本实用新型专利技术公开了一种晶片质子交换夹具装置，晶片质子交换夹具装置包括：提拉杆以及至少一个可拆卸连接在所述提拉杆上的夹具，所述夹具上设置有至少一个用于容纳晶片的卡槽，所述卡槽内至少局部设置有缓冲层。本实用新型专利技术公开了一种晶片质子交换夹具装置，来解决现有的晶片质子交换夹具装置提供的保护效果不理想的问题。想的问题。想的问题。
【技术实现步骤摘要】
晶片质子交换夹具装置
[0001]本技术涉及光电传感器
，更具体地，涉及一种晶片质子交换夹具装置。
技术介绍
[0002]在铌酸锂调制器制作过程中，波导的制作需要对铌酸锂表面进行掺杂，即质子交换。在工艺制作过程中，需要将晶片放在夹具上，将晶片与夹具一起浸入交换液中，交换液面需要高于夹具，才可以使晶片受热均匀。夹具上安装晶片时，晶片与夹具硬接触，容易使晶片边缘碎裂。
[0003]因此，需要一种晶片质子交换夹具装置，来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提出一种晶片质子交换夹具装置，来解决现有的晶片质子交换夹具装置提供的保护效果不理想的问题。
[0005]基于上述目的本技术提供的一种晶片质子交换夹具装置，包括：
[0006]提拉杆以及至少一个可拆卸连接在所述提拉杆上的夹具，所述夹具上设置有至少一个用于容纳晶片的卡槽，所述卡槽内至少局部设置有缓冲层。
[0007]优选地，所述夹具包括夹具本体以及至少一个从所述夹具本体的周向方向上延伸出的安装壁，所述安装壁上设置有至少一个所述卡槽。
[0008]优选地，所述安装壁的数量为多个时，多个所述安装壁沿着所述夹具本体的周向方向均匀分布。
[0009]优选地，所述夹具的数量为多个时，相邻的两个所述夹具可拆卸连接。
[0010]优选地，所述夹具本体的相对两端分别设置有插接块和插口，相邻的两个所述夹具通过相邻的所述插接块和所述插口配合连接。
[0011]优选地，所述提拉杆包括杆体以及分别设置在所述杆体相对两端的提拉端和承托端，所述夹具套设在所述杆体上，所述承托端用于支撑和限位所述夹具。
[0012]优选地，所述杆体内至少局部设置有中空结构，所述中空结构贯通所述承托端，所述杆体上设置有至少一个与所述中空结构连通的排气孔。
[0013]优选地，所述承托端采用弹性材料制作而成。
[0014]优选地，所述缓冲层采用弹性材料制作而成。
[0015]另外，优选地，所述晶片与所述卡槽的槽口之间设置有间隙。
[0016]从上面所述可以看出，本技术提供的晶片质子交换夹具装置，与现有技术相比，具有以下优点：采用上述晶片质子交换夹具装置，通过在卡槽内设置缓冲层，实现晶片和卡槽内的缓冲层柔性接触，缓冲层对晶片提供保护作用，避免晶片因边角破损造成的破裂。
附图说明
[0017]通过下面结合附图对其实施例进行描述，本技术的上述特征和技术优点将会变得更加清楚和容易理解。
[0018]图1为本技术具体实施例中采用的晶片质子交换夹具装置的示意图。
[0019]图2为图1所示的晶片质子交换夹具装置的夹具的示意图。
[0020]图3为图2所示的晶片质子交换夹具装置的夹具的A
‑
A剖视图。
[0021]图4为图1所示的晶片质子交换夹具装置的提拉杆的示意图。
[0022]其中附图标记：
[0023]10、提拉杆；11、杆体；12、排气孔；13、承托端；20、夹具；21、插接块；22、插口；23、缓冲层；24、卡槽。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向。使用的词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0025]图1为本技术具体实施例中采用的晶片质子交换夹具装置的示意图。如图1所示，晶片质子交换夹具装置包括提拉杆10以及夹具20。
[0026]提拉杆10以及至少一个可拆卸连接在提拉杆10上的夹具20，夹具20上设置有至少一个用于容纳晶片的卡槽24，卡槽24内至少局部设置有缓冲层23。
[0027]晶片在装入卡槽24时，晶片自卡槽24的槽口向槽底移动，通过在卡槽24内设置缓冲层23，晶片与缓冲层23接触，如晶片的底部边沿与槽底处的缓冲层23接触，以保护晶片，卡槽24以及缓冲层23为晶片提供固定作用。使用时，将夹具20连接(如套接)在提拉杆10上，然后，通过提动提拉杆10，带动夹具20和晶片移动，一起浸入交换液中，使晶片受热均匀。使用完毕后，可将夹具20从提拉杆10上拆卸下来，分开保存。
[0028]采用上述晶片质子交换夹具装置，通过在卡槽24内设置缓冲层23，实现晶片和卡槽24内的缓冲层23柔性接触，缓冲层23对晶片提供保护作用，避免晶片因边角破损造成的破裂。
[0029]在本实施例中，夹具20的数量可以根据实际使用需求以及提拉杆10的长度设定，夹具20可以为一个或多个。
[0030]在本实施例中，卡槽24的数量可以根据晶片的实际使用需求以及交换液量设定，卡槽24可以为一个或多个。
[0031]在本实施例中，可在卡槽24的局部设置缓冲层23，如在卡槽24的槽底铺设缓冲层23，又如在槽底和卡槽24的靠近槽底的周向方向铺设缓冲层23，或将缓冲层23全面覆盖卡槽24。
[0032]图2为图1所示的晶片质子交换夹具装置的夹具的示意图。图3为图2所示的晶片质子交换夹具装置的夹具的A
‑
A剖视图。如图2和图3所示，夹具20包括夹具本体和安装壁。
[0033]优选地，夹具20包括夹具本体(未标识)以及至少一个从夹具本体的周向方向上延伸出的安装壁(未标识)，安装壁上设置有至少一个卡槽24。安装壁从夹具本体上延伸而出，
方便晶片的安装，方便晶片与交换液充分接触。
[0034]在本实施例中，安装壁包括与夹具本体连接的伸出段以及从伸出段的自由端延伸出的安装段，安装段朝向夹具本体一侧表面设置有卡槽24。伸出段与安装段之间形成夹角，90
°
≤夹角≤180
°
。
[0035]在交换晶片时，需要将夹具20整体浸泡在交换液中，如大量交换液中仅浸泡一个晶片，可能造成交换液的浪费，优选地，安装壁的数量为多个时，多个安装壁沿着夹具本体的周向方向均匀分布。通过增加安装壁的数量，可同时交换多个晶片，提高交换速度，降低操作频次，增加晶片的一致性，同时避免浪费交换液。同时，夹具20呈对称结构，有助于夹具20的重心稳定，为晶片提供稳定的支撑作用。
[0036]安装壁的数量为1
‑
4个，在本实施例中，安装壁的数量为4个，四个安装壁在夹具本体上沿径向方向对称分布。通过在夹具本体上增加安装壁的数量，可增加夹具20上晶片的数量，相邻的安装壁之间保留一定的距离，满足操作空间的要求。
[0037]通常，提拉杆10的轴向长度远长于每个夹具20的高度，交换液深度也大于夹具20的高度，为了避免浪费交换液，在提拉杆10上安装多个夹具20，优选地，夹具20的数量为多个时，相邻的两个夹具20可拆卸连接。将相邻的夹具20本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶片质子交换夹具装置，其特征在于，包括：提拉杆以及至少一个可拆卸连接在所述提拉杆上的夹具，所述夹具上设置有至少一个用于容纳晶片的卡槽，所述卡槽内至少局部设置有缓冲层。2.根据权利要求1所述的晶片质子交换夹具装置，其特征在于：所述夹具包括夹具本体以及至少一个从所述夹具本体的周向方向上延伸出的安装壁，所述安装壁上设置有至少一个所述卡槽。3.根据权利要求2所述的晶片质子交换夹具装置，其特征在于：所述安装壁的数量为多个时，多个所述安装壁沿着所述夹具本体的周向方向均匀分布。4.根据权利要求2或3所述的晶片质子交换夹具装置，其特征在于：所述夹具的数量为多个时，相邻的两个所述夹具可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的晶片质子交换夹具装置，其特征在于：所述夹具本体的相对两端分别设置有插接块和插口，相邻的两个所述夹具通...
【专利技术属性】
技术研发人员：李鑫宇，杨成惠，
申请(专利权)人：北京世维通科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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