数据处理方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种数据处理方法、装置、设备及存储介质。数据处理方法应用于晶圆转运设备，晶圆转运设备包括机械手臂，机械手臂上集成有旋转转台，方法包括：获取目标姿态信息和包含有晶圆表面的待识别图像，目标姿态信息为晶圆放置于目标转运盒的需求姿态的映射信息；基于待识别图像，对晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成晶圆的当前姿态信息；根据当前姿态信息和目标姿态信息生成控制指令；控制指令用于控制旋转转台将晶圆旋转至目标姿态，并控制机械手臂将旋转后的晶圆转运至目标转运盒。相对于现有的先通过晶圆运输机器人抓取晶圆放置于对准装置，再抓取对准装置对准后的晶圆并放置到下料转运盒的方式，本发明专利技术上述方式能够提高晶圆的转运效率。高晶圆的转运效率。高晶圆的转运效率。

【技术实现步骤摘要】
数据处理方法、装置、设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及数据处理
，尤其涉及一种数据处理方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]在半导体的制程中，晶圆需要经历成百上千次的移动搬运过程，晶圆的材质与生产环境都需要严格控制在极高等级的无尘环境中，避免人工触碰，全程自动化转运，而传统的半导体设备前置模块(EFEM)和晶圆倒片机(Sorters)，在将上料转运盒中的晶圆运转到下料转运盒时，通常需要控制晶圆在下料转运盒中的位置，以便于更好的适配下一制程，通过晶圆运输机器人(机械手臂)从上料转运盒中抓取晶圆并放置于晶圆对准装置，对准装置对晶圆进行旋转调整，机械手臂再将调整后的晶圆抓取并放置到下料转运盒，上述晶圆转运过程繁琐，转运效率较低。
[0003]上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的在于提供了一种数据处理方法、装置、设备及存储介质，旨在解决现有技术中需要通过机械手臂将晶圆放置于晶圆对准装置中进行旋转调整，然后机械手臂再将旋转调整后的晶圆抓取并放置到下料转运盒导致晶圆转运效率较低的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了一种数据处理方法，所述数据处理方法应用于晶圆转运设备，所述晶圆转运设备包括机械手臂，所述机械手臂上集成有旋转转台，所述数据处理方法包括以下步骤：
[0006]获取目标姿态信息和包含有晶圆表面的待识别图像，所述目标姿态信息为所述晶圆放置于目标转运盒的需求姿态的映射信息；
[0007]基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息；
[0008]根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令；
[0009]其中，所述控制指令用于控制所述旋转转台将所述晶圆旋转至目标姿态，并控制所述机械手臂将旋转后的晶圆转运至所述目标转运盒。
[0010]可选地，所述基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息的步骤，包括：
[0011]基于所述待识别图像，识别所述晶圆的凹口位置和圆心位置；
[0012]将所述凹口位置和所述圆心位置映射至预设参考坐标系中，得到所述凹口位置和所述圆心位置在所述预设参考坐标系中的当前姿态信息。
[0013]可选地，所述基于所述待识别图像，识别所述晶圆的凹口位置和圆心位置的步骤，包括：
[0014]基于所述待识别图像建立图像参考坐标系；
[0015]识别所述待识别图像中的所述晶圆在所述图像参考坐标系中的凹口位置和圆心位置。
[0016]可选地，所述将所述凹口位置和所述圆心位置映射至预设参考坐标系中，得到所述凹口位置和所述圆心位置在所述预设参考坐标系中的当前姿态信息的步骤，包括：
[0017]基于所述图像参考坐标系，将所述图像参考坐标系中的所述凹口位置和所述圆心位置映射至预设参考坐标系中，得到所述凹口位置和所述圆心位置在所述预设参考坐标系中的当前姿态信息。
[0018]可选地，所述目标姿态信息包括所述晶圆放置于目标转运盒的需求姿态在所述预设参考坐标系中的目标凹口坐标和目标圆心坐标；
[0019]所述根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令的步骤，包括：
[0020]根据所述当前姿态信息确定所述晶圆在所述预设参考坐标系中的当前凹口坐标和当前圆心坐标，其中，所述当前圆心坐标和所述目标圆心坐标重合；
[0021]根据所述当前凹口坐标、所述目标凹口坐标和所述目标圆心坐标确定所述晶圆的旋转信息，所述旋转信息包括旋转角度和旋转方向；
[0022]根据所述旋转角度和所述旋转方向生成控制指令。
[0023]可选地，所述目标姿态信息包括目标圆心坐标，所述当前姿态信息包括所述晶圆在预设参考坐标系中的当前圆心坐标；
[0024]所述根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令的步骤，包括：
[0025]选取参考圆心坐标，所述参考圆心坐标包括所述当前圆心坐标、目标圆心坐标或不同于所述当前圆心坐标和所述目标圆心坐标的参考坐标中的任意一种；
[0026]基于所述参考圆心坐标，根据所述当前姿态信息确定所述晶圆的当前凹口匹配坐标；
[0027]基于所述参考圆心坐标，根据所述目标姿态信息确定目标凹口匹配坐标；
[0028]根据所述当前凹口匹配坐标、所述目标凹口匹配坐标和所述参考圆心坐标确定所述晶圆的旋转信息，所述旋转信息包括旋转角度和旋转方向；
[0029]根据所述旋转角度和所述旋转方向生成控制指令。
[0030]可选地，所述基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息的步骤之前，还包括：
[0031]对所述待识别图像进行缺陷检测识别，生成缺陷识别结果；
[0032]在所述缺陷识别结果为不存在缺陷时，执行所述基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息的步骤。
[0033]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种数据处理装置，所述装置包括：
[0034]获取模块，用于获取目标姿态信息和包含有晶圆表面的待识别图像，所述目标姿态信息为所述晶圆放置于目标转运盒的需求姿态的映射信息；
[0035]姿态识别模块，用于基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息；
[0036]控制指令生成模块，用于根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令；
[0037]其中，所述控制指令用于控制所述旋转转台将所述晶圆旋转至目标姿态，并控制所述机械手臂将旋转后的晶圆转运至所述目标转运盒。
[0038]此外，为实现上述目的，本专利技术还提出一种数据处理设备，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的数据处理程序，所述数据处理程序配置为实现如上文所述的数据处理方法的步骤。
[0039]此外，为实现上述目的，本专利技术还提出一种存储介质，所述存储介质上存储有数据处理程序，所述数据处理程序被处理器执行时实现如上文所述的数据处理方法的步骤。
[0040]本专利技术数据处理方法应用于晶圆转运设备，所述晶圆转运设备包括机械手臂，所述机械手臂上集成有旋转转台，所述方法包括：获取目标姿态信息和包含有晶圆表面的待识别图像，所述目标姿态信息为所述晶圆放置于目标转运盒的需求姿态的映射信息；基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息；根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令；所述控制指令用于控制所述旋转转台将所述晶圆旋转至目标姿态，并控制所述机械手臂将旋转后的晶圆转运至所述目标转运盒。相对于现有的晶圆运输机器人从上料转运盒中抓取晶圆并放置于晶圆对准装置，通过晶圆对准装置对晶圆进行旋转调整，晶圆运输机器人再将调整后的晶圆抓取并放置到下料转运盒的方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数据处理方法，其特征在于，所述数据处理方法应用于晶圆转运设备，所述晶圆转运设备包括机械手臂，所述机械手臂上集成有旋转转台，所述数据处理方法包括以下步骤：获取目标姿态信息和包含有晶圆表面的待识别图像，所述目标姿态信息为所述晶圆放置于目标转运盒的需求姿态的映射信息；基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息；根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令；其中，所述控制指令用于控制所述旋转转台将所述晶圆旋转至目标姿态，并控制所述机械手臂将旋转后的晶圆转运至所述目标转运盒。2.如权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述基于所述待识别图像，对所述晶圆的当前姿态进行姿态识别，生成所述晶圆的当前姿态信息的步骤，包括：基于所述待识别图像，识别所述晶圆的凹口位置和圆心位置；将所述凹口位置和所述圆心位置映射至预设参考坐标系中，得到所述凹口位置和所述圆心位置在所述预设参考坐标系中的当前姿态信息。3.如权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，所述基于所述待识别图像，识别所述晶圆的凹口位置和圆心位置的步骤，包括：基于所述待识别图像建立图像参考坐标系；识别所述待识别图像中的所述晶圆在所述图像参考坐标系中的凹口位置和圆心位置。4.如权利要求3所述的数据处理方法，其特征在于，所述将所述凹口位置和所述圆心位置映射至预设参考坐标系中，得到所述凹口位置和所述圆心位置在所述预设参考坐标系中的当前姿态信息的步骤，包括：基于所述图像参考坐标系，将所述图像参考坐标系中的所述凹口位置和所述圆心位置映射至预设参考坐标系中，得到所述凹口位置和所述圆心位置在所述预设参考坐标系中的当前姿态信息。5.如权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，所述目标姿态信息包括所述晶圆放置于目标转运盒的需求姿态在所述预设参考坐标系中的目标凹口坐标和目标圆心坐标；所述根据所述当前姿态信息和所述目标姿态信息生成控制指令的步骤，包括：根据所述当前姿态信息确定所述晶圆在所述预设参考坐标系中的当前凹口坐标和当前圆心坐标，其中，所述当前圆心坐标和所述目标圆心坐标重合；根据所述当前凹口坐标、所述目标凹口坐标和所述目标圆心坐标确定所述晶圆的旋转信息，所述旋转信息包括旋转角度和旋转方向；根据所述旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，侯晓峰，张弛，
申请(专利权)人：上海感图网络科技有限公司，
类型：发明
国别省市：