磁悬浮装置用辅助工装及磁悬浮设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种磁悬浮装置用辅助工装及磁悬浮设备，磁悬浮设备包括磁悬浮装置和辅助工装，磁悬浮装置包括磁悬浮定子和磁悬浮转子，磁悬浮定子产生磁场以驱动磁悬浮转子旋转和悬浮，磁悬浮定子包括至少一个永磁组件，永磁组件包括两个导磁件和一个永磁体，永磁体夹持于两个导磁件之间；辅助工装包括导磁部件，导磁部件配置为在第一状态和第二状态之间转换，在第一状态，永磁体的部分磁场经导磁件、磁悬浮转子形成第一磁回路，永磁体的部分磁场经导磁部件形成第二磁回路，在第二状态，导磁部件断开第二磁回路。本发明专利技术能够实现快速且方便的装卸转子，避免装卸过程中转子发生偏移碰撞，便于装机和维护，提高装机及维护效率及降低人工成本。低人工成本。低人工成本。

【技术实现步骤摘要】
磁悬浮装置用辅助工装及磁悬浮设备


[0001]本专利技术涉及磁悬浮
，尤其是一种磁悬浮装置用辅助工装及磁悬浮设备。

技术介绍

[0002]磁悬浮装置或磁悬浮旋转驱动器具有高洁净，无析出，无颗粒，无动密封，性能优越的特点，在生物化学、医疗、半导体制造等超纯净驱动领域具有良好的应用前景。
[0003]在半导体制造中，一方面，晶圆的洁净度很重要,因为晶圆表面的洁净度会影响后续半导体工艺及产品的合格率，为了达到超洁净的需要，硅或其他半导体材料的晶圆必须在受控的超清洁气氛中处理。比如，在晶圆的制造过程中，一个制造步骤是在离子注入掺杂之后对晶圆进行退火。掺杂在晶体结构上施加应变，如果应力不能得到快速释放,将导致离子掺杂的电阻率发生不希望的变化。目前，通常采用快速热处理工艺 (RTP) 进行退火处理。再一方面，晶圆的处理均匀性很重要,为了产生均匀性,通常在处理晶圆时要围绕晶圆中心的垂直轴或z轴旋转晶圆。旋转还用于其他晶圆处理,例如化学气相沉积、热处理、离子注入掺杂和其他技术掺杂。为了满足半导体工艺制造中超洁净和处理均匀性等的严苛要求，半导体热处理设备最佳采用无接触旋转驱动的磁悬浮装置，磁悬浮装置包括磁悬浮定子，磁悬浮定子用于产生磁场以驱动磁悬浮转子旋转和悬浮，磁悬浮转子借由支撑柱及承载盘带动晶圆在封闭的腔体内旋转。
[0004]专利文献CN114221580B及CN114826025A均公开了一种磁悬浮装置，其中，都包括转子和定子，定子围绕转子设置或者转子围绕定子设置，其中，定子包括至少两个磁性定子基片以及永磁体，在定子的轴向上永磁体夹持在两个磁性定子基片之间，用于提供永磁偏置磁场。该磁场作用于转子上，使定子和转子之间产生磁吸力，在将转子装配到定子的腔室中或将转子从定子的腔室中取出时，需要克服很大的磁吸力。特别是具有多层凸缘结构的转子，永磁偏置磁场的磁吸力特别大，比如，专利文献CN114826025A中公开的4层凸缘结构的转子的实施例，由于转子具有沿轴向设置的4层凸缘结构，而对应的定子包括对应的四个磁性定子基片和夹持在第一个磁性定子基片与第二个磁性定子基片之间的第一层永磁体以及第三个磁性定子基片与第四个磁性定子基片之间的第二层永磁体，两层永磁体共同作用于转子上，这个磁吸力可达到400N，目前，通常采用人工装卸转子，以避免机械设备装配导致的洁净度损失，但是，单个操作人员难以将转子从定子的腔体中取出，往往需要两人以上的操作人员，导致装配效率较低且人工成本及维护成本较高。此外，在装卸过程中很难实现定子与转子同轴取放，导致转子在取放过程中容易发生偏移，进一步增加了装卸的困难，不利于转子的装配和维护时取出转子，还可能发生碰撞导致定子或转子的磨损，进而影响半导体工艺的洁净度。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种磁悬浮装置用辅助工装及磁悬浮设备，能够实现快速且方便的装卸转子，避免装卸过程中转子发生偏移碰撞，便于装机和维护，提
高装机及维护效率及降低人工成本。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供一种磁悬浮装置用辅助工装，所述磁悬浮装置包括磁悬浮定子和磁悬浮转子，所述磁悬浮定子产生磁场以驱动所述磁悬浮转子旋转和悬浮，其特征在于，所述磁悬浮定子包括至少一个永磁组件，所述永磁组件包括两个所述导磁件和一个所述永磁体，所述永磁体夹持于两个所述导磁件之间；所述辅助工装包括导磁部件，所述导磁部件配置为在第一状态和第二状态之间转换，在所述第一状态，所述永磁体的部分磁场经所述导磁件、所述磁悬浮转子形成第一磁回路，所述永磁体的部分磁场经所述导磁部件形成第二磁回路，在所述第二状态，所述导磁部件断开所述第二磁回路。
[0007]进一步的，所述导磁部件配置为导磁板，在所述第一状态，所述永磁组件的永磁体的磁场经所述导磁板形成所述第二磁回路，在所述第二状态，所述导磁板断开所述第二磁回路。
[0008]进一步的，所述辅助工装还包括操作把手，所述操作把手固接于所述导磁板的一侧。
[0009]进一步的，所述导磁板通过转动的方式断开所述第二磁回路。
[0010]进一步的，所述辅助工装还包括基座，所述导磁板转动安装于所述基座上，所述基座可拆卸固定于所述磁悬浮定子上。
[0011]进一步的，所述导磁部件与所述永磁组件一一对应，所述导磁部件包括至少两个导磁体，所述至少两个导磁体中至少一个导磁体配置为移动导磁体，所述移动导磁体在所述第一状态和所述第二状态之间转换；在所述第一状态，所述永磁组件的永磁体的磁场经所述至少两个导磁体形成所述第二磁回路，在所述第二状态，所述移动导磁体断开所述第二磁回路。
[0012]进一步的，所述移动导磁体通过转动的方式断开所述第二磁回路。
[0013]进一步的，所述辅助工装还包括基座，所述导磁部件包括3个所述导磁体，3个所述导磁体均配置为所述移动导磁体，3个所述移动导磁体依次相接并转动安装于所述基座上；在所述第一状态，所述永磁体的磁场依次经3个所述移动导磁体形成所述第二磁回路，在所述第二状态，3个所述移动导磁体逐一转动至远离所述永磁组件的位置。
[0014]进一步的，所述基座包括间隔设置的两个基板和固接于两个所述基板之间的连接柱，两个所述基板之间设有旋转轴，3个所述移动导磁体均转动套设于所述旋转轴上。
[0015]进一步的，所述辅助工装包括两个所述导磁部件，两个所述导磁部件均设于两个所述基板之间，每个所述导磁部件的3个所述移动导磁体均转动套设于所述旋转轴上。
[0016]进一步的，所述基座包括两个所述连接柱，一个所述连接柱配置为挡柱，另一个所述连接柱配置为基柱，所述旋转轴设置于所述基柱和所述挡柱之间并靠近所述基柱设置，所述移动导磁体的一端转动套设于所述旋转轴上，所述移动导磁体的再一端形成止挡体，所述止挡体能够挡靠在所述挡柱的一侧。
[0017]进一步的，所述止挡体与所述移动导磁体均为导磁材料，且一体成型。
[0018]进一步的，所述辅助工装还包括力矩手柄，所述力矩手柄与所述止挡体连接，所述力矩手柄配置为加长所述止挡体相对所述旋转轴的力臂。
[0019]进一步的，所述力矩手柄配置为撬棒，所述撬棒和所述止挡体中的一个上设置有插孔，另一个上设置有插柱，所述插柱与所述插孔插接。
[0020]进一步的，所述基柱靠近两个所述基板的一端设置，所述挡柱靠近两个所述基板的相对的再一端设置，所述基柱位于所述移动导磁体从第一状态向第二状态转动的路径上，并定义所述移动导磁体从第一状态向第二状态转动的方向为断开方向，所述基柱迎向所述断开方向的一侧形成有第一避位面，所移动导磁体朝向所述第一避位面的一侧上形成有第二避位面。
[0021]进一步的，所述辅助工装还包括加强中柱，所述加强中柱连接于所述基柱和所述挡柱之间，一个所述导磁部件设于所述加强中柱与一个所述基板之间，另一个所述导磁部件设于所述加强中柱和另一个所述基板之间，所述加强中柱背向所述卡口的一侧设有操作把手。
[0022]进一步的，两个所述基板均向同一侧延伸形成两个接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮装置用辅助工装，所述磁悬浮装置包括磁悬浮定子和磁悬浮转子，所述磁悬浮定子产生磁场以驱动所述磁悬浮转子旋转和悬浮，其特征在于，所述磁悬浮定子包括至少一个永磁组件，所述永磁组件包括两个导磁件和一个永磁体，所述永磁体夹持于两个所述导磁件之间；所述辅助工装包括导磁部件，所述导磁部件配置为在第一状态和第二状态之间转换，在所述第一状态，所述永磁体的部分磁场经所述导磁件、所述磁悬浮转子形成第一磁回路，所述永磁体的部分磁场经所述导磁部件形成第二磁回路，在所述第二状态，所述导磁部件断开所述第二磁回路。2.根据权利要求1所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述导磁部件配置为导磁板，在所述第一状态，所述永磁组件的永磁体的磁场经所述导磁板形成所述第二磁回路，在所述第二状态，所述导磁板断开所述第二磁回路。3.根据权利要求2所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述辅助工装还包括操作把手，所述操作把手固接于所述导磁板的一侧。4.根据权利要求2所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述导磁板通过转动的方式断开所述第二磁回路。5.根据权利要求4所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述辅助工装还包括基座，所述导磁板转动安装于所述基座上，所述基座可拆卸固定于所述磁悬浮定子上。6.根据权利要求1所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述导磁部件与所述永磁组件一一对应，所述导磁部件包括至少两个导磁体，所述至少两个导磁体中至少一个导磁体配置为移动导磁体，所述移动导磁体在所述第一状态和所述第二状态之间转换；在所述第一状态，所述永磁组件的永磁体的磁场经所述至少两个导磁体形成所述第二磁回路，在所述第二状态，所述移动导磁体断开所述第二磁回路。7.根据权利要求6所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述移动导磁体通过转动的方式断开所述第二磁回路。8.根据权利要求7所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述辅助工装还包括基座，所述导磁部件包括3个所述导磁体，3个所述导磁体均配置为所述移动导磁体，3个所述移动导磁体依次相接并转动安装于所述基座上；在所述第一状态，所述永磁体的磁场依次经3个所述移动导磁体形成所述第二磁回路，在所述第二状态，3个所述移动导磁体逐一转动至远离所述永磁组件的位置。9.根据权利要求8所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述基座包括间隔设置的两个基板和固接于两个所述基板之间的连接柱，两个所述基板之间设有旋转轴，3个所述移动导磁体均转动套设于所述旋转轴上。10.根据权利要求9所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述辅助工装包括两个所述导磁部件，两个所述导磁部件均设于两个所述基板之间，每个所述导磁部件的3个所述移动导磁体均转动套设于所述旋转轴上。11.根据权利要求10所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述基座包括两个所述连接柱，一个所述连接柱配置为挡柱，另一个所述连接柱配置为基柱，所述旋转轴设置于所述基柱和所述挡柱之间并靠近所述基柱设置，所述移动导磁体的一端转动套设于所述旋转轴上，所述移动导磁体的再一端形成止挡体，所述止挡体能够挡靠在所述挡柱的一侧。12.根据权利要求11所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述止挡体与所述移
动导磁体均为导磁材料，且一体成型。13.根据权利要求11所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述辅助工装还包括力矩手柄，所述力矩手柄与所述止挡体连接，所述力矩手柄配置为加长所述止挡体相对所述旋转轴的力臂。14.根据权利要求13所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述力矩手柄配置为撬棒，所述撬棒和所述止挡体中的一个上设置有插孔，另一个上设置有插柱，所述插柱与所述插孔插接。15.根据权利要求11所述的磁悬浮装置用辅助工装，其特征在于：所述基柱靠近两个所述基板的一端设置，所述挡柱靠近两个所述基板的相对的再一端设置，所述基柱位于所述移动导磁体从第一状态向第二状态转动的路径上，并定义所述移...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文志，刘德刚，
申请(专利权)人：苏州苏磁智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：