一种侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的磁悬浮装置及控制方法制造方法及图纸

一种侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的磁悬浮装置，包括：固定立板、悬浮组件、螺线管阵列等；固定立板设有两组，相向平行竖直布置，螺线管阵列在两固定立板的相向面布置；悬浮组件设于两固定立板之间，其上有若干悬浮永磁体，通过受到各个螺线管产生的磁场的作用，悬浮组件平衡悬浮于两固定立板之间，且可以在竖直平面内进行二维移动，为磁悬浮平台提供新的设计思路，推出与众不同的商业化产品，扩宽磁悬浮移动平台的设计与应用范围。磁悬浮移动平台的设计与应用范围。磁悬浮移动平台的设计与应用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的磁悬浮装置及控制方法


[0001]本专利技术涉及磁悬浮
，特别涉及一种侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的磁悬浮装置及控制方法。

技术介绍

[0002]精密制造在航空航天、微电子、材料加工等诸多领域发挥着举足轻重的作用。磁悬浮移动平台具有定位精度高、响应速度快、无摩擦、兼容真空环境等优点，使得磁悬浮系统目前在半导体光刻系统、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密装备领域占有一席之地，一直受到学术界和工业界的广泛关注。现有的磁悬浮移动平台，主要以水平面内的移动为主，竖直方向上的移动距离往往有限，若能提出一种新的磁悬浮结构设计，实现竖直方向上的长距离移动，则可为磁悬浮平台提供新的设计思路，推出与众不同的商业化产品，扩宽磁悬浮移动平台的设计与应用范围。

技术实现思路

[0003]为克服现有技术中的不足，本公开提供一种侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的磁悬浮装置及其控制方法，其能够实现在悬浮组件在竖直平面内大范围长距离移动。
[0004]本公开提供的侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种侧向平衡且可在竖直平面内二维移动的磁悬浮装置，其特征在于，包括：两组相对、平行布置的竖直固定立板；螺线管阵列，用于电磁感应产生磁场，对称分布于两固定立板的相向面上；悬浮组件，设于两固定立板之间，其中设有若干悬浮磁体，各磁体的磁化方向一致，两个磁极分别朝向两固定立板方向；控制部件，用于控制两固定立板上各螺线管中的电流，以调整悬浮组件的受力，实现悬浮或在竖直平面内二维移动。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述螺线管阵列的基本单元为圆形或方形电磁线圈，其中含有铁芯或不含铁芯。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：位置传感器阵列，对称分布于两固定立板的相向面上，用于实时感知悬浮组件位置状态，并将位置状态信息数据传递给所述控制部件。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括：所述位置传感器阵列包括若干个横向检测单元和若干个纵向检测单元，能够对竖直平面覆盖检测。5.根据权利要求1
‑
4中任一所述的装置，其特征在于，还包括定位平台，所述固定立板的下端固定安装于所述定位平台上，以保持两固定立板相对位置不变。6.一种应用于权利要求4所述装置的侧向平衡磁悬浮控制方法，其特征在于，包括以下步骤：对于螺线管阵列中的的螺线管k，设通电流为I
k
，根据其在空间任意一点的磁感应强度B
k
，得到通电螺线管k对悬浮组件中某一个磁体j的磁力其中M
j
是悬浮磁体j的磁化强度，n是悬浮磁体j单位面元d
′
的法向向量；得到螺线管阵列对某一个悬浮磁体j的总磁力F
j
＝∑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓舒同，褚褚，陈建，邹圣楠，何云飞，陈鹏荣，
申请(专利权)人：泉州装备制造研究所，
类型：发明
国别省市：