一种降低盒盖夹硅片风险的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种降低盒盖夹硅片风险的装置，包括承载座，所述承载座的顶部开设有通孔，所述承载座的两侧表面皆设置有调节杆，所述调节杆对应的一端皆设置有调节板，所述调节板的表面皆开设有调节槽，所述调节杆和调节槽之间相互贯穿卡合连接，所述承载座的底部一侧皆设置有支撑板，所述通孔沿着承载座表面矩阵式排布设置。该一种降低盒盖夹硅片风险的装置，通过承载座表面设计通孔状是为了不附着小颗粒对产品造成污染，有效的保证了硅片整体清洁度，同时装置后方有小范围升降区间，使片盒放上去之后呈倾斜状态15

【技术实现步骤摘要】
一种降低盒盖夹硅片风险的装置


[0001]本专利技术涉及硅片加工
，具体为一种降低盒盖夹硅片风险的装置。

技术介绍

[0002]在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在生产加工完成后，需要将硅片存放在片篮中进行储存放置。
[0003]目前是将硅片存放片盒放置在平面操作桌上，由于片篮中片槽之间存在间距，并且硅片不是固定位置存放，容易发生晃动导致偏移位置，当盖盒盖上时容易造成片盒盖子夹到硅片，导致硅片表面发生损坏影响硅片生产质量。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种降低盒盖夹硅片风险的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的目前是将硅片存放片盒放置在平面操作桌上，由于片篮中片槽之间存在间距，并且硅片不是固定位置存放，容易发生晃动导致偏移位置，当盖盒盖上时容易造成片盒盖子夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种降低盒盖夹硅片风险的装置，包括承载座(4)，其特征在于：所述承载座(4)的顶部开设有通孔(3)，所述承载座(4)的两侧表面皆设置有调节杆(7)，所述调节杆(7)对应的一端皆设置有调节板(2)，所述调节板(2)的表面皆开设有调节槽(1)，所述调节杆(7)和调节槽(1)之间相互贯穿卡合连接，所述承载座(4)的底部一侧皆设置有支撑板(6)。2.根据权利要求1所述的一种降低盒盖夹硅片风险的装置，其特征在于：所述通孔(3)沿着承载座(4)表面矩阵式排布设置，且通孔(3)之间的排布间距...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘潇林，涂颂昊，刘德令，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：