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本发明公开了一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳、支筒、支架和机门，所述外壳的内壁安装有支架，所述支架的外壁安装有支筒，所述外壳的外壁安装有机门，所述支筒的外壁贯穿安装有第一套筒。本发明通过安装有卡杆、支撑柱和一弹簧，实现了方便不同大小沉...
该专利属于江苏晟驰微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晟驰微电子有限公司授权不得商用。

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