光波导；
S4、
电场辅助离子交换：在带有表面光波导的玻璃衬底两侧施加电场，表面光波导在电场的作用下掩埋进入玻璃衬底内，形成掩埋光波导
。4.
根据权利要求3所述的一种三维渐变光波导的制备方法，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑伟伟，赵懋，王辉，
申请(专利权)人：常州光芯集成光学有限公司，
类型：发明
国别省市：
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