本技术涉及一种转子取放工装及磁悬浮设备，转子取放工装包括桥臂和间隔设置的第一直臂和第二直臂，桥臂固接于第一直臂和第二直臂之间，第一直臂上形成有第一夹口，第二直臂上形成有第二夹口，第一夹口和第二夹口设置在一旋转平面内，第一夹口的一端配置为...

本发明公开了一种集成位置检测单元的磁悬浮装置及磁悬浮转台，包括定子和转子，转子包括转子主体和第一环缘，定子包括永磁装置和第一悬浮控制组件，第一悬浮控制组件配置为向转子的第一环缘施加主动控制的悬浮力，永磁装置配置为向转子施加永磁偏置磁场，...

本技术公开了一种磁悬浮电机用传感器标定件及磁悬浮装置，磁悬浮电机包括磁悬浮定子、腔体、传感器单元，传感器标定件包括：第一本体、第二本体及用于调节第一本体底部至传感器单元轴向距离的调节机构，第一本体沿径向的内侧面配置为径向基准面，第二本体...

本发明公开了一种一体式绕组磁悬浮电机、磁悬浮设备及一体式绕组绕制方法，定子包括2N+2个定子铁芯，N为非零自然数，每个定子铁芯上对应缠绕线圈，每个线圈具有一个线圈引入端和线圈引出端，定子铁芯所在的圆周上相间隔一定角度的多个线圈串联形成至...

本技术公开了一种位移传感器、位移传感器系统及磁悬浮设备，包括：金属外壳和传感器组件，金属外壳具有封闭的一端，封闭的一端端面配置为感应面，金属外壳的外缘设置有第一台阶部和第二台阶部，第一台阶部上与感应面平行的面配置为密封面，第二台阶部上与...

本技术公开了一种定子组件、磁悬浮电机及磁悬浮设备，包括：多个定子铁芯和多个线圈，每个定子铁芯的外缘对应绕设至少一个线圈，每个定子铁芯包括沿叠压方向相互叠压的多个叠片，定子铁芯包括多个外缘面及多个棱边，相邻两个外缘面相交于所述棱边，棱边上...

本实用新型公开了一种磁悬浮泵用叶轮、泵头及磁悬浮泵，叶轮包括回转主体、设于回转主体上的磁性体和形成于回转主体的第一面的多个叶片，相邻两个叶片之间形成叶流道，多个叶片的前端围成进口腔室，进口腔室内设有与第一面平行的阻隔盘，阻隔盘的一面与第...

本实用新型公开了一种磁悬浮装置及半导体加工设备，包括定子和转子，定子包括永磁装置和悬浮控制组件，悬浮控制组件配置为向转子施加主动控制的悬浮力，永磁装置配置为向转子施加永磁偏置磁场，永磁装置包括多个永磁组件，多个永磁组件在圆周方向上均匀设...

本发明公开了一种应用于晶圆处理的磁悬浮装置及半导体加工设备，转子包括转子主体

本发明公开了一种传感与控制一体化的磁悬浮装置及磁悬浮设备，包括定子和转子，定子包括至少一个第一悬浮控制组件，第一悬浮控制组件配置为向转子施加主动控制的悬浮力，包括向转子突出的多个定子磁极

本发明公开了一种磁悬浮电机用传感器标定件及磁悬浮装置，磁悬浮电机包括磁悬浮定子

本发明公开了一种位移传感器探头

本发明公开了一种磁悬浮装置及磁悬浮转台，包括定子和转子，定子包括永磁装置和第一悬浮控制组件，第一悬浮控制组件包括第一、第二控制组件，第一控制组件配置为向转子施加沿轴向向上的悬浮力，第二控制组件配置为向转子施加沿轴向向下的悬浮力，第一控制...

本发明公开一种正反转磁悬浮无轴承电机、设备、控制方法、系统。该正反转磁悬浮无轴承电机，包括定子、转子、位置获取装置、旋转控制装置、主控装置和功率放大装置。基于角位置和旋转控制指令，主控装置选择出基准线圈并通过功率放大装置控制自基准线圈开...

本发明公开了一种磁悬浮泵用叶轮、泵头、叶轮设计方法，磁悬浮泵用叶轮包括回转主体、磁性体和多个叶片，相邻两个叶片之间形成叶道，多个叶片的前端围成进口腔室，叶片的进口的绝对液流角为90度或接近90度，叶片的进口安放角与设计工况的相对液流角相...

本发明涉及一种用于搅拌的导流器及磁悬浮搅拌装置，导流器包括环形载板和至少一个导流叶片，环形载板的中空部分配置为容置用于搅拌的叶轮，至少一个导流叶片呈放射状布置在叶轮的外围，至少一个导流叶片配置为改变叶轮旋转排出的流体的方向，以部分或全部...

本实用新型涉及一种传感器支架及集成了传感器支架的磁悬浮电机，传感器支架包括支架主体和环盖，支架主体包括顶环和若干支柱，相邻两个支柱之间形成用于装配定子齿的槽口，环盖与若干支柱之间固定连接，环盖与支架主体围成用于收纳磁悬浮转子的收纳空间，...

本实用新型公开了一种磁悬浮泵散热结构及磁悬浮泵，包括：泵壳、底座，泵壳的外圆周与底座相适配形成容纳空间，容纳空间内设有铁芯绕组单元，铁芯绕组单元包括多个沿圆周方向间隔排布的定子铁芯和绕组；第一散热单元设置在容纳空间内，第一散热单元包括至...

本发明公开了一种调节轴向力的叶轮结构及磁悬浮混合装置，包括：磁悬浮转子和多个叶片；磁悬浮转子内设有转子磁性部件；多个叶片设置在磁悬浮转子上并能与磁悬浮转子同心旋转，叶片具有相对的压力面和吸力面，至少一个叶片的压力面上设有用于调节轴向力的...

本发明公开了一种磁悬浮电机特性的标定方法及装置，磁悬浮电机特性包括位移传感器灵敏度特性和磁悬浮转子悬浮特性，包括以下步骤：位移传感器分别获取其至第一传感器标定件被测面和第二传感器标定件被测面的第一距离信息和第二距离信息并输出第一电信号和...