本发明专利技术涉及一种适用于半导体封装设备的制动系统，尤其涉及平面运动制动装置及键合设备。平面运动制动装置设于XY滑台上，包括具有Z向运动端的动力装置、动力装置支座、锁紧压块、摩擦片、摩擦底座、簧片。动力装置支座、摩擦底座设于XY滑台固定端，摩擦片设于XY滑台运动端，簧片包括中间部、位于中间部外圈的外缘部以及连接外缘部和中间部的连接结构；锁紧压块贯穿在中间部的连接孔内；外缘部与动力装置支座固连，连接结构使中间部相对外缘部具有Z向活动间隙；动力装置的Z向运动端沿Z向运动推压锁紧压块，使锁紧压块沿Z向推压摩擦片与摩擦底座形成压紧配合。本发明专利技术可无间隙制动，避免制动晃动影响精度。制动晃动影响精度。制动晃动影响精度。
【技术实现步骤摘要】
平面运动制动装置及键合设备
[0001]本专利技术属于机械
，涉及一种适用于半导体封装设备的制动系统，特别涉及一种适用于手动及半自动压焊键合设备和手动及半自动粘片或固晶设备的平面运动制动装置。
技术介绍
[0002]键合机是用金属丝将半导体芯片上的电路引出端或电极与装配芯片的金属引线框架或外壳引出电极连接起来的工艺。它通过超声波、压力和热来实现金属丝与接触点之间的可靠连接。在引线键合过程中，瓷嘴或者劈刀引导金属丝（金丝、铜丝或铝丝等）在三维空间中作复杂的运动，形成各种满足不同封装形式需要的线弧。在手动引线键合机上，这些空间运动是由操作人员手工移动带有键合头的XYZ运动平台来实现的。当操作人员通过高倍显微镜看到劈刀尖到达键合位置时，需要通过制动系统将键合头的XY运动全部锁住，Z向由触点分离启动制动作用。然后自动加压系统和超声波同时作用，在劈刀尖与接触点形成所需的焊点。
[0003]随着半导体封装产业和封装技术的高速发展，芯片越来越小，焊接精度越来越高，对键合质量的要求也越来越高。图1为传统运用在手动键合机的XY平面制动系统的剖视示意图，其主要包括具有螺旋管定子2a和螺旋管动子2b的螺线管、机架14、锁紧压块4、压块座15、摩擦片5。其中，机架14与摩擦片5分别安装在固定和作相对运动部件上，机架14包括用于支撑螺线管的螺线管支座和用于与摩擦片5接触的摩擦底座6。当给螺线管通电时，与此连接的螺线管动子2b就会施加力到锁紧压块4上，锁紧压块4压住摩擦片5，摩擦片5又压住摩擦底座6，使相对运动停止。这种结构由于压块需要在压块座15中运动，它们就存在着间隙。间隙过小，锁紧压块4就可能卡住；间隙过大，运动部件制动后会有相对晃动，对键合精度和质量产生影响。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于克服上述问题，而提供一种可无间隙制动的平面运动制动装置。
[0005]本专利技术的技术方案是：平面运动制动装置，设于XY滑台上，包括具有Z向运动端的动力装置、动力装置支座、锁紧压块、摩擦片、摩擦底座，所述动力装置支座、摩擦底座安装在XY滑台的固定端，摩擦片安装在XY滑台的运动端，所述平面运动制动装置还包括有簧片，所述簧片包括中间部、位于中间部外圈的外缘部以及连接所述外缘部和中间部的连接结构；所述中间部具有连接孔，所述锁紧压块贯穿固定在连接孔内；所述外缘部与动力装置支座固定连接，所述连接结构可使中间部相对外缘部具有Z向活动间隙；所述动力装置的Z向运动端沿Z向运动推压锁紧压块，继而使锁紧压块沿Z向推压摩擦片与摩擦底座形成压紧配合。
[0006]通过上述结构，本专利技术通过簧片中间部与锁紧压块固定在一起，簧片外缘部与动
力装置支座固定在一起，由于簧片中间部与外缘部之间的连接结构设计，锁紧压块可以在动力装置的Z向推压下做一定范围的Z向运动实现制动，但同时也限制了平面运动，摩擦力锁住运动器件时不产生摇晃，因此达到了无间隙制动的效果。
[0007]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述连接结构包括连接在中间部与外缘部之间的至少三片支撑臂。
[0008]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述支撑臂自中间部径向外延并弯曲呈弧状。
[0009]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述外缘部上具有与支撑臂的弧形外边部分吻合的弧形内边且两者之间形成弧形间隙。
[0010]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述支撑臂环绕连接孔间隔均匀分布。
[0011]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述中间部、外缘部、连接结构一体成型。
[0012]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述锁紧压块自下而上依次套接有下内压板、中间部、上内压板并通过螺母锁紧固定。
[0013]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述平面运动制动装置还包括上外压板、下外压板，所述外缘部夹设于上外压板、下外压板之间并通过螺栓将动力装置支座、上外压板、外缘部、下外压板连接成一体。
[0014]进一步地，在本专利技术所述的平面运动制动装置中，所述动力装置采用螺线管驱动或气缸驱动。
[0015]本专利技术还提出了一种键合设备，包括XY滑台和安装在XY滑台运动端的键合头，还包括平面运动制动装置。
[0016]本专利技术的有益效果是：本专利技术采用独特的簧片结构，利用簧片中间部与锁紧压块固定，簧片外缘部与动力装置支座固定，并利用簧片的多个支撑臂连接结构，保证锁紧压块可作小范围Z向运动的同时限制其平面运动，实现无间隙制动，制动时不存在晃动现象，显著提高了键合精度和质量。
[0017]本专利技术设计巧妙，无需安装压块座等部件，体积更小巧，结构简单紧凑，成本低廉。
附图说明
[0018]图1为传统运用在手动键合机的XY平面制动系统的剖视示意图。
[0019]图2为本专利技术具有平面运动制动装置的键合设备的立体结构示意图。
[0020]图3为图1中的平面运动制动装置的剖视示意图。
[0021]图4为图1去除动力装置支座后的局部结构示意图。
[0022]图5为本专利技术所述平面运动制动装置的局部爆炸示意图。
[0023]图6为本专利技术所述簧片的结构示意图。
具体实施方式
[0024]现结合附图对本专利技术作进一步的说明：
实施例1
[0025]参照图2、图3所示，本实施例所述一种平面运动制动装置，设于XY滑台1上，包括具有Z向运动端的动力装置2、动力装置支座3、锁紧压块4、摩擦片5、摩擦底座6，所述动力装置支座3、摩擦底座6安装在XY滑台1的固定端，摩擦片5安装在XY滑台1的运动端。其中，动力装置2采用螺线管驱动，包括螺线管定子2a和螺线管动子2b，螺线管通电后，螺线管动子2b可沿Z向运动。
[0026]所述平面运动制动装置还包括有簧片7，参照图3
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图6所示，所述簧片7包括中间部7a、位于中间部7a外圈的外缘部7b以及连接所述外缘部7b和中间部7a的连接结构，所述中间部7a、外缘部7b、连接结构一体成型。所述中间部7a具有连接孔7d，所述锁紧压块4贯穿固定在连接孔7d内；所述外缘部7b与动力装置支座3固定连接，所述连接结构可使中间部7a相对外缘部7b具有Z向活动间隙；所述动力装置2的Z向运动端，即螺线管动子2b，沿Z向运动推压锁紧压块4，继而使锁紧压块4沿Z向推压摩擦片5与摩擦底座6形成压紧配合。
[0027]其中，本实施例所述连接结构包括连接在中间部7a与外缘部7b之间的至少三片支撑臂7c，所述支撑臂7c环绕连接孔7d间隔均匀分布。根据刚度需要，支撑臂7c结构也可以是三片，五片等多片结构。所述支撑臂7c自中间部7a径向外延并弯曲呈弧状，所述外缘部7b上具有与支撑臂7c的弧形外边部分吻合的弧形内边且两者之间形成弧形间隙7e。
[0028]锁紧压块4与中间部7a的连接结构具体是：锁紧压块4自下而上依次套接有下内压板8、中间部7a、上内压板9并通过螺母1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平面运动制动装置，设于XY滑台上，包括具有Z向运动端的动力装置、动力装置支座、锁紧压块、摩擦片、摩擦底座，所述动力装置支座、摩擦底座安装在XY滑台的固定端，摩擦片安装在XY滑台的运动端，其特征在于：所述平面运动制动装置还包括有簧片，所述簧片包括中间部、位于中间部外圈的外缘部以及连接所述外缘部和中间部的连接结构；所述中间部具有连接孔，所述锁紧压块贯穿固定在连接孔内；所述外缘部与动力装置支座固定连接，所述连接结构可使中间部相对外缘部具有Z向活动间隙；所述动力装置的Z向运动端沿Z向运动推压锁紧压块，继而使锁紧压块沿Z向推压摩擦片与摩擦底座形成压紧配合。2.根据权利要求1所述的平面运动制动装置，其特征在于：所述连接结构包括连接在中间部与外缘部之间的至少三片支撑臂。3.根据权利要求2所述的平面运动制动装置，其特征在于：所述支撑臂自中间部径向外延并弯曲呈弧状。4.根据权利要求3所述的平面运动制动装置，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈文，郑林卫，田志，吴春春，王哲来，夏汪涛，
申请(专利权)人：宁波尚进自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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