本实用新型专利技术公开了一种磁悬浮泵散热结构及磁悬浮泵，包括：泵壳、底座，泵壳的外圆周与底座相适配形成容纳空间，容纳空间内设有铁芯绕组单元，铁芯绕组单元包括多个沿圆周方向间隔排布的定子铁芯和绕组；第一散热单元设置在容纳空间内，第一散热单元包括至少一根热管，其沿铁芯绕组单元的圆周设置；第二散热单元设置在底座内。此种散热结构结构简单，使用成本低，只需要在铁芯绕组单元的圆周侧设置热管，铁芯绕组单元产生的热量通过热管内工作介质状态的变化带走，以对铁芯绕组单元进行降温；并在底座内设置第二散热单元，以避免铁芯绕组单元底端温度过高，散热效果更好；且添加散热单元后的磁悬浮泵的体积较小，节省磁悬浮泵的使用空间。使用空间。使用空间。
【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮泵散热结构及磁悬浮泵
[0001]本技术涉及了磁悬浮装置
，具体的是一种磁悬浮泵散热结构及磁悬浮泵。
技术介绍
[0002]在高端半导体制造工艺过程中，化学药液的供给系统是高端半导体设备(比如浸没式光刻机、晶圆清洗机，化学机械抛光系统，涂胶显影机等)不可或缺的功能单元。且其严苛的工艺条件要求液体供给系统必须具备耐化学腐蚀、不产生颗粒污染物、结构紧凑、压力流量调节范围大且稳定、低脉动、高可靠性等特性，而磁悬浮泵正是最合适的选择。磁悬浮泵包括磁悬浮电机和被磁悬浮电机驱动的泵。磁悬浮泵基于磁悬浮原理对叶轮转子进行支撑约束，可被完全无接触地密封在一个超洁净的封闭腔体内。
[0003]磁悬浮泵工作时，通电的定子的铁芯绕组会产生热量，由于磁悬浮泵为封闭结构，产生的热量会使得磁悬浮泵内温度升高较快，造成内部元件的损坏以及降低了使用寿命，因此需要增加散热结构对铁芯绕组进行散热，以保证磁悬浮泵的工作效率和使用寿命。
[0004]专利号CN215772780U公开了一种通过水冷对铁芯绕组进行散热的散热结构，将水管、电磁阀、控制模块和传感器等配合使用，根据电机的温度对冷凝水的使用进行自动调控，减少资源的浪费。此种水冷方式相对于传统的方式，避免了当电机的温度并不高时，对冷凝水进行循环使用造成能源的浪费的问题，但此种水冷散热结构较复杂，不仅增加了磁悬浮电机的体积，而且增加了生产成本和使用成本。专利号CN217245811 U公开了一种医用泵装置和体外生命支持系统，通过在泵壳内设置第一散热件和第二散热件，以将来自电机的热量传导至泵机外壳，改变了原有的散热路径，使传递至泵头的热量减少，所述泵机外壳将所述热量耗散到空气中，减轻了对血细胞的热损伤，避免因为温度过高导致泵头内的血细胞溶血，提升使用安全性，有利于避免血细胞因为高温导致的组织损伤和炎症，确保血细胞中血红蛋白的携氧能力不受影响。但第一散热件成圆周对称设置在磁悬浮线圈的周围，第一散热件的散热片位于磁悬浮线圈的上方，此种设计会影响泵头的定位精度，使得泵头不能很好地与泵壳相匹配，进而影响磁悬浮泵的工作性能。
[0005]因此，如何既能将散热结构设置在磁悬浮泵内不过大增加磁悬浮泵的体积，又能使得散热方式简单，散热效果好的同时使用成本低一直是本领域技术人员试图解决的技术难题。
技术实现思路
[0006]为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种磁悬浮泵散热结构及磁悬浮泵，其用于解决以上问题中的至少一种。
[0007]本申请实施例公开了一种磁悬浮泵散热结构及磁悬浮泵，此种散热结构结构简单，使用成本低，只需要在铁芯绕组单元的圆周侧设置热管，且使热管完全位于泵壳内，铁芯绕组单元产生的热量通过热管内工作介质状态的变化带走，以对铁芯绕组单元进行降
温，进而对磁悬浮泵内的PCB板进行降温，避免PCB板因高温损坏；并在底座内设置散热单元，以避免铁芯绕组单元底端温度过高；通过第一散热单元与第二散热单元相结合，能够不间断地对铁芯绕组单元进行降温，散热效果更好；且添加散热单元后的磁悬浮泵的体积较小，节省磁悬浮泵的使用空间。
[0008]其中，一种磁悬浮泵散热结构，包括：
[0009]泵壳、设置在所述泵壳底部的底座，所述泵壳的外圆周与所述底座相适配形成容纳空间，所述容纳空间内设有铁芯绕组单元，所述铁芯绕组单元包括多个沿圆周方向间隔排布的定子铁芯和对应缠绕定子铁芯上的绕组；
[0010]第一散热单元，所述第一散热单元设置在所述容纳空间内，所述第一散热单元包括至少一根热管，所述至少一根热管沿所述铁芯绕组单元的圆周设置；
[0011]第二散热单元，所述第二散热单元设置在所述底座内。
[0012]进一步的，所述底座的中部沿轴线方向设有通孔，所述通孔沿轴线方向向所述泵壳内延伸至预设高度以形成通风孔。
[0013]进一步的，所述第一散热单元包括一根热管，所述一根热管沿周向环绕在铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周、泵壳内部、通风孔内部的其中一个上。
[0014]进一步的，所述第一散热单元包括两根热管，所述两根热管分别沿周向环绕在铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周、泵壳内部、通风孔内部的其中两个上。
[0015]进一步的，所述第一散热单元包括多根热管，所述多根热管沿轴向延伸并间隔设置在铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周、泵壳内部、通风孔内部的至少一个上。
[0016]进一步的，所述热管的蒸发段的轴向高度大于等于所述绕组至所述定子铁芯底部的轴向高度，所述热管的冷凝段位于所述绕组的上方且与所述泵壳相连接。
[0017]进一步的，所述第一散热单元包括多根热管，所述多根热管沿径向延伸并间隔设置在所述铁芯绕组单元的外圆周或内圆周或内外圆周结合。
[0018]进一步的，每个所述定子铁芯上对应缠绕一个绕组，相邻两个所述定子铁芯的绕组之间具有一定夹角，每个夹角内设置至少一个所述热管，所述热管的蒸发段临近所述绕组设置，所述热管的冷凝段固定在所述泵壳上或所述通风孔上。
[0019]进一步的，每个所述定子铁芯的顶端处对应设有U型热管，所述U型热管的蒸发段沿轴向延伸并与所述定子铁芯临近所述泵壳的一侧面相接触，所述U型热管的冷凝段沿轴向延伸并与所述泵壳相连接，所述U型热管的隔热段顶端面至所述底座的轴向高度小于等于所述定子铁芯的顶端面至所述底座的轴向高度。
[0020]进一步的，所述铁芯绕组单元的底端连接有位于所述容纳空间内的环形硅钢片单元，所述环形硅钢片单元的内壁与所述通风孔的外缘具有预设距离，所述环形硅钢片单元的外圆周上设有多个凹槽，每个所述凹槽对应卡接一个所述定子铁芯。
[0021]进一步的，所述第二散热单元包括一根环形热管，所述环形热管设置在所述底座内且位于所述环形硅钢片单元的正下方。
[0022]进一步的，所述第二散热单元包括多根弧形热管，所述多根弧形热管围构成环形并设置在所述底座内，所述多根弧形热管位于所述环形硅钢片单元的正下方。
[0023]进一步的，所述散热结构还包括第一散热座，所述第一散热座设置在所述底座的
底部且与其在轴向上具有预设距离，所述第一散热座的径向长度大于所述底座的径向长度，所述第一散热座与所述底座、所述通风孔之间形成散热空间。
[0024]进一步的，所述第一散热座中部设有沿轴线方向延伸的进气孔，所述散热结构的一侧设有风冷模块或压缩空气模块，所述风冷模块或所述压缩空气模块通过所述进气孔向所述散热空间内通入压缩空气或风以对所述第一散热单元和所述第二散热单元进行降温。
[0025]进一步的，所述散热结构还包括第二散热座，所述第二散热座设置在所述底座的底部且与所述底座相接触，所述第二散热座远离所述底座的一侧设有风扇，所述风扇的吸风面朝向所述底座设置，所述风扇的出风面朝向外部空间设置。
[0026]进一步的，所述散热结构还包括第二散热座，所述第二散热座设置在所述底座的底部且与所述底座相接触，所述第二散热座的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮泵散热结构，其特征在于，包括：泵壳、设置在所述泵壳底部的底座，所述泵壳的外圆周与所述底座相适配构成容纳空间，所述容纳空间内设有铁芯绕组单元，所述铁芯绕组单元包括多个沿圆周方向间隔排布的定子铁芯和缠绕在所述定子铁芯上的绕组；第一散热单元，所述第一散热单元设置在所述容纳空间内，所述第一散热单元包括至少一根热管，所述至少一根热管沿所述铁芯绕组单元的圆周设置；第二散热单元，所述第二散热单元设置在所述底座内，所述第二散热单元包括一根环形热管或多根弧形热管。2.根据权利要求1所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，所述底座的中部沿轴线方向设有通孔，所述通孔沿轴线方向向所述泵壳内延伸至预设高度以形成通风孔。3.根据权利要求2所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，所述第一散热单元包括一根热管，所述一根热管沿周向环绕在铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周、泵壳内部、通风孔内部中的其中一个上。4.根据权利要求2所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，所述第一散热单元包括两根热管，所述两根热管分别沿周向环绕在铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周、泵壳内部、通风孔内部的其中两个上。5.根据权利要求2所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，所述第一散热单元包括多根热管，所述多根热管沿轴向延伸并间隔设置在铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周、泵壳内部、通风孔内部的至少一个上。6.根据权利要求3
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5任一项所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，所述热管的蒸发段的轴向高度大于等于所述绕组至所述定子铁芯底部的轴向高度，所述热管的冷凝段位于所述绕组的上方且与所述泵壳相连接。7.根据权利要求2所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，所述第一散热单元包括多根热管，所述多根热管沿径向延伸并间隔设置在所述铁芯绕组单元的外圆周、铁芯绕组单元的内圆周的至少一个上。8.根据权利要求7所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，每个所述定子铁芯上对应缠绕一个绕组，相邻两个所述定子铁芯的绕组之间具有一定夹角，每个夹角内设置至少一个所述热管，所述热管的蒸发段临近所述绕组设置，所述热管的冷凝段固定在所述泵壳上或所述通风孔上。9.根据权利要求1所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在于，每个所述定子铁芯的顶端处对应设有U型热管，所述U型热管的蒸发段沿轴向延伸并与所述定子铁芯临近所述泵壳的一侧面相接触，所述U型热管的冷凝段沿轴向延伸并与所述泵壳相连接，所述U型热管的隔热段顶端面至所述底座的轴向高度小于等于所述定子铁芯的顶端面至所述底座的轴向高度。10.根据权利要求2所述的磁悬浮泵散热结构，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：渠文波，尹成科，
申请(专利权)人：苏州苏磁智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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