一种光刻玻璃加工用夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光刻玻璃加工相关技术领域，具体是一种光刻玻璃加工用夹持装置，包括底座，底座上设置有工作台，工作台上圆轴对称分布设置有若干架筒，架筒上设置有活动筒，活动筒端部连接有夹持框，底座内部设置有压力驱动组件同时驱动多个夹持框对玻璃本体进行夹持，在调节好玻璃本体位置后即可实现对玻璃本体的快速夹持，使用起来更加方便快捷，且通过调节活动筒在架筒上的位置即可使整体装置适用于多种不同尺寸类型的玻璃加工夹持工作中，使用效果更好。果更好。果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻玻璃加工用夹持装置


[0001]本专利技术涉及光刻玻璃加工相关
，具体是一种光刻玻璃加工用夹持装置。

技术介绍

[0002]光刻的基本原理是利用光致抗蚀剂（或称光刻胶）感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点，将掩模板上的图形刻制到被加工表面上，通过光刻机在玻璃上刻蚀图形即为光刻玻璃的加工方式。
[0003]光刻玻璃加工过程中，需要对选定玻璃进行清洗、烘干、干燥、曝光、去胶等多道加工，其中多个加工工程都需要用到夹持装置来对玻璃进行夹持，而常见的玻璃加工用夹持装置大多结构单一，无法快速对多种不同形状类型的玻璃进行加工，使用效率较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种光刻玻璃加工用夹持装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光刻玻璃加工用夹持装置，包括底座，所述底座上顶部设置有工作台，所述工作台上圆轴对称分布设置有若干架筒，所述架筒朝向所述工作台中心轴线一端插接配合设置有活动筒，所述活动筒远离各自对应架筒一端连接有夹持框，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻玻璃加工用夹持装置，包括底座，所述底座上顶部设置有工作台，其特征在于，所述工作台上圆轴对称分布设置有若干架筒，所述架筒朝向所述工作台中心轴线一端插接配合设置有活动筒，所述活动筒远离各自对应架筒一端连接有夹持框，所述活动筒在各自对应的架筒上的位置可调，所述活动筒与各自对应的架筒的连接处设置有固定组件，所述底座内设置有压力驱动组件，所述压力驱动组件与各个架筒远离所述底座中心轴线一端相连通，所述压力驱动组件用于驱动所述夹持框对玻璃本体边缘处进行夹持，各个所述夹持框可在压力驱动组件驱动下同步运作。2.根据权利要求1所述的一种光刻玻璃加工用夹持装置，其特征在于，所述压力驱动组件包括第一伸缩件、柱形筒及若干导通管，所述第一伸缩件固定设置在底座内，第一伸缩件一端延伸至柱形筒内且连接有压板，所述压板外侧壁与柱形筒内侧壁贴合，所述导通管设置位置及设置数量均与所述架筒相对应，一个导通管两端分别与柱形筒侧部及一个架筒的端部相连。3.根据权利要求2所述的一种光刻玻璃加工用夹持装置，其特征在于，所述活动筒外径与所述架筒内径一致，所述活动筒插入所述架筒内腔一端连接有密封套，所述密封套外壁与所述架筒内壁弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵瑞昆，高小良，
申请(专利权)人：徐州良萌半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：