本发明专利技术公开了一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳、支筒、支架和机门，所述外壳的内壁安装有支架，所述支架的外壁安装有支筒，所述外壳的外壁安装有机门，所述支筒的外壁贯穿安装有第一套筒。本发明专利技术通过安装有卡杆、支撑柱和一弹簧，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的效果，第一弹簧移动使拉杆带动卡杆移动，卡杆移动使其移出卡口，此时拉动支撑柱带动滑筒移动，滑筒移动使支撑柱提高高度，支撑柱移动至合适的高度时，松开拉杆由第一弹簧的弹力使卡杆卡入卡口将支撑柱固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能。硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能。硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能。
【技术实现步骤摘要】
一种沉积磷硅玻璃后的退火设备及其工艺
[0001]本专利技术涉及退火
，具体为一种沉积磷硅玻璃后的退火设备及其工艺。
技术介绍
[0002]硼磷硅玻璃，即掺杂了和的作为第一层金属前介电质以及金属层间介电质在IC制造中有着广泛的应用，二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力，氧化硅(SiO2)薄膜在半导体制造中的一个重要应用，是作为硅上有源器件与第一金属层之间的隔离层。这种隔离层一般在多层金属结构中的任意金属层之前沉积，因此将其称作金属前介质层，现有的沉积磷硅玻璃后退火设备不方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火不均匀。
[0003]现有的沉积磷硅玻璃后退火设备存在的缺陷是：
[0004]1、专利文件CN104071972A公开了一种石英玻璃退火炉，“包括炉体，在炉体内设有炉膛，在炉体上设有用于封闭炉膛的炉门，在炉体内位于炉膛两侧由内至外依次为炉膛内层、保温棉层、保温砖层和珍珠岩层，在炉体内位于炉膛下面依次为炉膛底层、保温砖层和珍珠岩层，在炉体内位于炉膛上面依次为炉膛顶层、保温棉层、保温砖层和珍珠岩层；在炉膛内层的相对面上对称设有多个沟槽，在每个沟槽内分别设有电阻丝，每根电阻丝两端分别由炉体两侧引出接线端。有益效果是：使用方便，升温速度快，三小时即可达到退火所需的温度，退火时间短、加工效率高；适用范围广，适合对各种石英玻璃件进行退火处理，例如各种石英玻璃棒和石英玻璃板等”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备不方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火不均匀；
[0005]2、专利文件CN106517757A公开了一种玻璃制品退火炉，“包括炉体，炉体内设有石棉层，炉体上开有若干通孔，每个通孔内滑动连接有一个温控单元，温控单元包括温控板和绝热的支座，温控板安装在支座上，支座上设有两个连接孔，每个连接孔内各安装有一根导管，温控板内设有S形流道，S形流道内设有点火装置，S形流道包括入口和出口，入口连通一个连接孔，出口连通另一个连接孔，还包括输送装置，输送装置穿过炉体。本专利意在提供一种玻璃制品退火炉，以在对玻璃制品进行退火时，控制玻璃制品局部的退火温度”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备不方便控制冷却口开启的大小使温度下降过快造成损坏；
[0006]3、专利文件CN103265165A公开了一种浮法玻璃退火窑A区双顺流退火工艺，“包括辐射间接冷却区、热风循环强制冷却区、冷风强制冷却区和自然对流冷却区，所述的辐射间接冷却区设有一个顺流A区、一个退火区B和一个冷却区C，其特征在于在一个顺流A区设有双顺流退火工艺，所述工艺是在顺流A区上加长，并将A区分为A1、A2两区：A1是第一个顺流区；A2是第二个顺流区，A1、A2即“快、慢”前两步，退火窑的B区、C区即作业方法中的“慢、快”的后两步，即构成“快、慢、慢、快”的退火作业制度。本专利技术将传统的单顺流退火工艺变更为双顺流退火工艺，改进后的工艺可满足大于800t/d的大吨位浮法线的生产需要；并大大提高了玻璃的退火效率和质量及生产的稳定性”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备的机门固定不牢固造成意外开启引发意外事故；
[0007]4、专利文件CN101597134A公开了一种大规格玻璃精密退火的装置，“该装置可以改善精密退火炉的温场不均匀性和减小退火炉的温度波动性，从而提高大规格玻璃精密退火质量。玻璃精密退火装置，包括盖板和中空柱体，所述盖板设置在所述中空柱体上，玻璃设置在中空柱体内，玻璃与中空柱体之间、玻璃与盖板之间设置有绝热材料。本专利技术采用绝热材料使大块玻璃处于一个等温体内，从而减少退火炉温度不均匀引起的径向温差和轴向温差，还可以抵抗炉温波动对玻璃的退火质量的影响，从而提高大规格玻璃精密退火质量，退火后的大块玻璃的应力均匀性≤2nm/cm，光学均匀性≤2
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10－6，应力均匀性达到2类”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备退火使产生的有害气体不能净化加大对工作人员身体的伤害。
技术实现思路
[0008]本专利技术的目的在于提供一种沉积磷硅玻璃后的退火设备及其工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的缺少支撑功能、缺少调节功能、缺少固定结构、缺少净化结构的技术问题。
[0009]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳、支筒、支架和机门，所述外壳的内壁安装有支架，所述支架的外壁安装有支筒，所述外壳的外壁安装有机门；
[0010]所述支筒的外壁贯穿安装有第一套筒，所述第一套筒的内壁贯穿安装有卡杆，所述卡杆的一端安装有拉杆，所述拉杆的外壁安装有第一弹簧，且第一弹簧的一端与支筒的外壁连接，所述支筒的内壁贯穿安装有支撑柱，所述支撑柱的外壁设有卡口，所述支筒的的内壁安装有滑杆；
[0011]所述滑杆的外壁安装有滑筒，且滑筒的外壁与支撑柱的外壁连接。
[0012]优选的，所述外壳的外壁安装有第一支盒、外壳的顶部贯穿安装有第二套筒，外壳的底部安装有支撑块。
[0013]优选的，所述第一支盒的外壁贯穿安装有第一电机，第一电机的输出端安装有转杆，转杆的外壁安装有收集轮，收集轮的外壁安装有拉绳，第一支盒的内壁安装有第二支杆，第二支杆的外壁安装有滑环，第二支杆的外壁安装有限位块，滑环的外壁安装有第三支杆，第三支杆的外壁安装有堵头，第三支杆的外壁安装有第三弹簧，且第三弹簧的一端与第一支盒的内壁连接，第一支盒的外壁设有第三开口。
[0014]优选的，所述第二套筒的内壁贯穿安装有卡柱，卡柱的外壁安装有第四支杆，第四支杆的外壁安装有第四弹簧，且第四弹簧的一端与外壳的内壁连接，机门的外壁安装有卡块，外壳的外壁设有第五开口，且卡块通过第五开口延伸至外壳的内部，卡块的外壁设有第二开口，机门的外壁安装有保温板。
[0015]优选的，所述卡杆延伸至卡口的内部，堵头位于第三开口处，卡柱延伸至第二开口的内部，第二套筒对卡柱进行移动支撑。
[0016]优选的，所述外壳的顶部安装有第二支盒，外壳的外壁安装有控制组件。
[0017]优选的，所述第二支盒的内壁贯穿安装有第一管道，且第一管道的一端延伸至外壳的内部，第一管道的一端安装有风头，第二支盒的内壁安装有收集盒，收集盒的顶部贯穿安装有第二管道，且第二管道的一端设有至第二支盒的顶部，收集盒的外壁贯穿安装有第三电机，第三电机的输出端安装有第七支杆，第七支杆的外壁安装有搅杆。
[0018]优选的，所述外壳的内壁安装有加热组件。
[0019]优选的，该退火装置的工作步骤如下：
[0020]S1、拉动拉杆带动第一弹簧移动，第一弹簧移动使拉杆带动卡杆移动，卡杆移动使其移出卡口，此时拉动支撑柱带动滑筒移动，滑筒移动使支撑柱提高高度，支撑柱移动至合适的高度时，松开拉杆由第一弹簧的弹力使卡杆卡入卡口将支撑柱固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能；
[0021]S2、第一电机转动带动转杆转动，转杆转动带动收集轮转本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳(1)、支筒(7)、支架(5)和机门(4)，其特征在于：所述外壳(1)的内壁安装有支架(5)，所述支架(5)的外壁安装有支筒(7)，所述外壳(1)的外壁安装有机门(4)；所述支筒(7)的外壁贯穿安装有第一套筒(8)，所述第一套筒(8)的内壁贯穿安装有卡杆(9)，所述卡杆(9)的一端安装有拉杆(10)，所述拉杆(10)的外壁安装有第一弹簧(11)，且第一弹簧(11)的一端与支筒(7)的外壁连接，所述支筒(7)的内壁贯穿安装有支撑柱(12)，所述支撑柱(12)的外壁设有卡口(13)，所述支筒(7)的的内壁安装有滑杆(14)；所述滑杆(14)的外壁安装有滑筒(15)，且滑筒(15)的外壁与支撑柱(12)的外壁连接。2.根据权利要求1所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述外壳(1)的外壁安装有第一支盒(16)、外壳(1)的顶部贯穿安装有第二套筒(27)，外壳(1)的底部安装有支撑块(2)。3.根据权利要求2所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述第一支盒(16)的外壁贯穿安装有第一电机(17)，第一电机(17)的输出端安装有转杆(18)，转杆(18)的外壁安装有收集轮(19)，收集轮(19)的外壁安装有拉绳(20)，第一支盒(16)的内壁安装有第二支杆(21)，第二支杆(21)的外壁安装有滑环(22)，第二支杆(21)的外壁安装有限位块(23)，滑环(22)的外壁安装有第三支杆(24)，第三支杆(24)的外壁安装有堵头(25)，第三支杆(24)的外壁安装有第三弹簧(26)，且第三弹簧(26)的一端与第一支盒(16)的内壁连接，第一支盒(16)的外壁设有第三开口。4.根据权利要求2所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述第二套筒(27)的内壁贯穿安装有卡柱(28)，卡柱(28)的外壁安装有第四支杆(29)，第四支杆(29)的外壁安装有第四弹簧(30)，且第四弹簧(30)的一端与外壳(1)的内壁连接，机门(4)的外壁安装有卡块(31)，外壳(1)的外壁设有第五开口(34)，且卡块(31)通过第五开口(34)延伸至外壳(1)的内部，卡块(31)的外壁设有第二开口(33)，机门(4)的外壁安装有保温板(32)。5.根据权利要求1
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4任意一项所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述卡杆(9)延伸至卡口(13)的内部，堵头(25)位于第三开口处，卡柱(28)延伸至第二开口(33)的内部，第二套筒(27)对卡柱(28)进行移动支撑。6.根据权利要求1所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述外壳(1)的顶部安装有第二支盒(35)，外壳(1)的外壁安装有控制组件(3)。7.根据权利要求6所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述第二支盒(35)的内壁贯穿安装有第一管道(36)，且第一管道(36)的一端延伸至外壳(1)的内部，第一管道(36)的一端安装有风头(37)，第二支盒(35)的内壁安装有收集盒(38)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王黎明，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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