光源模块、具备其的光照射装置以及光源模块的冷却方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够应对宽度宽的工件且能够使制冷剂附着于工件的可能性极小化的光源模块。光源模块(10)由多个光源(12)、在表面配置有光源(12)的基板(14)以及配置于基板(14)的背面的散热器(16)构成。并且，在散热器(16)上形成有供在内部流通制冷剂(L)的制冷剂流通管(50)嵌入的制冷剂流通管嵌入槽(20)。流通管(50)嵌入的制冷剂流通管嵌入槽(20)。流通管(50)嵌入的制冷剂流通管嵌入槽(20)。

【技术实现步骤摘要】
光源模块、具备其的光照射装置以及光源模块的冷却方法


[0001]本专利技术涉及用于例如大型液晶面板的取向膜曝光或位相差薄膜等的取向膜曝光、或者半导体等的扫描曝光的光源模块、具备其的光照射装置以及光源模块的冷却方法。

技术介绍

[0002]以往，在半导体等的扫描曝光中使用以LED为光源的光源模块(例如，专利文献1)。而且，通过将多个光源模块以比工件W的宽度长的方式排列配置，构成一个光照射装置。
[0003]LED等光源在发光时发热，由于该热而成为高温时，发光效率会降低。因此，需要对光源模块进行冷却。
[0004]作为光源模块的冷却方法，例如，在图8所示的冷却单元1接触配置有光源模块M。该冷却单元1由主体部2、形成在主体部2内的制冷剂流路3以及配置于主体部2的两端部的一对接头连接部4构成。
[0005]主体部2是由铝等形成的大致矩形状的板材，以使主体部2的一个侧面与另一个侧面连通的方式使用钻头等贯通设置有多个制冷剂流路3。
[0006]接头连接部4具有一端与制冷剂流路3连接、另一端与凸缘等接头5连接的内部流路6。通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光源模块，其具备：多个光源；基板，其在表面配置有所述光源；以及散热器，其配置于所述基板的背面，在所述散热器上形成有供在内部流通制冷剂的制冷剂流通管嵌入的制冷剂流通管嵌入槽。2.根据权利要求1所述的光源模块，其中，在所述散热器上相互平行地形成有多个所述制冷剂流通管嵌入槽。3.根据权利要求1所述的光源模块，其中，所述制冷剂流通管嵌入槽形成于所述散热器的与所述基板相反侧的表面，所述光源模块还具备在与所述散热器之间夹设并保持所述制冷剂流通管的保持件。4.一种光照射装置，其具备权利要求1至3中任一项所述的光源模块和所述制冷剂流通管。5.根据权利要求4所述的光照射装置，其中，所述光照射装置具备多个所述制冷剂流通管，在所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上智彦，
申请(专利权)人：凤凰电机公司，
类型：发明
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