一种多检测质量块的光学微机电结构制造技术

本发明专利技术提供一种多检测质量块的光学微机电结构，包括悬置波导、悬置支撑梁、检测质量块组及光学腔体组，其中，检测质量块组包括N个质量不同的悬置检测质量块，光学腔体组包括N个共振波长相同的光学腔体，每一光学腔体分别包括第一、第二悬置光子晶体，N个第一悬置光子晶体均固定于悬置支撑梁，N个第二悬置光子晶体与N个悬置检测质量块一一对应连接。本发明专利技术采用多个悬置检测质量块来替代主动调谐模块，不仅可以在紧凑的结构中展现出更大的机械共振频率范围，提供更宽广的工作带宽，实现更宽的波长调谐范围，进而能够在空间有限的条件下实现更多、更复杂的功能以适用于更广泛的应用，还可以降低成本和功耗，且能够为设备设计提供更大的灵活性。更大的灵活性。更大的灵活性。

【技术实现步骤摘要】
一种多检测质量块的光学微机电结构


[0001]本专利技术属于光学微电子机械系统
，涉及一种多检测质量块的光学微机电结构。

技术介绍

[0002]随着物联网(IoT)的发展，各领域需要更精确、更紧凑的动态传感设备，包括可穿戴的人体活动识别系统、虚拟现实设备、多功能机器人等。因此，微电子机械系统(MEMS)作为传感设备的核心组件，使得各种MEMS结构方面得到广泛研究。其中，光学微电子机械系统(OptoMEMS)作为一种新型的MEMS技术，因其能够结合微纳尺度电子学和光子学的优点而迅速成为研究和开发的热点领域。特别的是，OptoMEMS能够在微纳尺度上操纵光线的能力，使其在传感、通信和生物医学成像等领域具有广泛的应用前景。与此同时，对传感产品性能的要求在多个方面不断提高，包括能力、紧凑性、可扩展性和灵敏度。因此，现今提高OptoMEMS结构性能的方法显得至关重要。
[0003]传统的光学微机电系统使用基于光学腔体的MEMS结构，该MEMS结构包括悬置的检测质量块，检测质量块的质量决定了MEMS系统的机械共振频率。由于系统的机械共振频率决本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多检测质量块的光学微机电结构，其特征在于，包括：悬置波导；悬置支撑梁，位于所述悬置波导的Y方向一侧并与所述悬置波导间隔设置；检测质量块组，位于所述悬置支撑梁远离所述悬置波导的一侧，所述检测质量块组包括在X方向上依次排列且间隔设置的N个质量不同的悬置检测质量块，其中，N为大于1的整数；光学腔体组，位于所述悬置支撑梁与所述检测质量块组之间，所述光学腔体组包括在X方向上依次排列且间隔设置的N个共振波长相同的光学腔体，每一所述光学腔体分别包括在Y方向上间隔设置的第一悬置光子晶体与第二悬置光子晶体，N个所述第一悬置光子晶体均固定于所述悬置支撑梁，N个所述第二悬置光子晶体与N个所述悬置检测质量块一一对应连接。2.根据权利要求1所述的多检测质量块的光学微机电结构，其特征在于：任意两个所述悬置检测质量块，质量较大的一个悬置检测质量块的质量至少是质量较小的一个悬置检测质量块的质量的10倍。3.根据权利要求1所述的多检测质量块的光学微机电结构，其特征在于：至少有两个所述悬置检测质量块的厚度相同，但沿XY平面的横截面积不同。4.根据权利要求1所述的多检测质量块的光学微机电结构，其特征在于：至少有两个所述悬置检测质量块沿XY平面的横截面积相同，但厚度不同。5.根据权利要求1所述的多检测质量块的光学微机电结构，其特征在于：N个所述悬置检测质量块均采用相同的材质。6.根据权利要求1所述的多检测质...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨璐，张洪波，任恒江，罗杰，
申请(专利权)人：意子科技私人投资有限公司，
类型：发明
国别省市：