【技术实现步骤摘要】
本实用涉及了磁悬浮设备，具体的是一种位移传感器、位移传感器系统及磁悬浮设备。
技术介绍
1、位移传感器用于许多
的测量工作，监控设备和器件或者用于工艺自动化。通常，传感器分为简单的开关传感器和连续距离传感器。第一种传感器也被称为接近开关，因为当金属物体靠近到一定距离时，他们会产生开关信号。然而，当物体接近时，第二种传感器传递与距离相关的信号，因此，这类传感器被用于测量距离和位置。
2、位移传感器是将被测量转换为线圈的自感或互感的变化来测量的装置。位移传感器必不可少地至少包括交流电源供电的线圈。当金属物体接近这个线圈时，产生两种基本效应。在金属中感应出涡流，该涡流阻碍原始励磁电流（楞次定律）并且在线圈中产生一个内部反馈。该效应主要发生在导电性良好的材料制造的物体中，不管它们是不是铁磁体。如果是铁磁体还发生另一个效应。当铁磁材料制造的物体接近线圈时，线圈的电感量变化，该变化也能用于检测所述的物体。
3、在半导体制造中，晶圆表面的洁净度会影响后续半导体工艺及产品的合格率，为了达到超洁净的需要，硅或其他半导体材料的...
【技术保护点】
1.一种位移传感器，用于测量金属物体的距离和位置，其特征在于，包括：金属外壳（11）和一个传感器组件（12），所述金属外壳具有封闭的一端，所述封闭的一端端面配置为感应面（110），所述金属外壳的外缘依次设置有第一台阶部（111）和第二台阶部（112），所述第一台阶部上与所述感应面平行的面配置为密封面（1110），所述第二台阶部上与所述感应面平行的面配置为定位面（1120），所述感应面、所述密封面、所述定位面的外径依次增大，所述传感器组件配置在所述金属外壳封闭的一端内，所述传感器组件包括一个罐型磁芯（120）及缠绕在所述罐型磁芯上的线圈（121），所述罐型磁芯的开口部朝...
【技术特征摘要】
1.一种位移传感器，用于测量金属物体的距离和位置，其特征在于，包括：金属外壳（11）和一个传感器组件（12），所述金属外壳具有封闭的一端，所述封闭的一端端面配置为感应面（110），所述金属外壳的外缘依次设置有第一台阶部（111）和第二台阶部（112），所述第一台阶部上与所述感应面平行的面配置为密封面（1110），所述第二台阶部上与所述感应面平行的面配置为定位面（1120），所述感应面、所述密封面、所述定位面的外径依次增大，所述传感器组件配置在所述金属外壳封闭的一端内，所述传感器组件包括一个罐型磁芯（120）及缠绕在所述罐型磁芯上的线圈（121），所述罐型磁芯的开口部朝向所述感应面设置，所述罐型磁芯的外缘与所述金属外壳封闭的一端的内壁相接触。
2.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述第一台阶部上设有套设在所述金属外壳外缘的o型密封圈（1111），所述o型密封圈在轴向方向上与所述密封面相接触，在径向方向上与所述金属外壳外壁相接触。
3.根据权利要求2所述的位移传感器，其特征在于，所述第二台阶部上相对设有一个沿轴向延伸的螺纹间隙孔（1121），每个所述螺纹间隙孔内对应穿设一个紧固件，以固定所述位移传感器。
4.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述罐型磁芯包括磁芯基体（1200）、设置在所述磁芯基体内的一个磁芯柱（1201），所述磁芯基体包括底座及设置在所述底座外缘上的环形侧壁，所述磁芯柱位于所述环形侧壁内且设置在所述底座的中部，所述磁芯柱的外缘对应缠绕所述线圈。
5.根据权利要求4所述的位移传感器，其特征在于，所述磁芯基体的环形侧壁上开设有至少一个第一凹槽（1202），所述第一凹槽配置为线圈引线口；或，
6.根据权利要求4所述的位移传感器，其特征在于，所述磁芯基体为一体成型或至少一个第一磁芯块与至少一个第二磁芯块拼接，所述磁芯柱为一体成型或多个第三磁芯块拼接，所述磁芯基体与所述磁芯柱一体成型或分别成型后连接。
7.根据权利要求4所述的位移传感器，其特征在于，还包括设置在所述金属外壳内的定位件（13），所述定位件与所述磁芯基体的底部相抵接，所述定位件的材质为非磁性材料。
8.根据权利要求7所述的位移传感器，其特征在于，所述磁芯柱中部设有沿轴向延伸的通孔（1207），所述定位件自顶部依次设有外径逐渐增大且同轴线的第一定位部（130）、第二定位部（131）及第三定位部（132），所述第一定位部的...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴文志，刘德刚，
申请(专利权)人：苏州苏磁智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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